真空侧漏仪

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真空侧漏仪相关的厂商

  • 合肥迪泰质谱检漏仪专业生产厂家。氦质谱检漏仪用于真空检漏、如电厂汽轮机组,镀膜机,高压真空柜,真空炉,如有需要请联系 15056044460 王小姐合肥迪泰真空技术有限公司是专业氦质谱检漏设备供应商。主要产品有:氦质谱检漏仪,充氦回收系统,真空箱检漏系统,高真空设备,真空零配件等。公司拥有专业化的研发团队和科技人才队伍。所生产的新一代全自动高灵敏度氦质谱检漏仪采用多项国际先进技术。真空箱氦检漏系统设计科学,产品性能稳定。氦质谱检漏广泛应用于航天航空,汽车制造,真空应用等领域。
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  • 关于INFICONINFICON(英福康)是创新型仪器仪表、关键传感器技术和先进过程控制软件的领先供应商,致力于提升工业精密生产、真空制造过程的生产效率及质量和安全。这些分析、测量和控制产品对制冷、汽车制造、电力行业的气体试漏检测至关重要;同时也对众领域设备制造商及终端用户意义重大,如半导体及光学薄膜涂层、平板显示器、太阳能电池、工业真空镀膜等应用的精密制造。INFICON真空技术还应用于众多其他行业用户,包括生命科学、科研、航空航天、包装、热处理和激光切割等,也为紧急响应、安保和环境监测市场提供独一无二的化学毒品分析产品。INFICON总部位于瑞士,分别在美国、欧洲和中国建立了世界级的制造工厂,并在中国、芬兰、法国、德国、意大利、日本、韩国、列支敦士登、新加波、瑞典、瑞士、中国台湾、英国和美国设有分支机构。INFICON在 SIX 瑞士交易所上市,代号为IFCN。英福康在中国英福康(中国)是INFICON集团在中国的全资分公司,于2006年在中国上海投资设立了制造工厂,并在北京、上海、广州、香港分别设有销售办事处。英福康在中国同步提供集团所有系列的创新产品,并响应中国客户的生产要求,确保为综合性的销售、培训、应用支持和维修服务提供本地化的支持。截至2012年年中,英福康在中国的员工人数超出 100人。英福康在中国发展迅猛,并计划伴随中国市场的不断发展进一步扩大。了解更多关于英福康的信息,请浏览:www.inficon.com********* 英福康有限公司 - 中国区联系方式 *********销售办事处: 北京: 北京市朝阳区东三环北路8号亮马大厦1-1608室 邮编:100004 电话:+86-10-6590 0164/6590 5142/6590 5143 传真:+86-10-6590 0521上海: 上海市长宁区遵义南路88号协泰中心大厦1806室 邮编:200336 电话:+86-21-6209 3094 传真:+86-21-6295 2852广州: 广州市天河区林河中路188号恒源大厦21A12室 邮编:510610 电话:+86-20-8723 6889 传真:+86-20-8723 6003香港: 香港轩尼诗道36号循道卫理大厦22楼 电话:+852-2520 2880 传真:+852-2865 6883工厂:上海市松江区民益路201号11号楼一楼 邮编:201612 电话:+86-21-6768 7185 传真:+86-21-6768 7059电邮:Reach.China@inficon.com
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  • 合肥迪泰真空技术有限公司是一家新兴的高新技术企业。专门从事氦质谱检漏、真空箱氦检漏系统以及真空应用产品的研发、制造和销售为一体的现代化企业。 公司拥有专业化的研发团队和科技人才队伍。所生产的新一代全自动高灵敏度氦质谱检漏仪采用多项国际先进技术。真空箱氦检漏系统系列设计科学,产品性能稳定。氦质谱检漏广泛应用于航天航空,汽车制造,真空应用等领域。 公司本着“诚实,进取,创新,发展”的经营理念为广大客户提供优质产品和完善的售后服务。
