推扫式机

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推扫式机相关的厂商

  • 济南易推网络科技有限公司式一家从事工控仪表销售的公司,专业销售流量计、液位计、水位控制仪、电导率仪、农业机械、畜牧机械、环保仪器仪表、压力仪表、专用仪器仪表、食品检测仪器、微生物检测仪、实验室仪器仪表的销售。
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  • 上海迅扫计算机科技有限公司成立于2017年,它是境内自动识别领域设备及耗材的优质代理商。我们代理的是国际以及国内知名的条码设备及耗材品牌,一直与提高客户生产效率。除了为我们客户提供条码设备及耗材外,我们还销售美国MURPHY,德国VDO仪器仪表等国际知名品牌的一些产品。我们将以严格的质量承诺和维护品牌的诚信态度赢得公众的认可,坚持合作与发展的原则,通过与国内外知名企业的进行交流与合作,不断创新和积累,为广大客户提供优质的服务。
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  • 济宁腾宇机械设备有限公司,是山东济宁机械设备基地,公司主要生产销售滚轴摊铺机,二轴摊铺机,三轴整平机,滚筒振动梁,混凝土整平机,电动整平机,电动抹光机,汽油抹光机,电抹子,小型振动压路机,钢轮震动压实机,手扶振动钢轮压路机,小型震动压路机,汽油切割机,路面电动切割机,公路柴油切缝机,手推式马路切割机,马路刻纹机,电动切割刻纹一体机,汽油刻纹切割一体机,柴油切割机,汽油切纹机,电动刻纹机,桁架刻纹机,大型自动刻纹机,手推压纹机,防滑刻纹机,压痕机,滚筒排阵一体机,6个棒振动梁,排阵滚轴一体机,牛场刻纹机,草原奶牛场刻纹机,11个头手推凿毛机,1个头凿毛机,3个头手提凿毛机,钢绞线穿线机,可穿180米穿线机,搅拌桶,喷雾机,划线机,除线机,电动铣刨机,汽油铣刨机,电动振捣棒,,驾驶震动压路机,门窗切墙机,钢筋混凝土切墙机,环氧无尘打磨机,环氧地面研磨机,墙面抹光机,塔机喷淋,除雪机,晶面机,空气净化器,路面开槽机,石材翻新机,热熔除线机,手推清扫机,轨道整平机,卡箍切桩机等,欢迎来电洽谈,采购。
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推扫式机相关的仪器

  • GaiaSky-mini推扫式机载高光谱成像系统GaiaSky-mini推扫式机载高光谱成像系统是针对小型旋翼无人机开发的高性价比机载高光谱成像系统。采用自有专利的内置扫描系统和增稳系统,成功克服了小型无人机系统搭载推扫式高光谱相机时,由于无人机系统的震动造成的成像质量差的问题。为高光谱成像技术在目标识别、伪装与反伪装军事领域,地面物体与水体遥测、现代精细农业等生态环境监测等领域的广泛应用奠定了基础。 推扫式机载高光谱成像系统技术特点:1、完美适配M600 Pro及S1000+,极低的系统成本与测试成本2、采用悬停拍摄方式,无需高精度惯导系统,图像实时自动拼接3、操作方便,无需专业无人机操控手,可实现单人操作4、图像实时回传,监控拍摄效果5、辅助取景摄像头实现真正的所见即所得6、通过地面站实时观测飞机采样地点并可利用地面站设置逐点采集的航线7、数据预览及矫正功能:辐射度校正、反射率校正、区域校正支持批处理8、实时常用植被指数计算功能:归一化植被指数(NDVI)、比值植被指数(RVI)、增强植被指数(EVI)、大气阻抗植被指数(ARVI)、改进红边比值植被指数(mSR 705)、、Vogelmann 红边指数(VOG)、光化学植被指数(PRI)、结构不敏感色素指数(SIPI)、归一化氮指数(NDNI)、类胡萝卜素反射指数1(CRI1)、类胡萝卜素反射指数2(CRI2)、花青素反射指数1(ARI1)、花青素反射指数2(ARI2)、水波段指数(WBI)、归一化水指数(NDWI)、水分胁迫指数(MSI)、归一化红外指数(NDII)、归一化木质素指数(NDLI)、纤维素吸收指数(CAI)、植被衰减指数(PSRI)、调整土壤亮度的植被指数(SAVI)9、支持自定义实时分析模型输入功能10、数据格式完美兼容Evince、Envi等第三方数据分析软件 左图:Gaiasky-mini-VN 右图New:Gaiasky-mini2-VN 推扫式机载高光谱成像系统技术参数:型号Gaiasky-mini-VNGaiasky-mini2-VN结构相机与控制器分体设计集成一体化设计光谱范围400-1000(nm)400-1000(nm)光谱分辨率(30um)3.5nm3.5nm数值孔径F/2.8F/2.8传感器CCD