型号: | VS4, SEE-5S |
产地: | 英国 |
品牌: | |
评分: |
|
电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术;它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…
技术参数:
1. 蒸发室尺寸:24"×24"×21";
2. 极限真空度:≤5×10-7托;
3. 电子枪功率: 6千瓦可调;
4. 蒸发速率:可由晶体振荡器监控厚度和沉积速率;
5. 可蒸发金属膜Al,Ti,Pt,Au,Ag,Cu,NiCr等;
6. 膜厚度误差 ≤±5%,膜厚均匀性误差 ≤±5% 。
主要特点:
1. 安全简易的软件操作系统,四个不同级别的用户权限(操作、工艺、工程师以及维修保养)较大限度的保证系统的安全。
2. 双腔设计:蒸发材料和晶片分别处于不同的腔体中,使得源材料的更换和晶片的装载过程中最大限度的保证腔体的洁净程度和缩短抽真空的时间。
3. 较大的前腔门使得在维修和保养的过程中极为方便。
4. 采用卫星旋转式晶片装载夹具,可以根据不同的产量的需要升级晶片直径或增加夹具的数量。卫星旋转式夹具保证了沉积薄膜的均匀性。
相关产品
HY 台式X射线衍射仪XRD DX-27mini
HY 高分辨X射线应力分析仪 DST-17
HY多功能X射线衍射仪XRD DX-2700BH
HORIBA 荧光及吸收光谱仪Duetta
德国bruker原子力显微镜NanoWizard 4 XP
德国美诺 清洗机PG8583
布鲁克台式核磁共振波谱仪Fourier 80
Kosaka 便携式台阶仪
Kosaka 6寸台阶仪 ET200A
三维磁场探针台
纳米探针台
超低温磁场探针台
TA-5000A 快速高低温系统
TS3000 Probe System 半自动300mm探针台测试系统
TS200-SE Probe System MPI手动晶圆探针台系统
关注
拨打电话
留言咨询