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真空侧漏仪相关的仪器

  • 真空包装袋测漏仪 400-860-5168转5907
    产品用途:适用于药用玻璃瓶、西林瓶、塑料固体瓶、泡罩包装、铝塑软袋、注射器、移液管、真空包装袋、罐头、奶粉袋、铝箔袋、滴眼剂瓶、医疗器械包装、液体袋、果冻杯、扎盖、化妆品瓶袋、日化等包材负压密封泄漏试验及微生物侵入试验,广泛应用于制药厂家、药包材生产企业、药检中心、医疗器械公司、食品企业、化妆品企业等行业密封完整性检测。 测试原理:通过对真空室抽真空,使浸在水中的试样产生内外压差,观测试样内气体外逸情况,以此判定试样的密封性能;通过对真空室抽真空,使试样产生内外压差,观测试样膨胀及释放真空后试样形状恢复情况,以此判定试样的密封性能。符合 GB/T 15171《软包装件密封性能试验方法》.ISO等标准。 产品特点:1. 触摸屏控制,让操作更加简便,数据结果更加直观2. 真空室采用高透明有机玻璃,坚固耐用3. 可简单便捷检测4. 自动恒压补气,确保实验过程在预设真空下进行5. 采用真空元器件,性能稳定,经久耐用6. 一键化操作,自动更换测试真空,自动结束试验,自动反吹卸载7. 具有样品库,可预设试验参数;具有产品测试结果标识功能,可保留历史测试数据;有曲线图,数据更直观;可打印试验结果 技术参数:1. 主机箱尺寸:300X240X115mm2. 使用电压:50Hz,AC220V3. 真空泵功率:150W4. 抽气速率:60L/min 5. 真空度设置范围:0~-90KPa6. 密封桶外径尺寸:Φ300×300mm7. 标配真空室有效尺寸:Φ270X185mm8. 标配真空室容积:15L9. 测量时间:≤999S(时间可自由设定)10. 时间控制精度: 1s11. 充气速率:2KPa.L/S12.工作环境:-20~500 C(-200 C ~00 C时需开机试运行3min)13. 整机总量:约20KG14. 可根据需求选配定制
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  • Labthink真空衰减法检漏仪专业适用于食品、制药、医疗器械、日化、汽车、电子元器件、文具等行业的包装袋、瓶、管、罐、盒等的密封试验。亦可进行经跌落、耐压试验后的试样的密封性能测试。同样适用于泡罩包装、半硬或硬包装如玻璃药瓶的最小泄漏点和针孔的检测。技术特征:高灵敏度、高重复性、高稳定性:| 采用真空与压差双传感器法原理,进行无损检测,使其可重复并在测试结束后自动生成档案文件| 精密的压力测试系统,测试精度大幅提升| 采用世界知名国家进口的气动元件,进口压力传感器,性能稳定可靠| 提供KPa、psi、mbar、mmHg等多种试验单位| 仪器具有体积小,噪音低,无污染等独有特点| 采用内置高精度流量计,方便验证仪器线性,且无需拆机就可以进行计量与验证全新触控操作系统:| 一键式操作,直观的操作界面,可远程升级与维护| 真空、测试和渗入时间可调,存储于数据库中,保证测试条件的一致性| 试验曲线实时显示,数据智能统计,方便快速查看检测结果| 具有数据自动存储、掉电自动记忆功能| 历史数据可进行快速查看、打印| 打印机和USB通用数据接口,方便数据输出和传递(可选)| 多级用户权限管理,密码登录| 专业软件符合GMP药品生产质量管理规范测试原理:通过对测量室抽真空至目标压强,从而在包装件与测量室之间的营造压差环境。在此环境中,气体透过包装上的微小漏孔散逸并充盈在测量室中,导致测量室内压强上升,利用已知压差、时间间隔、压强的上升量可计算出漏率。测试下限:低于直径1微米的漏孔,行业内最低测试下限,可来电咨询。测试应用:适用于西林瓶、安瓿瓶、输液瓶、卡氏瓶、预充针、输液袋等合规性:符合ASTM、中国GMP、美国药典、FDA等试验流程:1、将试样放入测试腔体,根据设定的真空度对测试腔进行抽真空。在抽真空阶段,如果在指定的抽真空时间内,实际真空度无法达到参考真空度,那么包装有大漏。2、在保压阶段,如果在指定的保压时间内,实际真空度无法达到参考真空度,那么包装有中漏。3、在测试阶段,如果实际真空衰減率值大于参考真空衰減率值,那么包装有微漏。
