方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
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铁浓度的精确测定是非常重要的，因为铁是硅中非常丰富也是较大有害的缺陷之一。因此，有必要尽可能准确和快速地测量铁的浓度，而且要有很高的分辨率，好的方法 是在线测量。
有了MDPingot和MDPmap系列，就可以全自动地测量砖块和硅片中的铁浓度，而且分辨率非常高。铁硼对解离前后的寿命测量是一种**使用的测定硅片中铁的方法。在高掺杂浓度的掺硼硅中，因为它被用于光伏应用，几乎100%的电活性铁以FeB对的形式存在。在有足够能量的光照下，这些铁对可以在Fe和B中解离。这个过程是可逆的，在一段时间后，所有的FeB对都会再次结合。FeB和Fei有不同的重组特性，因此解离对测量的寿命有影响。在这种影响下，铁的浓度可以通过以下方式确定：
对于铁的测定，使用了一个校准系数C，它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度，这在多晶硅中必须加以考虑。通过MDP，可以对多晶硅和单晶硅进行高分辨率的铁浓度测定，并且由于模拟和多年的研究，还具有很高的精度。
照明前的寿命图和产生的铁图
关于铁的测定和校准系数的依赖性的更多信息，请阅读：
[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).
[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published
陷阱浓度测定的工具
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文献贡献者
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