| 型号： | UNISEL 2 |
| 产地： | 法国 |
| 品牌： | MMR |
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椭偏仪（椭圆偏振光谱仪）是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改 变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。而且椭圆偏振光谱既能够实现在线监测又能进行原位测试，可根据各类不同的应用需要提供静态和动态测量模式，应用非常广泛。
UNI椭偏仪（椭圆偏振光谱仪）是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改 变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。而且椭圆偏振光谱既能够实现在线监测又能进行原位测试，可根据各类不同的应用需要提供静态和动态测量模式，应用非常广泛。SEL 2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。在继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时，配备了革新的可视系统，多达8个尺寸微光斑选项，最小达35X85um。
产品特点
* 完全自动化设计，自动对焦、校正
* 全新光路、电路设计、测量精度更高、速度更快
* 双光栅光谱仪系统，杂散光抑制水平高
* 8个尺寸微光斑、专利可视技术
* 50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件
* 自动平台样品扫描成像
* 配置灵敏，测量范围可扩展至190-2100nm
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