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  • 针对高要求的药品包装和先进密封装置的完整性测试系统——AMI用于制药行业的创新性解决方案方法普发真空 AMI 凭借其发射光谱法,特别适合用于制药应用。特别是确保无菌以及保护药物免受微生物、氧气或水分侵入的初级包装是非常关键的。这种专利方法不需要任何特定的示踪气体,而是使用包装容器顶部空间中存在的气体混合物在大的检测范围内执行高灵敏度测试。因此,该测试方法适用于诸如泡罩、小袋、药水瓶和塑料瓶等不同种类的包装,也可用于测试电池盒等密封装置。作为泡罩包装在线过程控制 (IPC) 泄漏测试解决方案,AMI 设备已获得业内领先制药公司的认证。我们的软件符合美国《联邦法规 21 章》 (21 CFR) 第 11 款的要求。核心优势由于检测范围大,AMI 可以用一个系统代替氦气泄漏测试和粗泄漏测试。它提供与用户无关的、确定性的通过/不通过结果,并且还可以量化泄漏测试结果。因此,校准验证基于认证的校准泄漏,并根据 USP 1207.1 提供高可靠性和准确性。用在 AMI 中的软件解决方案符合 21 CFR 第 11 部分的要求。选装的软件解决方案可用于制造执行系统。可在软件中针对偏移生产的早期迹象和包装设备实现趋势分析。凭借广泛的测试结果以及高度准确性和可重复性,AMI 特别适用于验证和稳定性测试以及实验室研发使用。应用实例泡罩包装 玻璃药水瓶 塑料瓶产品介绍AMI 的标准配置配有一个 2041329mm 的测试室,但测试室可以根据特定的包装轻松定制。如果需求,普发真空通过整个 GxP 实施流程支持制药行业的客户。主要优势/客户利益 ■ 比传统测试灵敏度更高的大检测范围可以通过结合粗泄漏测试和精泄漏测试来提高效率■ 用户独立、确定性测试结果以及高重复性让人放心■ 基于可溯源校准泄漏的自动校准和通过而易于使用/不通过结果■ 高灵活性—适用于不同类型的包装,如泡罩、小袋、药水瓶、塑料瓶及其他装置■ 经济高效,投资回报快
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真空侧漏仪相关的资讯

  • 安徽皖仪携真空检漏方案亮相国际真空设备展
    2021年5月26日,第十六届国际真空展在北京国家会议中心盛大开幕,本次大会由中国真空学会与中国通用机械真空设备行业协会共同举办,展会吸引了一些仪器厂商参加。安徽皖仪展位作为一家以国际化视野、按国际化标准运营的全球分析仪器专业供应商,安徽皖仪科技股份有限公司主导产品涵盖色谱、光谱、质谱类分析仪器。本次展会,安徽皖仪携其第五代SFJ-261型氦质谱检漏仪亮相。第五代SFJ-261型氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。而安徽皖仪这款产品采用德国原装分子泵,双铱带离子源;独特的气路设计,较低的颗粒物干扰;拥有自保护功能,防止本底污染;自动抽空压力和时间设定,捡漏效率高;带有故障提示和报警功能和可选无线遥控功能。
  • 普发真空发布ASM 306 S 氢氦检漏仪 实现全时段简便精准的吸枪作业
    p   2020& nbsp 年& nbsp 6& nbsp 月& nbsp 1& nbsp 日,上海——近日,世界领先的真空和泄漏测试解决方案供应商普发真空推出了突破性产品ASM 306 S氢氦检漏仪,进一步完善了旗下泄漏检测产品系列。ASM 306 S氢氦检漏仪专为生产线上的连续使用而设计,具备极高性能且坚固耐用,其可靠运行能满足各类工业吸枪应用的需要,尤其适合制冷和空调领域。& nbsp /p p   在最终充入制冷剂气体之前,使用吸枪测量法进行泄漏控制是制冷和空调相关产品生产过程中最后且最重要的工艺步骤之一。这一步骤需要高精度、高可靠性的测试设备,以提高生产率,确保产品品质。普发真空ASM 306 S氢氦检漏仪能帮助生产者应对这些挑战。凭借自身在泄漏检测领域& nbsp 50多年的专有知识,普发真空此次推出的这款新产品集结了灵敏度、准确性和可重复性方面的多种成熟技术优势。