高阻尼空气隔振系统光学平台

TMC气动隔振系统是追求高隔振性能的超精密仪器的工具设计师的SHOU选解决方案。TMC现在提供行业标准的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器，它们有不同的承重能力、阻尼水平和调平版本可供选择，适合各种应用。

这些隔振器是OEM应用的理想选择，采用模块化、可互换和可升级的设计。此外，为了确保您指定的版本能够满足您的稳定时间和隔振要求，TMC工程师可以使用我们的“移动工作台应用程序模型”为您的配置进行建模。

承重能力：

160千克（350磅）@ 5.50千帕（80 PSI） 

450千克（1000磅）@ 5.50千帕（80 PSI）

1150千克（2500磅）@ 5.50千帕（80 PSI） 

2600千克（5700磅）@ 5.50千帕（80 PSI）

阻尼水平：

Gimbal Piston™可实现Z大的振动衰减

MaxDamp®可实现较高的共振阻尼

UltraDamp™可实现Z高的共振阻尼

Z高阻尼空气隔振系统光学平台

概述：

TMC现在提供更主动的阻尼UltraDamp™。适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。UltraDamp具有极高的阻尼水平，可确保空气隔振器的共振频率不会超过3-5 dB。适用于LCD、PVC检测、光刻机以及其他具有高力电动工作台的仪器。

UltraDamp优点：

结合了自调平Gimbal Piston™空气隔振器的优势，并具有极其主动的阻尼作用

非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷，可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

更快的工具吞吐量和更高的产量

从4-5 Hz开始的水平和垂直隔振

共振的最小放大（3-5 dB） 模块化设计。可升级到Electro-Damp®主动消振 

性能：

比较GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的阻尼水平