XPS作为表面分析的重要手段,不仅被广泛地应用于化学分析、材料开发应用研究、物理理论探讨等学术领域,在机械加工、印刷电路技术、镀膜材料工艺控制、纳米功能材料开发等工业领域,XPS都能提供全方位的解决方案。在本次报告中,我们主要分享XPS在能源电池(包括MEA燃料电池层结构及元素扩散行为、太阳能电池质量评估、储氢材料中的H含量检测等)及半导体(包括触摸屏缺陷检测、硅晶圆片元素层间扩散、SiO2类栅极介电层材料检测)领域的广泛应用。
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XPS技术在能源电池及半导体领域的应用