无论是采用氦气或氢气作为示踪气体,ASM 306 S氢氦检漏仪均可实现快速且可重复的测量。当发生严重泄漏时,该装置可提供最快速的修复,确保最大程度的正常运行时间。& nbsp /p p   普发真空从用户的角度出发,将吸枪探头的人体工程学作为设计重点之一,确保操作人员能够在整个工作班次中全程握牢吸枪探头进行作业。同时,高气流量探头有助于轻松完成对泄漏的精确定位,确保检测过程中无任何遗漏。此外,探头配有各种不同长度的软管,便于轻松适配任意应用,同时能够独立更换。& nbsp /p p   包括探头和电缆在内的整体坚固性也是普发真空在产品设计中特别关注的重点。ASM 306 S氢氦检漏仪整体坚固性极好,能够在提供全时段吸枪装置的同时降低拥有成本。产品所配备的用于氦气和氢气的标准漏孔,该部件使用寿命长达& nbsp 2& nbsp 年,远超市场同类产品的水准。ASM 306 S& nbsp 同时还拥有& nbsp 7& nbsp 英寸的高分辨率可触摸主显示屏,提供清晰易读的界面。探头配备的彩色LED则可根据显示内容实时点亮,将测试信息直接显示在探头上,便于可视化管理,帮助操作员全神贯注测试部件。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/f8c83dde-79de-4129-aa6a-63f7d06118d5.jpg" title=" viewfile.jpeg" alt=" viewfile.jpeg" / /p
  • 英福康:应用于汽车工业的高敏非真空检漏法
    受益于先进的氦气检漏法,成本效益与高检出率得以二者兼备   业界对汽车制造的质量要求越来越高,但汽车制造业的盈利压力却一如既往并没有降低。对密封性的要求及其检测方法的发展状况同样如此。传统的检测方法不再可靠,而像真空氦气检漏仪这样的仪器却价格昂贵,并且过于敏感,上千种因素都能引起其变化。如今,一款常压氦检漏设备添补了空白。   压力和气泡检测不够精确   一直以来,大多数汽车与摩托车容纳液体的容器都需要在水槽中水检或者采用压力衰减法进行气密性检测。虽然这两种方法的检测成本较低,但其只能检测最高为10-2 至 10-3 mbar l/s的泄露。另外,由于水的表面张力,小气泡根本无法形成,所以,在水中进行气泡检测根本无法检测出较小漏孔。与此同时,空调零部件或带阀门的燃油箱的检测漏率范围为10-5 mbar l/s,但喷射阀的检测范围还是保持在10-4 mbar l/s。所以,传统的泄漏检测法在汽车业根本不适用。此外,由于有些检测部件是潮湿的,该方法不能对所有零部件进行检测,而且作为一项纯粹的需要眼力的工作,检测结果完全取决于进行检测的人的能力及其注意力。   采用压力衰减法时(或压降法检测),将空气以特定的压力引入到检测部件中。如果有泄露情况,压力则会降低,其差值可以被检测出来。理论上非常简单,但在实际操作中,必须应对各种变量的干扰。因为压力变化并不一定是泄露造成的。一方面,检测部件本身的弹性变化也会对压力产生影响,当空气快速地进入检测部件时,检测部件会膨胀,然后再逐渐紧缩检测。因为所测差值取决于压力和体积,所以在检测过程中需要等待,直至检测部件恢复其原始体积(稳定期)。原始体积与空气进入时的压力越大,检测部件达到稳定期所需的时间则越长。在生产情况下,检测部件体积上限约为5升。   如果稳定期所需时间太长,该种检测法也称不上低成本了。另外,当空气进入塑料检测部件时,还需要考虑蠕变性能(检测部件的塑料部分会因载重而变形)。检测过后,取决于塑料的分子结构,检测部件的体积会有不同程度的增大,压力也会随之衰减。这种情况下,几乎不可能对低泄漏率进行可靠测量。此外,随着温度的不同,压力也会发生很大的变化。当检测压力为5巴,检测体积为1升,检测时间为30秒时,温度每下降0.1°C就会产生6*10-2 mbar l/s的虚拟泄漏率。然而,如果温度上升0.1°C,即使泄漏率为6*10-2 mbar l/s,在检测部件上也不会有所体现,这是因为,检测尽管随着温度的变化压力增加了,但这些增加的压力却被泄露而导致的压力衰减同时抵消了。