Sony ICX285CCD Sony ICX674像素间距6.45(um)4.54(um)相机输出14(bit)14(bit)连接方式USB 2.0USB 3.0工作电压12~19V12~19V功率45W45W拍摄方式悬停(内置扫描)悬停(内置扫描)搭载平台旋翼无人机、无人飞艇、无人直升机等可悬停飞行器;推荐:大疆M600 Pro镜头17mm,18.5mm,23mm17mm,18.5mm,23mm横向视角(FOVac,°)29.6@17mm,27.3@18.5mm,22.08@23mm28.7@17mm,26.7@18.5mm,21.5@23mm横向视场158米@17mm,146 米@18.5mm,117米@23mm(飞行高度300米)154米@17mm,142 米@18.5mm,115米@23mm(飞行高度300米)图像分辨率696X700960X1040Bin方式256通道128通道360通道176通道空间分辨率(@17mm, 高度300米)0.23m0.23m0.160.16扫描速度(line images/s)6084125160单幅拍摄速度(秒)12997重量相机(含内置扫描)1.3Kg;控制器:0.65kg1.5kg( 相机及内置控制器)采集器240G SSD240G SSD云台及相机安装空间=330(悬挂高度)*200*260mm=330(悬挂高度)*200*260mm
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  • GaiaSky-mini推扫式机载高光谱成像系统GaiaSky-mini推扫式机载高光谱成像系统是针对小型旋翼无人机开发的高性价比机载高光谱成像系统。采用自有专利的内置扫描系统和增稳系统,成功克服了小型无人机系统搭载推扫式高光谱相机时,由于无人机系统的震动造成的成像质量差的问题。为高光谱成像技术在目标识别、伪装与反伪装军事领域,地面物体与水体遥测、现代精细农业等生态环境监测等领域的广泛应用奠定了基础。 技术特点:1、完美适配M600 Pro及S1000+,极低的系统成本与测试成本2、采用悬停拍摄方式,无需高精度惯导系统,图像实时自动拼接3、操作方便,无需专业无人机操控手,可实现单人操作4、图像实时回传,监控拍摄效果5、辅助取景摄像头实现真正的所见即所得6、通过地面站实时观测飞机采样地点并可利用地面站设置逐点采集的航线7、数据预览及矫正功能:辐射度校正、反射率校正、区域校正支持批处理8、实时常用植被指数计算功能:归一化植被指数(NDVI)、比值植被指数(RVI)、增强植被指数(EVI)、大气阻抗植被指数(ARVI)、改进红边比值植被指数(mSR 705)、、Vogelmann 红边指数(VOG)、光化学植被指数(PRI)、结构不敏感色素指数(SIPI)、归一化氮指数(NDNI)、类胡萝卜素反射指数1(CRI1)、类胡萝卜素反射指数2(CRI2)、花青素反射指数1(ARI1)、花青素反射指数2(ARI2)、水波段指数(WBI)、归一化水指数(NDWI)、水分胁迫指数(MSI)、归一化红外指数(NDII)、归一化木质素指数(NDLI)、纤维素吸收指数(CAI)、植被衰减指数(PSRI)、调整土壤亮度的植被指数(SAVI)9、支持自定义实时分析模型输入功能10、数据格式完美兼容Evince、Envi等第三方数据分析软件 左图:Gaiasky-mini-VN 右图New:Gaiasky-mini2-VN推扫式机载高光谱成像系统技术参数:型号Gaiasky-mini-VNGaiasky-mini2-VN结构相机与控制器分体设计集成一体化设计光谱范围400-1000(nm)400-1000(nm)光谱分辨率(30um)3.5nm3.5nm数值孔径F/2.8F/2.8传感器CCD Sony ICX285CCD Sony ICX674像素间距6.45(um)4.54(um)相机输出14(bit)14(bit)连接方式USB 2.0USB 3.0工作电压12~19V12~19V功率45W45W拍摄方式悬停(内置扫描)悬停(内置扫描)搭载平台旋翼无人机、无人飞艇、无人直升机等可悬停飞行器;推荐:大疆M600 Pro镜头17mm,18.5mm,23mm17mm,18.5mm,23mm横向视角(FOVac,°)29.6@17mm,27.3@18.5mm,22.08@23mm28.7@17mm,26.7@18.5mm,21.5@23mm横向视场158米@17mm,146 米@18.5mm,117米@23mm(飞行高度300米)154米@17mm,142 米@18.5mm,115米@23mm(飞行高度300米)图像分辨率696X700960X1040Bin方式256通道128通道360通道176通道空间分辨率(@17mm, 高度300米)0.23m0.23m0.160.16扫描速度(line images/s)6084125160单幅拍摄速度(秒)12997重量相机(含内置扫描)1.3Kg;控制器:0.65kg1.5kg( 相机及内置控制器)采集器240G SSD240G SSD云台及相机安装空间=330(悬挂高度)*200*260mm=330(悬挂高度)*200*260mm
