制动力传感器

据怀柔区消息，怀柔区与中科院半导体所、海创微芯公司合作签约仪式1月29日在怀柔科学城产业转化示范区举行。伴随科研院所和头部企业入驻，怀柔区高端仪器装备和传感器产业集聚发展再添新动力。　　当前，怀柔科学城全面进入建设与运行并重新阶段，综合性国家科学中心29个在建科学设施平台全面提速，“十四五”科学装置设施平台加快布局落地。以怀柔科学城建设为重要契机，怀柔区着力发展高端仪器装备和传感器产业，致力于把科学城建设过程作为科技创新成果转化过程，打造高端仪器装备和传感器产业基地。　　据悉，中科院半导体所拟将重组的全国重点实验室、光电子器件国家工程研究中心和国家光电子工艺中心和半导体激光器落地怀柔。“我们将发挥自身科研和人才优势，在技术研发和成果转化方面为怀柔产业发展提供活力，进一步促进科研成果转化为现实生产力。”中国科学院半导体所所长谭平恒说。　　另据了解，赛微电子公司是全球领先、国际化运营的高端集成电路晶圆代工生产商，也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业晶圆制造商。海创微芯公司作为其全资子公司，主要承担MEMS高频通信器件、氮化镓功率器件的设计及制造工艺开发，将负责建设运营6/8英寸MEMS晶圆中试生产线和研发平台、8英寸晶圆级封装测试线，先进MEMS工艺设计与服务北京市工程研究中心。该公司董事长杨云春表示，将着力推动MEMS行业关键核心技术、优秀人才团队、上下游合作伙伴集聚怀柔，争取把合作项目打造成为怀柔区、北京市乃至全国示范标杆。　　怀柔区区长于庆丰表示：“半导体所和海创微芯入驻怀柔，把优质资源集聚在怀柔，把优秀人才放在怀柔，为国家战略科技力量做出贡献。这不仅是物理聚集，更是化学反应。”目前北京市相继出台了《关于推动北京市传感器产业创新发展工作方案》《关于支持发展高端仪器装备和传感器产业的若干政策措施》等产业发展支持政策，怀柔区也已出台相关支持政策并配套产业空间，吸引百余家仪器装备和传感器企业聚集，产业生态体系初步形成。　　此外，怀柔科学城产业转化示范区依托怀柔科学城大科学装置和交叉研究平台的核心资源，建设集研发办公、中试生产、科技服务于一体的硬科技产业园区，推动怀柔“两区”建设，将老城区空间资源、怀柔科学城的产业辐射、周边的生态环境有机融合，打造最具智慧的一平方公里，树立产城融合新典范，形成高端仪器装备和传感器产业战略高地。

“2024中国检测技术与半导体应用大会暨半导体分析检测仪器与设备发展论坛”于2024年7月11-13日在上海虹桥新华联索菲特大酒店隆重举行。大会以“大会报告+分会报告+产品展览+高校科技成果展示+学术墙报+晚宴交流”的形式召开，91个口头报告专家及15个提供墙报的学生，分别来自于半导体检测领域知名科研院校、半导体制造企业、半导体检测企业等。大会设立了包括集成电路晶圆级缺陷检测技术、半导体器件可靠性及失效分析、集成电路先进制造及封装技术、半导体检测设备及核心零部件等在内的15个分会场报告，多样的报告主题讨论极大促进了与会者之间的互动交流和融合创新。会场外也精心布置了国内多家知名企业展位，如安捷伦、珀金埃尔默、北方华创等，他们纷纷展示了各自在半导体量检测领域的新技术、新设备。会议期间，仪器信息网特别采访了安徽见行科技有限公司联合创始人孙洪明。在采访中，孙老师就见行科技在半导体量检测设备传感器方面的发展现状，见行科技系列产品技术优势、市场应用情况，最近一年取得的成绩以及未来的发展规划，后摩尔定律时代半导体量检测设备零部件面临的挑战和机遇等话题进行了深入的交流和分享。以下是现场采访视频：纳米级产品系列仪器信息网：近年来，贵公司在半导体量检测方面提供了什么样的解决方案及产品？孙老师：大家好，我是见行科技联合创始人孙洪明，也很高兴能够有机会参加仪器信息网采访，谢谢大家。