表面分析技术前沿进展及多领域联合应用探索
表面分析技术已被广泛应用于诸多科学研究以及高科技产业中。本报告将从空间分辨、深度分辨和原位表征多个维度出发,介绍表面分析技术(XPS、AES和TOF-SIMS等)的最新进展以及在多学科领域中的综合应用,包括研究材料表面微区特征组分和化学态的空间分布;研究膜层组分的深度分布;对材料进行原位测试芯能级、价带和导带电子结构等。
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