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  • Specim高光谱相机(推扫式)产品负责人:姓名:吴工(Pete)电话:(微信同号)邮箱:芬兰Specim公司简介:Specim是世界上较早的研发、生产高光谱相机的制造商,专注于高光谱成像领域二十余年,产品优异知名、技术稳定可靠。Specim高光谱相机(推扫式)简介:光谱范围覆盖可见光、近红外、短波红外、中波红外和长波红外各个波段。强大的感兴趣波段选择功能以及高速采集能力,满足客户各种高光谱成像分析要求。Specim高光谱相机(推扫式)原理:采用的是面阵探测器,探测器自身垂直于运动方向扫描,获得一维线视场的空间信息,并利用机械运动完成沿轨方向扫描实现二维空间信息的获取,同时线视场的光谱信息在面阵探测器的第二维获得。Specim高光谱相机(推扫式)参数:(1)SPECIM AFX系列Specim公司全新推出的AFX系列高光谱相机,适用于可见光-近红外和短波红外波段高光谱成像分析。一体化的高光谱成像系统包括高光谱成像仪、强大的数据处理单元,高端的GNSS/IMU单元,具有重量轻、体型紧凑、易安装操作等优点,并可自动采集数据,功能强大、应用范围广。SPECIM AFX10SPECIM AFX17光谱范围400-1000 nm900-1700 nm光谱采样率2.68 nm3.5 nm光谱分辨率5.5 nm 8.0 nm光谱通道数up to 224up to 224空间像素数1024640视场角38°38°镜头F数F/1.7F/1.7相机帧率up to 330 fpsup to 330 fps尺寸重量131 x 152 x 202 mm,2.5 kg131 x 152 x 202 mm,2.5 kg(2)SPECIM FX系列芬兰SPECIM的FX系列高光谱相机采用的线阵推扫的成像方式,在具有高速成像的同时,同一时间获得目标区域的所有光谱信息数据,保证每一个空间像素的光谱纯度,为客户提供真实准确的高光谱数据。通过选择感兴趣波段,芬兰SPECIM的FX系列高光谱相机还具有前所未有的高速数据采集速度。SPECIM FX10SPECIM FX17SPECIM FX50光谱范围400 – 1000 nm900 – 1700 nm2.7 – 5.3 μm光谱通道数224224154光谱分辨率5.5 nm8 nm35 nm空间像素数1024 px640 px640 px相机帧率330 FPS with full frame 9900 FPS with 1 band selected670 FPS(with full frame) 15 000 FPS(with 4 bands selected)380 FPS (Full image with default binning)视场角38 ? (Other options available)38 ? (Other options available)24 ?/ 45 ?/ 60 ?镜头F数F/1.7F/1.7F/2.0数据接口GigE Vision, CameraLinkGigE Vision, CameraLinkGigE Vision, Custom ethernet尺寸重量150 x 85 x 71 mm,1.26 kg150 x 85 x 75 mm,1.56 kg280 x 202 x 169 mm,7 kgSpecim高光谱相机(推扫式)应用领域:光谱分析,矿物甄别、材料分选、蔬果分析、地质勘探,农业遥感,工业检测、无人机载高光谱成像分析,便携式高光谱成像分析,可见光高光谱成像分析,红外高光谱成像分析,热红外高光谱成像分析,矿物甄别,材料分选,蔬果分析,地质勘探,农业遥感,工业检测,黑色塑料分选,金属制造,色选,气体检测,火焰分析,农业植被类型识别,垃圾回收,水果质量分析,显微高光谱分析,农业高光谱,遥感高光谱,光谱成像分析,植被高光谱,航空高光谱,高光谱异常检测,荧光高光谱分析,显微高光谱成像,地物高光谱分析,室内高光谱分析,刑侦高光谱分析,土壤高光谱分析、环境监测。
