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求购溅射设备用的靶材背板最好是进口的,请邮件联系simon.lcsn@gmail.com
我公司是真空磁控溅射氧化铟锡的生产厂家,大概原理是在真空状态下,在溅射靶材铟锡合金上施加负电压,充入溅射气体氩和反应气体氧,铟锡金属原子被溅射出后与氧发生反应成氧化铟锡,在我们实际应用中需要监控铟锡金属原子被溅射出后与氧发生反应时的光谱,以便更好的控制氧气输入的流量。请问有没有相宜的检测和监控设备?jyapu@sohu.com
用Ar等离子体溅射碳靶后,被溅射出来的碳主要以何种形式存在?是碳离子,碳原子还是碳分子?谢谢!