型号: | THCK-12 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 谱量光电 |
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表面综合分析测试探针台产品简介
·整体集成度高,且测试方便简单,底座行程大,弥补了基础型的缺陷,可以满足多种测试应用,且可以升级射频探针台;优点:高性价比,应用面广,稳定性高;应用:一般用在高校/研究所科研实验是居多,以及科研型单位研发部;
表面综合分析测试探针台产品优势
两边半圆形探针架,可以放置最多6个探针座,且方便放置探针卡集成4路吸附开关,方便吸附;
可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调;
1微米以上电极/PAD使用;
可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析,需要红外光源和红外摄像机;
有效像素2000万,有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像,也可以连接电脑;
HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900;
选用2X,5X,10X,20X,50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm,45mm,34mm;30.8mm,20.5mm,鼻轮支架带五孔鼻轮
集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm,精度1um;
整体交叉滚珠导轨,超高精度,超高稳定性;
最大电压 1400V,阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程;
位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调;
整体位移精度1um;
表面综合分析测试探针台模块介绍
表面综合分析测试探针台通用参数
样品台尺寸 12英寸 | 样品台行程 XY行程115X115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调 |
整体位移精度 1μm(可定制) | 光学放大倍数 270倍高清(体式显微镜) |
漏电精度 100fA | 针座精度 3μm(可升级1μm/0.5μm) |
接口形式 BNC/三同轴接口 | 背电极 可引出背电极 |
针座数量 标配2个(可升级到6个) |
产品应用
多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等
产品示意图
谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。
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