EPMA与SEM的异同及其在材料测试中的应用—赵同新（岛津）
微束分析仪器中比较有代表性的有电子探针EPMA和扫描电镜SEM，它们在现代材料显微分析领域中有着重要应用。EPMA和SEM均使用电子束作为激发源，采集出射的电子信号进行微区形貌观察，检测激发的特征X射线，对微区进行成分分析。本报告以EPMA与SEM在原理、结构上的异同进行讲解，结合不同的材料对比测试展示这两种仪器各自的功能特点。
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2019-08-20
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