制造汽车所需的很多零部件大多都直接来源于生产线,由于生产过程,这些零部件的温度一般不会低。   如果在检测过程中冷却这些零部件,会使检测结果不真实,从而不利于对泄漏率进行有效控制。我们当然可以在检测部件达到适当稳定期之后再行检测,从而抵消这种不利影响,但浪费掉的大量时间也是影响成本的因素。或者,我们可以设立一个冷却区,但这意味着投资的大幅度增加。周围环境的温度也是一个主要问题,甚至日照变化都可能引起温度的波动,从而导致检测结果的改变。一般来说,高温是最值得警惕的问题。最后,空气湿度也会使检测结果发生变化,因为空气中水蒸气的蒸汽压会影响测量,产生差值检测。以上这些都是亚洲区域低成本生产设备的主要特点,所以在亚洲建立检测区极为复杂且富于挑战,并且这样做还会抹杀我们在成本上的优势。这种情况下,很难保证出现同一测量结果,而且,随着泄漏率变小或容积变大,各项测量数据相同的几率会持续下降。所以,就汽车行业批量生产的诸多要求来说,压降法已经无法保证其测量数据的准确性,或者可以说,该方法在某些地区已失去效用。   真空检漏价格昂贵   我们还可以选择其他检测方法:如将氦气作为检测气体采用质谱仪检测泄漏情况。虽然用最少的氦气就能检测出最小的泄漏率(10-11 mbar l/s),但这必须在高度真空的条件下才能进行。就这一点而言,这种方法成本太高。真空箱必须高度密封,而且还要配备各种高性能泵才能产生真空效果,这样一来,生产和操作成本都太高。这种方法非常有效,极小的泄漏也能被检测出来,并且检测仅需几秒就可完成,该系统非常先进,在完成几轮检测后依然可以保持最佳检测状态,即使在氦气浓度持续增高的情况下,也依然如此。   但是,该系统并不是上述问题的最佳解决方案,因为这项检测敏感度极高,多达上千种因素都可引起其检测结果的变化,而且其购置和操作成本太高,大大抵消了其优势。另外,为检测部件而将检测室抽成真空意味着其压差通常会高达1巴。由于设计零部件时通常不会考虑到会出现如此大的压力,许多塑料部件可能会被损坏。在这种情况下,同时对检测室和检测部件进行真空处理,与之前低压下用氦气填充检测部件花费相当。另外,对于大体积检测部件如汽车水箱和其他零部件而言,真空室的大小也需相应变化。因此,一方面检测室真空处理的泵送时间以及整个检测时间都会延长 另一方面,安装工程较大,致使投资成本上涨。在汽车行业向低成本、高效率转型的今天,无论是时间的延长还是成本的增加,都已经不再适用。   在非真空条件下进行替代检漏/混合氦气检漏   在汽车工业中,采用空气进行检测在很多方面已经达到极限,但在真空环境下进行检测成本又过于高昂。泄漏率在10-2 到 10-5 mbar l/s之间,确实存在一个区域可以采用高性能、全自动的检测方法。如今,在大气压下,在积累箱内采用氦气或氢气进行泄漏检测(积累法),已经成为填充这一区域最经济的解决方案(见图1)。氢气,更准确地说是一种含氢量为5%的合成气体,它与氦气一样也可用于泄漏检测。作为一种检测气体,它的价格更为合理(在美国,它只是氦气价格的1/3,在中国,这个数字是1/10)。但是采用这种气体进行检测,无法保持相同的敏感度,且对于较小泄漏率如10-3 mbar l/s而言,在检测部件净容积为10升的情况下,检测时间约为5分钟(氦气检漏为11秒)。   就检测情况来说,氢检漏法更接近于压降法,但其在弹性和温度方面却没有压降法的那些弱点。氦气也适用于泄漏率为10-4 至 10-5 mbar l/s的泄漏检测。因为检测在正常压力下,这种检测方法不能使用质谱仪,所以需要一个敏感度高的传感器来测量不断增加的氦浓度。这些传感器采用Wise Technology专利,且仅应用于英福康系统。在检测室内通过检测气体的连接氦气被导入到检测部件中检测,如果存在泄漏,检测气体就会通过泄露处跑到积累箱中。   风扇可以保证腔室中氦气的平均分布。如此一来,就可以在不知道泄漏位置的情况下进行精确测量。传感器可检测出大气中检测气体的含量。在英福康 T-Guard 系统中,传感器由真空玻璃管构成,该玻璃管上部带有能渗透氦的石英膜,这层石英膜像一块海绵,只有分子水平的氦气才能从中穿过。