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Park FX40全自动原子力显微镜
Park NX20大样品原子力显微镜
优选 美国Nanovea三维光学轮廓仪
优选 美国KLA G200纳米压痕划痕仪
优选 德国Sentronics晶圆厚度TTV、翘曲Bow/Warp测量系统
优选 荷兰Fastmicro颗粒沉降监测仪
优选 荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪
优选 美国Lumina晶圆表面缺陷检测仪
优选 瑞士idonus紫外光刻曝光机
优选 荷兰SCIL纳米压印机
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