见行是一个小微公司，主要提供三个系列的产品，一个系列是电涡流传感器，一个系列是电容传感器，还有一个是压电位移台，这三个系列的产品都是纳米级的。涡流、电容、压电材料是技术核心仪器信息网：其运用的主要原理与技术有哪些？孙老师：我给大家分别简单的介绍一下。电涡流传感器的原理是通过涡流的原理测位移，那么涡流大家都比较熟知的可能是家里的电磁炉，那么电磁炉是通过涡流产生热，那么我们电涡流传感器是通过探头产生的涡流在目标导体里边，涡流会对原来的电感和电阻产生影响，它跟位移有一个函数关系值，那么我们通过解调里边的电感和电阻的数值来反映距离的值。第二个电容传感器是两个极板，那么极板之间它有一个电容的容值，通过容值的这种分析来反映它的这种距离。那么第三个就是说压电材料，你给它一个电，那么它会有一个形变，这个形变是非常微小的，但是非常迅速，那么它也可以达到纳米级的这种促动，这是三个产品的基本原理。不断实现技术突破，成就见行特色优势仪器信息网：系列产品有哪些创新点？孙老师：比如说电涡流传感器，它最大一个突出点，它可以适应各种检测环境，它对检测环境不挑剔，比如说一些有油污、水污它都可以去适应，但它最大的一个弱点是它的温漂系数非常大，因为你比如说温度的改变，本身它的线圈的电阻值和电感值，它自身就会发生变化。全世界通行的方法都是说只用它的电感值的变化来反映它的距离，电阻值这个参数认为没有用。那么见行，利用电阻值的变化来反馈它的温度来进行闭环的温度补偿，也就是说我们在测量的时候，我们不用去测环境的温度，我们直接测电阻值，直接就能反馈出温度的变化。所以在温飘这个领域，见行在全球的领域是最优的。那么涉及到电容，因为我们涉及到纳米级的测量，就是说涉及到这种溯源和传递，比如说标准的定义，这个很难，那么如果我们去做的时候，包括现在我们去标定的时候，我们也用的是国外的一些仪器和设备，你在没有标准值的时候，那么如何做出自己的标准，那么见行它有自己的独特的这种工艺，比如说我们自己制作了我们自己的标准的这种探头。那么另外还有涉及到一些细节，比如说电容传感器探头接触面的这种工艺是极其复杂的，那么我们在这里边进行了极其深入的研究，那么研究的时候，我们要面对国情，一开始我们设计的也是全世界最领先的，但是国内制造不出来，我们的配套加工不出来，那么我们会降指标，后边又出现了良率的问题。比如说我们可以达到国外的这种水准，在国内这种良率，它只有百分之三四的时候，你也不可能进行产业应用和批产。经过不断的这种磨合，现在我们探头既能国内生产，良率指标又很高，然后又不弱于国外。那么再说到就是压电制动器，它是一个触动的一个装置，我们做的基本上都是闭环反馈，因为本身我们有了位移传感器，我们用的就是电容位移传感器它所反馈的，那么我们的电容传感器，在做促动器这个行业里边，见行的位移传感器应该是最好的，所以我们的反馈也是最好的，这就是见行的产品的这种特色和优势。我补充下，见行两个字，“见”就是看见，看见就是测量、传感，那么“行”就是制动、触动、推动。所以见行这两个字就代表着见行所从事业务。“看得见”又“看得准”仪器信息网：相关解决方案/产品市场应用情况如何？帮助客户解决了哪些问题？孙老师：现在见行传感器是最成熟的，那么传感器里边，尤其是电涡流传感器是最为成熟的，我们投入的时间和精力也是最多的，我们主要是帮助客户解决的是看见这个问题，看见这个问题其实就是一个测量的问题。那么比如说我们所有的量检测设备，这里边包括我们的光刻设备里边，那么首先第一个你要解决的是看见的问题，第一你看得见，第二你要看得准，这个问题是非常关键的问题，我们相当于给我们的下游的包括这次会议的一些设备商比如说量检测的设备，那么比如说键合类的设备，比如说光刻类的设备，那么首先它要解决看见的问题。见行在位移这个领域能提供全世界最先进的传感设备给我们的客户，助力他们更好的去发展。