雅马拓等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200_价格

产品详情

等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200产品介绍：

小型桌上型高频等离子表面处理装置

■ 操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。

● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

■ 安全性·保护

● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。

■ 等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200产品优势

●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。

●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。

●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。

■ 等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200规格

型号		PDC200
方式		RIE模式、平行平板腔体
性能	发生器功率：	0-300W
	发生器频率：	射频RF13.56Mhz
	发生器匹配方式：	自动匹配（Auto matching）
构成	腔体材质：	铝制
	腔体内尺寸：	W400×D250×H150mm
	反应气体：	二路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。
	控制方式：	全自动控制
	真空度显示：	数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。
	配管材质：	SUS不锈钢以及特氟龙
	门：	铰链门
	外形尺寸：	W540×D600×H600mm
	真空泵抽速：	4m3/hour
	电源规格：	AC220V 10A
	重量：	约100kg

等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200信息由浚和(上海)仪器科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200外，浚和(上海)仪器科技有限公司还可为您提供其他等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。

典型用户

用户单位	采购时间
日本kashiyama	2023/10/18
德祥科技-Think-lab	2023/08/13
德国海道尔夫(Heidolph)公司	2023/07/13
美国orion	2023/10/11
永诺生物	2023/06/23
中科都菱	2023/02/23

售后服务

产品货期： 30天
培训服务：安装调试现场免费培训
电话支持响应时间： 24小时内
是否支持上门巡检：是
是否提供预防性维护计划：是

型号：	PDC200
产地：	日本
品牌：	雅马拓
评分：