玻璃管中氦气浓度的变化可以通过辅助的压力测量装置中的电流变化测量出来。(见图2)   采用这种方法,传感器解决方案可以确切地分辨出浓度到底是增加了25 ppb还是增加了0.025 ppm,检测能够可靠地检测出10-6 mbar l/s以内的泄漏率。在生产过程中, 对于一个5升的自由容积检测室(自由容积是指检测室容积减去检测部件容积),该方法可以在大约30秒之内检测出1*10-4 mbar l/s的泄漏率。对于容积为1升的检测室,检测出这样的泄漏率仅需11秒。连同开机设定时间在内,每个检测部件的检测时间仅需约16秒,每小时可检测225个检测部件。(见图3)   该检测方法还有其他特殊应用,如检测排气再循环系统内部和外部的气密性,能检测的泄漏率为2 sccm,约合3.3 * 10-2 mbar l/s。在一个体积为40升、以混合气体(含10%氦气)作为检测气体的检测箱中,检测时间为11秒,每个检测部件全部循环时间为45秒。除了速度快之外,该检测方法还有其他优点,如它可以对塑料检测部件进行检测。气体导入后,检测部件容积变大,但并不会影响该测量系统。此外,温度、湿度和弹性也都不能造成任何影响。为了检查该系统是否能达到泄漏率检测限检测部件,可将检测部件放置在检测箱的不同位置,以便进一步检查检测箱中的氦气浓度是否保持一致。   传感器和系统   作为泄漏检测系统的组成部分,敏感度并非是对于测量系统的唯一要求。此外,还需要易于集成、个性化设置以及低维护运行性能。另外,为迎合工厂工程需求,检检测系统还必须设计简单紧凑,这样该系统就可以与液压件和电子元件很好地进行连接,同时还可以在多种检测模式中灵活运用。(见图4)   该积累法优势明显。首先无需对标准大气进行真空处理,这样就可以避免使用涡轮分子泵、气密性要求极高的真空箱,以及高敏质谱仪。这极大地简化了测量系统的设计,并能更好地控制或降低整个系统的采购和维护成本。另外,采用该种方法能检测得出可靠且具有重复性的检测结果,即使采用家用塑料盒也能成功完成。此外,即使检测部件体积非常大、高温度或潮湿,这种混合氦气检漏的测量值依然具有高度的重复性,检测部件无需在检测前进行长时间的冷却或干燥。从经济上考虑,快速、全自动的检测是生产线上最为关键的部分,所以这种无需真空条件的氦检漏方法是汽车零部件制造业的理想手段,能满足汽车制造业对于质量和成本的双重需求。   图1:在常压下,氦气检漏可以填充10-2 到 10-5 mbar l/s之间的区域。(理想状态:10-6mbar l/s)     图2:传感器中心是真空玻璃管,该玻璃管上部带有能渗透氦的石英膜。     图3:常压下氦检漏过程中检测部件泄漏率与净容积之间的关系。     图4:在大气压下T-Guard就能通过简单检测箱工作,无需复杂的高真空箱及真空泵。     图5:以积累箱进行混合氦气检漏,该方法已用于检测汽车行业的扭矩转换器。   图6:检测箱需与检测部件尽量靠近,有限的自由容积使检测时间更短且更富有成效。   关于英福康   英福康(INFICON)是世界领先的检漏仪器仪表的开发商,制造商与供应商。其检漏仪被广泛应用于生产和质量监控中有较高难度的工业流程中。英福康的主要客户有制冷和空调设备的制造商与服务商,汽车制造商和汽车零部件供应商,半导体行业以及检漏系统集成商。全球几乎所有重要的汽车制造商及零部件供应商是英福康的客户,其中包括安全气囊、空调及元件、油箱、喷油器系统、各种流体容器生产商等。   作为英福康控股(总部位于瑞士)的一个分支,检漏业务部门使用了英福康控股的其他下属业务部门的产品,如质谱仪和真空控制设备。在2006年,英福康 “智慧科技(Wise Technology)”专利的应用,为示踪气体检漏技术带来了革命性的创新。在2011年,英福康收购了Pfeiffer Vacuum(前身为Sensistor的下属部门)公司的氢泄漏检测技术。   英福康在检漏领域拥有50多年的经验。它通过在科隆(德国),查斯(列支敦士登),林雪平(瑞典),雪城(美国)和上海(中国)地区的生产据点,在重要工业国家的销售办事处,以及与销售伙伴组成的广泛销售网络来进行产品的全球销售管理和支持。