local scrubber 干式吸附尾气处理设备机

参考价：¥13.5万

型号：	D-100S
产地：	广东
品牌：
评分：

核心参数

产地类别：国产

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产品详情

适用领域：

1)半导体制造工程发生的有害Gas等安全处理的吸附式 Gas 处理装置

2）适用：半导体 Dry Etch，Diffusion，Ion Implantation，Cleaning Gas，BPSG， Oxide，MOCVD,ETC

特长及特点:

a.吸附式更换费用低廉—吸附剂直接开发

b.Gas 处理效率高—高效的吸附能力

c.By—Pass Canister 设置—有害Gas正常设置

d.Canister 内部温度监控—内部加热反应监控

e.有效力的压力管理—Inlet 压力 Warning， Alarm，Interlock 装置

f.Compactly Design—安装空间占用小面积

g.System 简易化—售后服务容易化

化学吸附剂介绍：

大比表面积多孔性分子结构，无机物材质按配比混合成型，原料选型安全环保无二次污染。化学

反应安全沉降有毒有害气体。

适用：半导体 Dry Etch，Diffusion，Ion Implantation，Cleaning Gas，BPSG， Oxide，MOCVD,ETC

更多详情请致电联系：（莫先生）

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