型号: | PR200 |
产地: | 日本 |
品牌: | 雅马拓 |
评分: |
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等离子清洗机日本YAMATO等离子清洗机PR200产品介绍:
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗过程中无废液产生,安全环保。
●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●高效的特制电极,保证等离子体能够均匀产生。
等离子清洗机日本YAMATO等离子清洗机PR200规格:
型号 | PR200 | PR301 | |||
方式 | DP模式、圆柱形腔体 | ||||
性能 | 发生器功率: | 0-200W | 0-300W | ||
发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | ||||
发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | 手动匹配(manul)
| |||
构成 | 腔体材质: | 高硼硅玻璃 | |||
腔体内尺寸: | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
反应气体: | 一路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | ||||
控制方式: | 半自动控制 | ||||
真空度显示: | 数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。 | 模拟式压力表 | |||
配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | ||||
门: | 铰链门 | ||||
外形尺寸: | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
真空泵抽速: | 4m3/hour | ||||
电源规格: | AC220V 10A | ||||
重量: | 约25kg | 约34kg | |||
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 |
用户单位 | 采购时间 |
日本kashiyama | 2023/10/18 |
德祥科技-Think-lab | 2023/08/13 |
德国海道尔夫(Heidolph)公司 | 2023/07/13 |
美国orion | 2023/06/22 |
永诺生物 | 2023/06/22 |
中科都菱 | 2023/02/23 |
中科院金属研究所 | 2019/01/03 |
南京大学物理学院 | 2018/12/21 |
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