在2011年,在全球范围内,英福康实现了3.15亿美元的收益,拥有员工约950名。INFICON在 SIX 瑞士交易所上市,代号为IFCN。   英福康在中国   英福康(中国)是英福康集团在中国的全资分公司,于2006年在中国上海投资设立了制造工厂,并在北京、上海、广州、香港分别设有销售办事处。英福康在中国同步提供集团所有系列的创新产品,并响应中国客户的生产要求,确保为综合性的销售、培训、应用支持和维修服务提供本地化的支持。截至2012年年中,英福康在中国的员工人数超出 100人。英福康在中国发展迅猛,并计划伴随中国市场的不断发展进一步扩大。   了解更多关于英福康的信息,请浏览:http://www.inficonautomotive.com/zh/index.html

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  • 真空封装器件漏率和内部真空度的非接触测量方法

    真空封装器件漏率和内部真空度的非接触测量方法

    [size=16px][color=#339999][b]摘要:大量MEMS真空密封件具有小体积、高真空和无外接通气接口的特点,现有的各种检漏技术无法对其进行无损形式的漏率和内部真空度测量。基于压差法和高真空度恒定控制技术,本文提出了解决方案。方案的具体内容是将被测封装器件放置在一个比器件内部真空度更高的真空腔体内,采用电动可变泄漏阀和控制器自动调节微小进气流量进行高真空度控制,由此在被测器件内外建立恒定压差,通过测量此压差下的漏率可得到器件内部真空度。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][color=#339999][b]=========================[/b][/color][/size][/align][size=18px][color=#339999][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 真空密封器件通常需要在特定的真空度下才能正常工作,即需要高真空度和长时间的真空保持度。例如杜瓦组件作为广泛使用的绝热容器在制冷、 红外探测以及超导中都有应用,而杜瓦的绝热效果与其夹层真空度直接相关。有机发光二极管对水蒸气和氧气含量特别敏感,工作时需要真空条件,含量超标的水蒸气和氧会严重影响其寿命和稳定性。高精度的MEMS惯性器件如MEMS陀螺仪、MEMS谐振式加速度计等需要工作在高真空环境中,其内部真空度的好坏决定其品质因数的大小。由此可见,为了保证真空密封器件的密封性能,需要对漏率和真空度的变化进行测试评价,但由于存在以下几方面的原因,使得这种评价技术成为目前迫切需要解决的难题:[/size][size=16px] (1)对于大多数真空密封器件而言,其几何尺寸一般很小,且不能配置真空度和漏率测量接口,这导致了很多现有真空测量领域的传感器和仪器都无法直接使用。[/size][size=16px] (2)对于个别真空封装器件,可通过在外部形成高压将示踪气体(如氦气)加载到真空封装器件内,然后再在外部抽真空条件下采用检漏仪测量真空封装器件的漏率。但这种方法往往会破坏真空封装器件内部的真空度,且不可逆转,可能会造成真空封装器件性能的降低。[/size][size=16px] (3)直接在真空密封器件内集成真空度传感器不失为一种有效手段,如集成如皮拉尼计和音叉石英晶振等,国内外的各种研究也曾在这方面做过努力,但由于所集成传感器自身特性(如结构形状、尺寸、真空度测量范围和精度等)以及所带来附加影响,使得这种技术仅勉强适用于个别真空密封器件,根本无法作为一种通用技术得以应用。[/size][size=16px] 为了解决目前真空封装器件存在的检漏问题,特别是实现对真空封装器件内部真空度的测量,本文基于压差法提出了一种间接测量的解决方案。