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推扫式机相关的资讯

  • 鑫图sCMOS相机 | 全自动推扫式高光谱显微成像系统设计与研究
    为了将光谱成像技术更方便地引入显微成像领域,本文介绍了高光谱成像技术与显微成像技术相结合,搭建出一套全自动推扫式高光谱显微成像系统。该系统以倒置显微镜为主体进行设计,采用棱镜-光栅元件进行光谱分光,利用高精度二维电动运动平台进行推扫,同时结合电动对焦组件完成对焦,最终成像在高灵敏sCMOS科学相机上。根据大多数生物样本光谱检测需求,系统的光谱范围选择为420~800 nm,并引入激光自动对焦系统作为主动对焦模块,以HE染色的乳腺癌病理切片为研究对象。通过对全自动推扫式高光谱显微成像系统的设计与研究,解决了高光谱显微成像中无法实时对焦的难题,实现了在40倍显微物镜下3.25 mm × 3.25 mm范围内的全自动成像。这有助于促进光谱技术在生物医学等领域中的应用,特别是对需要高分辨率和高灵敏度的场景中,提供了有效的解决方案。图1 整机图片图2 基于主动对焦的大视场推扫成像推扫式高光谱显微成像系统的光谱探测器采用了鑫图背照式sCMOS科学相机Dhyana 400BSI。该相机像元大小为6.5 μm,非常适配于40x~60x的成像系统。相机的宽光谱响应范围涵盖了190 nm~1100 nm,可以适用于生物样本的光谱检测需求,峰值量子效率高达95%,读出噪声仅为1.1e-。这些性能在高分辨率成像和灵敏度之间实现了平衡,并能大幅提高信号检测能力,非常适合部分光谱应用的需求。参考文献唐凌宇, 葛明锋, 董文飞. 全自动推扫式高光谱显微成像系统设计与研究[J]. 中国光学, 2021, 14(6): 1486.该文章旨在为大家提供先进成像技术相关应用参考,部分内容摘抄于相关论文研究成果,版权归原作者所有,引用请标注出处。
  • 铜仁市中医医院318.00万元采购数字切片扫描,切片机
    详细信息 铜仁市中医医院关于铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次)的公开招标公告 贵州省-铜仁市-碧江区 状态:公告 更新时间: 2022-11-18 招标文件: 附件1 附件2 项目概况 铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次)招标项目的潜在投标人应在铜仁市公共资源网上交易系统(http://58.42.4.86:50014/TPBidder/memberLogin)下载获取招标文件,并于2022年12月13日 09:30(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:ZJZB(2022)TR-004-1 项目名称:铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次) 项目序列号: ZFCG20221118002 预算金额(元):3180000 最高限价(元):3180000 采购需求: 标项名称: 铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次) 数量: 1 预算金额(元): 3180000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:冰冻切片机1台、载玻片激光打号机1台、包埋盒激光打号机1台、全自动脱水机1台、全自动HE染色机1台、全自动免疫组化染色机1台、数字切片扫描仪及远程会诊系统1套等设备 备注: 合同履约期限:标项 1,以合同签订为准 本项目(否)接受联合体投标。 二、申请人的资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:标项1:按财库〔2022〕19号、财库〔2020〕46号、黔财采〔2014〕15号、财库〔2017〕141号、财库〔2014〕68号和财政部印发“关于印发节能产品、环境标志产品政府采购品名清单的通知”执行 3.本项目的特定资格要求:【标项1】 1)投标人为制造商的须提供医疗器械生产许可证复印件, 投标人为代理商的须提供医疗器械经营许可证或医疗器械经营许可备案证明复印件;2)投标产品为医疗器械的须提供医疗器械注册证或注册登记表复印件。