Kosaka 6寸台阶仪 ET200A

参考价：¥40万 - 50万

型号：	ET200A
产地：	德国
品牌：
评分：

核心参数

产地类别：进口
测量原理：其它
测量范围：见资料
精度：见资料
探针尖半径：见资料
探针作用力：见资料
扫描长度：见资料
台阶高度重复性：见资料
垂直方向分辨率：见资料
测量样品最大尺寸：见资料

深圳市科时达电子科技有限公司

银牌会员丨 3年丨生产商

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Kosaka 便携式台阶仪

产品详情

佳重复性与线性度

• 采用直动式检测方式

• 可避免圆弧补正误差

• 可避免Bearing间隙误差

• 台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

高分辨率

• 纵轴高分辨率0.1nm

• 横轴高分辨率0.1um

• X测定速度可调：5μm~2mm/s

低测定力

• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定

• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

真直度保证-1

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