型号: | NPflex |
产地: | 美国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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应用领域: |
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NPflex 大样品计量检测光学轮廓仪
针对大样品设计的非接触测试分析系统
(1)灵活测量大尺寸样品,满足高难度测量角度的精确测量
(2)高效的三维表面信息测量
(3)垂直方向纳米分辨率提供更多的细节
(4)快速获取测量数据,测试过程迅速高效
布鲁克的NPFLEXTM 3D表面测量系统为精密制造业带来前所未有的检测性能,实现更快的试产扩量时间,提高了产品质量和生产力。基于白光千涉的原理,这套非接触系统提供了诸多先进的优点,远超通常接触式坐标测量仪(CMM)和工业级探针式轮廓仪的测量技术所能提供的。这些测量优势包括高分辨的三维图像,进行快速丰富的数据采集,帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样品测量仪器设计的经验,NPFLEXTM 3D可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统,而且能够高效快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息,可用于表面粗糙度,RDL先进封装工艺厚度等测试。
其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度
(1)创新性的空间 设计使得可测零件(样品)更大(高达330毫米)、形状更多
(2)开放式龙门、定制的夹具和可选的旋转测量头可轻松测量待测部位
高效的三维表面信息测量
(1)每次测量均可获取整个表面高度信息,用于各种分析
(2)更容易获得更多的测量数据来帮助分析
垂直方向纳米分辨率提供更多的细节
(1)干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率
(2)工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据,为日渐苛刻的加工工艺提
供保障
测量数据的快速获取保证了测试的迅速和高效
(1)最少的样品准备时间和测量准备时间
(2)比接触法测量(一条线)更大的视场(一个面)获得表面更多的数据
技术参数
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