3)投标人为代理商的若所投产品为原装进口产品,须提供生产制造商或有效授权单位针对本项目的有效授权书原件及售后服务承诺函原件(提供完整授权链证明材料) 三、获取招标文件 时间:2022年11月18日至2022年11月25日 ,每天上午08:00至12:00 ,下午13:30至17:00(北京时间,法定节假日除外) 地点:铜仁市公共资源网上交易系统(http://58.42.4.86:50014/TPBidder/memberLogin)下载 方式:无 售价(元):0 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2022年12月13日 09:30(北京时间) 投标地点(网址):http://58.42.4.86:50014/TPBidder/memberLogin 开标时间:2022年12月13日 09:30 开标地点:铜仁市公共资源交易中心 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 投标保证金情况:(1)投标保证金额:10000元人民币(2)投标保证金缴纳时间:2022年12月13 日 9点30分前(3)开户银行及账号户名:铜仁市公共资源交易中心 开户行:贵州银行股份有限公司铜仁锦江支行 账号:0601 0015 0000 0296 (4)投标保证金交纳方式:采用银行转账、电汇形式提交具体缴退流程见铜仁市公共资源交易中心网站,点击首页-办事指南-保证金缴退,自行缴纳保证金;或者采用《投标保证金保函》(电子保函)提交(具体操作方式见铜仁市公共资源交易中心首页——办事指南——政府采购——常见问题解答——《投标电子保函申请操作步骤》) 七、对本次采购提出询问,请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称:铜仁市中医医院 地 址:铜仁市碧江区八里岗路175号 联系方式:15117739175 2.采购代理机构信息 名 称:贵州智聚招标造价咨询有限公司 地 址:铜仁市碧江区麒龙国际教育园区D1栋17楼 联系方式:18185611179 3.采购代理机构信息 项目联系人: 杨瑞 电 话:18185611179 附件信息: 铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次).pdf775.6KB 交易公告.pdf174.0KB × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容:数字切片扫描,切片机 开标时间:2022-12-13 09:30 预算金额:318.00万元 采购单位:铜仁市中医医院 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:贵州智聚招标造价咨询有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 铜仁市中医医院关于铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次)的公开招标公告 贵州省-铜仁市-碧江区 状态:公告 更新时间: 2022-11-18 招标文件: 附件1 附件2 项目概况 铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次)招标项目的潜在投标人应在铜仁市公共资源网上交易系统(http://58.42.4.86:50014/TPBidder/memberLogin)下载获取招标文件,并于2022年12月13日 09:30(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:ZJZB(2022)TR-004-1 项目名称:铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次) 项目序列号: ZFCG20221118002 预算金额(元):3180000 最高限价(元):3180000 采购需求: 标项名称: 铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次) 数量: 1 预算金额(元): 3180000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:冰冻切片机1台、载玻片激光打号机1台、包埋盒激光打号机1台、全自动脱水机1台、全自动HE染色机1台、全自动免疫组化染色机1台、数字切片扫描仪及远程会诊系统1套等设备 备注: 合同履约期限:标项 1,以合同签订为准 本项目(否)接受联合体投标。 