[/size][size=18px][color=#339999][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 对于内部具有一定真空度的真空封装器件,其漏率和内部真空度的测量将基于压差法。具体是即将被测真空封装器件放置在一个要比器件内部真空度更高的密闭腔体内,由此在封装器件内外形成压差。通过测量获得此压差下的漏率,然后再通过漏率计算出器件内部真空度。[/size][size=16px] 依据解决方案设计的真空封装器件漏率和真空度测量装置结构如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=真空密封器件漏率和真空度测试系统结构示意图,690,253]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309041023569886_4228_3221506_3.jpg!w690x253.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图1 真空密封器件漏率和真空度测试系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 依据检漏中的压差法原理,漏率的测量结果与压差(P1-P0)呈线性关系。因此,如图1所示,只要精确控制密闭腔体内的真空度P1,在测量得到漏率后,就可以计算出真空封装器件内部的真空度。由此可见,测试真空密封器件漏率和真空度需要解决以下两个关键问题:[/size][size=16px] (1)腔体真空度P1的精确控制:对于具有高真空(如P01E-03Pa)的封装器件,腔体真空度需要达到P11E-03Pa的更高真空度,以形成尽可能大的压差,这就要求对超高真空度能实现准确控制,控制精度越高则计算得到器件内部真空度的精度越高。[/size][size=16px] (2)漏率测量:漏率测量也是决定精度的关键因素,具体实施时可以采用各种高灵敏度的漏率测量方法,如氦质谱检漏仪。为了实现定量和高精度的漏率测量,也可以采用特殊设计的漏率测试系统,但这部分内容不在本文阐述的内容之内。[/size][size=16px] 本文的重点是介绍解决方案中的超高真空度精密控制技术。如图1所示,超高真空度的控制采用调节进气流量来实现,具体采用了VLV2023型号的电动可变泄漏阀,进气流量的调节范围是1E-8PaL/s~500PaL/s,调节信号为0~10V。超高真空度控制回路有真空计、真空控制器和电动可变泄漏阀组成,真空控制器采集真空计信号并与设定值进行比较后,输出PID控制信号对可变泄漏阀进行驱动来调节微小的进气流量,由此使腔体真空度快速恒定在设置值处。[/size][size=16px] 在超高真空控制中还面临另外一个问题是真空计输出信号的非线性,为此本文解决方案中采用了具有线性化处理功能的VPC2021系列真空压力控制器,通过在真空和电压的关系曲线中取八个数据点进行拟合,可很好的解决线性PID控制非线性信号的问题。[/size][size=18px][color=#339999][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 综上所述,本解决方案很好的突破了真空密封件漏率和内部真空度测量难题,关键是实现了高真空度精密控制中的微小进气流量自动调节以及传感器非线性输出信号的PID控制器线性化处理。解决方案中的高真空度控制装置可广泛应用于任何真空系统,PID控制器线性化技术可广泛应用于各种非线性传感器测量控制场合。[/size][size=16px] 本解决方案对高真空微小压差下的漏率测试技术并未做详细的介绍,这部分内容将在后续研究报告中给出详细的测试系统描述。[/size][size=16px][/size][align=center][b][color=#339999]~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/align]

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