型号: | TLRS-06 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 谱量光电 |
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便携组合式探针台产品介绍
探针台又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析,抽查测试等用途。
便携型组合式探针台产品优势
结构紧凑,功能实用,超高性价比;
样品台XYZR四维调节,XYZ整体分辨率3um,360°旋转 粗调可锁紧;
满足1um以上电极/PAD实用;
兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转及微调升降;
漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
精密传动机构,线性移动,无回程差设计;
U型探针架,可以放置多个探针座;
整体尺寸小,方便携带,底部蜂窝隔振板,提高测试稳定性。
便携型组合式探针台通用参数
样品台行程 XY均为110mm/150mm | 样品台Z轴行程 10mm |
样品台位移精度 标配3um(可升级) | 背电极测试功能 可以引出背电极 |
真空吸附 进口无油真空泵7L/min | 样品台固定方式 环形真空吸附 |
探针座行程 XYZ均为13mm | 位移精度 标配10um,可升级(1um,3um,电动) |
漏电精度 10pA(同轴线缆),100fA(三同轴线缆) | 安装方式 可调磁力吸附,真空吸附,螺丝固定安装 |
接口形式 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB | 成像方式 电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜 |
放大倍数 7-200倍,(最大可升级成1000倍) | CCD像素 2000W高清 |
显微镜移动 XY行程25mm/50mm,分辨率3um | 显示器 12寸/24寸高清显示器,HDMI高清接口 |
实验附件及常规测试步骤: 光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表(含软件)等。 测试时连接探针台和数字源表,探针接被测物体,通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面,待连接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。 应用领域: 半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。 谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。 |
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