瞄准国内空白领域，注重零部件底层超越仪器信息网：您是如何进入这个行业的？能否简单说下公司发展历程？孙老师：这个可以聊一聊，因为今天会议是在上海，其实我去安徽合肥去创立公司之前，其实我就是在虹桥这一边是一个偶然的因素。那么我想去做一点事情，当时因为我们整个团队都是中国科学技术大学的，当时实验室有三个技术领域这个方向，那么我就当时用了半年的左右的时间去调研，调研我就选择了这个方向，选择这个方向的原因有几条，第一，这个的确是国内的空白，没有其他企业去做。第二它又足够的高端，因为全世界从事这个领域，能够达到纳米级的这种电容电涡流这种检测，包括制动，全世界也不会超过10家的这种企业。我们从事企业，就是说赚钱是我们的首要的目标，但除了赚钱，还得做一点有意义的事情。所以当时我就觉得这个方向这个领域应该是值得去做的，所以我们我回到合肥之后，跟我们几个合伙人，当时就决定在这个领域方向去发力去做，但是具体电容、电涡流传感器，包括压电制动系统应用到哪个领域和方向，我们当时并不是很清晰。然后后边的事情大家就知道了，美国和中国之间这种贸易制裁，一些核心的元器件，已经开始限定了之后，反而是给了见行一个机会。03年之前见行几乎没有做市场推广和宣传，客户都是通过一些媒体，通过一些有学术论文他们去查去找。那么在中国在这个领域这个方向，我们可以查连续十几年在这个方向都有科研，就是中国科学技术大学传感与制动实验室，然后找到实验室了，然后他就找到我们公司。说一下我们的营收，我们19年成立了公司，一直到22年8月份，我们基本上没有营收，因为那时候我们都闷头研发，但是在这个期间国内的一些Top级的一些企业它已经找到了我们，找到我们之后，我们当时是不卖给他东西，因为那时候东西我没有做好，因为我觉得我卖给你，我是不负责任，你可以免费去用，一直他就这么去用。原来都是客户找我们，几乎多数是通过论文和文献的方式，他找到我们的，然后他找到我们之后，他提出他的需求，我们就给他定制化的这种研发，然后一点点做。那么你看到22年8月之后，尤其是电涡流传感器，稳定了之后，我就开始进行销售。那么22年我的营收，订单额是400万左右，那么23年一年就达到2,400万，那么今年上半年已经达到了去年的营收这种水准，那么所以这也是我们前期都是客户来找我们，然后我们去帮他去把他这种功能去完善。那么在这个过程中，我觉得也是核心的元器件，或者是说产业的这种新兴者的必经的路径。那么产业链上下游要有一个紧密的一种结合。第一，做核心元器件也有做核心元器件的这种操守，你做这个事情你要做得好，你要做到极致，你要能跟全世界最顶级的企业进行PK，你要坚守这个原则，你有问题的东西不要去给客户，你给客户你会给他添麻烦。第二作为产业链，上游的企业对下游企业那也要有一个支撑。那么包括就是说你的资金价格或者是应用场景，真正是你的核心合作伙伴，你要给他去开放，你要去磨练，你要有给他这种成长空间。所以今天走到我们这种比较紧密的这种结合方式，用我的客户说，我们见行的电涡流传感器真正达到了世界领先的这种水准，因为这也是超出他们意料之外的。那么原来他们用国外的产品的时候，比如说我们说做光刻那一块，他的供应商，国外采用的供应商，同时也是荷兰A公司的供应商，那么A公司明确规定最顶级的那种产品，它的供应链是不可能给大陆地区的这些供应商的。如果所有的这种元器件都是这样，那么我们国内这种半导体的产业，你就是不可能存在超越，那么超越的根和源在哪？那么我们必须从最底层，比如说我一个电涡流传感器，那么可能在整个光刻机里边，10万个零部件里边，我只占一两个，那么这一两个重不重要？重要，如果所有10万个零部件，都能从最底层去超越国外，那么我们再加上材料再加上工艺，我们就有超越的这种可能。但是如果你不给产业这么小的这种根枝末梢，你不给他去成长的这种空间的时候，那么他没法成长起来，你就对付用的时候，永远我们是不会超越到国外的这种文化产业水准的。