AsH3,PH3,BF3离子注入专用local scrubber耗材废气处理吸附剂材料

参考价：面议

供货周期：	一周
品牌：	--
货号：	LVC-5H01

核心参数

规格： LVC-5H

产品详情

化学吸附剂介绍：大比表面积多孔性分子结构，无机物材质按配比混合成型，原料选型安全环保无二次污染。化学反应安全沉降有毒有害气体，部分废气处理化学反应过程如下：AsH3废气处理过程：2AsH3 + 3CuO⇒ Cu3As2 + 3H2OPH3废气处理过程：2PH3 + 3CuO ⇒ Cu3P2 + 3H2OBF3废气处理过程：2BF3 + 3Ca(OH)2 ⇒ 3CaF2 + B2O3 + 3H2O适用：半导体 Dry Etch，Diffusion，Ion Implantation（离子注入），Cleaning Gas，BPSG， Oxide，MOCVD,ETC更多详情请致电联系：13510756136（莫先生）

AsH3,PH3,BF3离子注入专用local scrubber耗材废气处理吸附剂材料信息由深圳市利微成科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于AsH3,PH3,BF3离子注入专用local scrubber耗材废气处理吸附剂材料报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应AsH3,PH3,BF3离子注入专用local scrubber耗材废气处理吸附剂材料外，深圳市利微成科技有限公司还可为您提供其他等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。