型号: | TLPH系列 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 谱量光电 |
评分: |
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TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来,实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路,实现光电流与IV的双功能检测,是光电芯片/器件测试的理想之选。
. 模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试;
. 最大可用于12英寸以内样品测试;
. 探针台整体位移精度高达3μm,样品台精密四维调节;
. 激光显微镜,5档物镜转盘,可引入激光完成光电流测试;
. 满足1μm以上电极/PAD使用;
. 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;
. 加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座;
. 配显微镜三维精密调节功能,且可选配多种行程及驱动方式。
多种精度,多种夹具类型探针座
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
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