型号: | SDL12E50/60|SDL20E60|SDL36E60 |
产地: | 日本 |
品牌: | 樫山工业 |
评分: |
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产品特点:
适用于大尺寸晶片和 FPD
可通过组合提供大容量,也可根据需要提供大于 150kL/min 的大容量
周期更短
大气压左右的大容量可实现高速泵送,最适合大腔体
产品参数:
型号 | SDL12E50/60 | SDL20E60 | SDL36E60 |
抽气速率 | 25000L/min | 40000L/min | 60000L/min |
极限压力 | 0.8Pa | ||
电源要求 | 3Phase AC200-220V, 380-480V | ||
尺寸(L*W*H) | 1020*520*1050mm | 1370*850*1295mm | |
重量 | 645Kg | 800Kg | 920Kg |
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