二、申请人的资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:标项1:按财库〔2022〕19号、财库〔2020〕46号、黔财采〔2014〕15号、财库〔2017〕141号、财库〔2014〕68号和财政部印发“关于印发节能产品、环境标志产品政府采购品名清单的通知”执行 3.本项目的特定资格要求:【标项1】 1)投标人为制造商的须提供医疗器械生产许可证复印件, 投标人为代理商的须提供医疗器械经营许可证或医疗器械经营许可备案证明复印件;2)投标产品为医疗器械的须提供医疗器械注册证或注册登记表复印件。3)投标人为代理商的若所投产品为原装进口产品,须提供生产制造商或有效授权单位针对本项目的有效授权书原件及售后服务承诺函原件(提供完整授权链证明材料) 三、获取招标文件 时间:2022年11月18日至2022年11月25日 ,每天上午08:00至12:00 ,下午13:30至17:00(北京时间,法定节假日除外) 地点:铜仁市公共资源网上交易系统(http://58.42.4.86:50014/TPBidder/memberLogin)下载 方式:无 售价(元):0 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2022年12月13日 09:30(北京时间) 投标地点(网址):http://58.42.4.86:50014/TPBidder/memberLogin 开标时间:2022年12月13日 09:30 开标地点:铜仁市公共资源交易中心 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 投标保证金情况:(1)投标保证金额:10000元人民币(2)投标保证金缴纳时间:2022年12月13 日 9点30分前(3)开户银行及账号户名:铜仁市公共资源交易中心 开户行:贵州银行股份有限公司铜仁锦江支行 账号:0601 0015 0000 0296 (4)投标保证金交纳方式:采用银行转账、电汇形式提交具体缴退流程见铜仁市公共资源交易中心网站,点击首页-办事指南-保证金缴退,自行缴纳保证金;或者采用《投标保证金保函》(电子保函)提交(具体操作方式见铜仁市公共资源交易中心首页——办事指南——政府采购——常见问题解答——《投标电子保函申请操作步骤》) 七、对本次采购提出询问,请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称:铜仁市中医医院 地 址:铜仁市碧江区八里岗路175号 联系方式:15117739175 2.采购代理机构信息 名 称:贵州智聚招标造价咨询有限公司 地 址:铜仁市碧江区麒龙国际教育园区D1栋17楼 联系方式:18185611179 3.采购代理机构信息 项目联系人: 杨瑞 电 话:18185611179 附件信息: 铜仁市中医医院医疗设备采购项目0003号-014(二次).pdf775.6KB 交易公告.pdf174.0KB
  • 快速退火炉RTP设备的介绍
    简介:快速退火炉是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将晶圆或者材料在极短的时间内加热到300℃-1200℃,从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷,改善产品性能。快速退火炉采用先进的微电脑控制系统,采用PID闭环控制温度,可以达到极高的控温精度和温度均匀性,并且可配置真空腔体,也可根据用户工艺需求配置多路气体。行业背景:快速退火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键设备。随着集成电路技术飞速发展,开展快速退火炉系统的创新研发对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉设备具有十分重大的战略意义和应用价值。目前快速退火炉的供应商主要集中在欧、美和台湾地区,大陆地区还没有可替代产品,市场都由进口设备主导,设备国产化亟待新的创新和突破。随着近两年中美贸易战的影响,国家越来越重视科技的创新发展与内需增长,政府出台了很多相关的产业政策,对于国产快速退火炉设备在相关行业产线上的占比提出了一定要求,给国内的半导体设备厂商带来了巨大机遇,预测未来几年时间国内退火炉设备市场会有快速的内需增长需求。技术特点:快速退火炉(芯片热处理设备)广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产。