使用截面抛光仪制备电子元件截面样品——截面制备原理与封装半导体元件内部截面制备-日本电子株式会社(JEOL)-仪器信息网3i讲堂

使用截面抛光仪制备电子元件截面样品——截面制备原理与封装半导体元件内部截面制备

半导体行业经常会在失效分析中，有观察电子元器件截面的需求。传统的截面制备方法经常伴有样品变形、损伤等问题。日本电子的离子抛光仪设备能够针对该问题提出契合的解决方案，制备出无损的电子元器件截面样品。对于封装后元件的内部截面制备，日本电子的离子抛光仪也能够针对性地解决。