| 型号： | YES–G1000 |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | 耶斯 |
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YES–G1000对于清洁，剥离和表面改性，等离子体是有毒化学物质的有效替代品，并且在表面上没有残留溶剂。 副产物是惰性的并且对环境安全。 G1000的工作频率为13.56MHz，用户可以从5种等离子模式中进行选择。 各向异性模式包括RIE和有源离子阱； 各向同性模式包括下游（无电子），有源和下游离子阱。
•13.56 MHz的射频等离子体
•低压环境
•下游侵蚀性等离子体
•温度监控器
•3个气体输入
•气体输入可包含更多深奥气
体，例如合成气，CF4和SF
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