和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中,通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能,具有技术指标高、工艺复杂、专用性强的特点。一般参数:名称数值最高温度1200摄氏度升温速率150摄氏度/秒降温速率200摄氏度/分钟(1000摄氏度→300摄氏度)温度精度±0.5摄氏度温控均匀性≤0.5%设定温度加热方式红外卤素灯,顶部加热真空度10mTorr以下工艺应用:快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);离子注入/接触退火;金属合金;热氧化处理;高温退火;高温扩散。应用领域:化合物合金(砷化镓、氮化物,碳化硅等);多晶硅退火;太阳能电池片退火;IC晶圆;功率器件;MEMS;LED晶圆。设备说明:快速退火炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。真空腔室:真空腔室是快速退火炉的工作空间,晶圆在这里进行快速热处理。加热室:加热室以多个红外灯管为加热元件,以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。进气系统:真空腔室尾部有进气孔,精确控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。真空系统:在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀,可以有效确保腔室真空度,同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。温度控制系统:温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。气冷系统:真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体,来加速冷却被热处理的工件,满足工艺使用要求。水冷系统:水冷系统主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。硬件更换:1.加热灯管更换:加热灯管超过使用寿命或无法点亮时需进行更换。加热灯管的使用寿命为3000小时,高温状态下会降低其使用寿命。2.真空泵油更换:在使用过程中,请每季度固定观察1次真空油表,当油表显示油量低于1/3时请添加真空泵润滑油到油表一半以上。3.热电偶更换:当热电偶测温不正常或者损坏时需进行更换。热电偶的正常使用寿命为3个月,随环境因素降低其寿命。4.O型圈的更换:O型圈表面有明显破损或者无法气密时需进行更换,其寿命受外力以及温度因素影响。保养周期:项目检查周期零件或耗材加热灯管周IR灯管托盘表面擦拭周碳化硅材质热电偶固定状态周石英板清理季度O型圈检查更换季度真空泵油季度MR100M导向轴承季度使用润滑油产品推荐:全自动12英寸多腔体快速退火炉RTP设备规格:全自动操作模式,机械手臂自动上片取片;多腔体生产模式,单个腔体适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者最大支持 300mmx300mm 样品;退火温度范围 300℃-1300℃;升温速率 ≦100℃/sec(裸片);温度均匀性 ≦±1%;真空腔体(可选配常压腔体或正压腔体);冷却方式包括水冷和氮气吹扫;MFC控制,3-5路制程气体。半自动12英寸快速退火炉RTP设备规格:适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者最大支持 300mmx300mm 样品;退火温度范围 300℃-1300℃;升温速率 ≦100℃/sec(裸片);温度均匀性 ≦±1%;真空腔体(可选配常压腔体或正压腔体);冷却方式包括水冷和氮气吹扫;MFC控制,3-5路制程气体。桌上型4英寸快速退火炉RTP设备规格:桌上型小型快速退火炉;适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者最大支持 100mmx100mm 样品;退火温度范围 300℃-1200℃;升温速率 ≦100℃/sec(裸片);温度均匀性 ≦±1%;常压腔体(可选配真空腔体);冷却方式包括水冷和氮气吹扫;MFC控制,1-4路制程气体。快速退火炉,RTA,RTP,合金炉,RTO,快速退火炉RTP,国产快速退火炉,自主研发,快速退火工艺,半导体设备,芯片退火设备

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