对标业界顶级企业，横向拓宽发展渠道仪器信息网：贵公司未来有哪些发展规划？孙老师：那么首先的第一点就是说面向于半导体的这种产业，见行现在只能是证明，我们现在所从事的这块业务，是被我们的产业被我们的合作伙伴认可了，只能是初步的证明了见行现在能够立足了。那么包括像这次会议，那么我们来也向产业做更多的这种学习，做更多的了解。那么看看见行能不能在整个半导体的这种产业链，无论是光刻设备、量检测设备、键合设备、封装设备里边是否能够从事更多的工作。那么第二，那么见行也想把见行这种前面经过市场实际的验证的这种模式，继续去横向的去推广，从事更多的种类或者是品类这种工作。那么另外本身就是说因为见行做的东西就是非常小，那么就是说见行也会在其他的领域，比如说我们会面向航天航空，比如说或者是像军工或者是一般的大众类的这种产业去发展。那么首先见行特征有几点，包括见行今天能做到这个水平的原因，就是说跟我们的出发或者是使命是相关的。第一，一定是对标国际最顶级的品牌的最顶级的这种产品，这点是不容置疑的。那么前面说到的其实是侥幸进入半导体这个行业，但是半导体对核心元器件的需求量非常小。那么第二个我对标的一定是有大市场的，因为在广在的泛在的其他的工业领域，我们还是有很多的核心的这种元器件，是被国外卡脖子的，因为制约工业的核心的三个要素就是传感、材料和工艺。那么见行尤其是传感领域，在更多的产业领域做出自己的贡献。研发投入不设限是见行高速发展的底气仪器信息网：随着芯片的制程需求越来越精密，您认为这对半导体量检测设备的零部件带来了哪些机遇和挑战？ 孙老师：现在这两天我参加会议的时候，大家更多讨论的就是摩尔定律，那么因为我刚刚上午参加一个会议，苏州一家企业他说他给出了一张数表，那么从22纳米制程之后，光刻这个领域，摩尔定律渐渐就开始失效，但是往更深度的时候，路线在短时间内是不可变的。那么这个时候就要求尤其是见行，从事精密这个领域的，就需要我们做更多的工作，那么去做更深入的这种研发。这种研发不只是一个全世界顶标级的这种企业，它不只是一种技术层面的研发，包括一些理论层面的这种支撑。如果你理论层面支撑不够的时候，你只跨越了技术的门槛的时候，你是到达不了国际顶尖的这种企业的。那么所以在这个方向的时候，新的产业和领域，更精密的时候，需要大家做更多的投入做更多的工作，尤其是研发的投入。这一点我补充一下，见行科技之所以能做到今天，包括当下见行做所有的研发，是不做限制的。我们的研发部门，他要什么仪器，可以买什么仪器，要什么设备，可以买什么，没有预算管制，无限制投入，因为我们的PK的是最顶级的企业。

石墨烯，是当前世界上最薄、最轻、最硬、导电性最好而且拥有强大灵活性的纳米材料。它的强大能力常常令人咋舌。一块1厘米厚的石墨烯板，能够让一头5吨重的成年大象稳稳站在上面 用石墨烯做的手机电池，一秒内就能把电充满 以石墨烯为材料的平板电脑，可以随意折叠成手机大小放在口袋里。在电子、航天军工、新能源新材料等领域也有着广泛应用。　　11月25日，在中科院文献情报中心产业情报研究中心主办的第20期《产业技术情报》发布会上，研究人员详细梳理了石墨烯在超级电容器和生物传感器方面的应用情况，首次将两个发布主题聚焦于同一领域，并基于权威数据库分析，对两者未来的发展趋势作出研判。　　石墨烯超级电容器技术：中国处于快速增长期　　当今能源及环境问题日趋严重，以新能源电动汽车为代表的绿色交通工具的发展需求越来越大。而解决其制动能量回收系统的问题是产业发展的关键之一，因此产业对兼顾高能量密度与高功率密度的电化学储能器件的需求越来越迫切。与此同时，超级电容器因具备使用寿命长、充电时间短等优点，被赋予较大期待。石墨烯超级电容器主要研究领域包括：用于电极材料的过渡金属氧化物、活化煤以及氮掺杂石墨烯、集电器表面等方面，涉及技术包括氧化石墨烯单体、过度金属氧化物、氮掺杂、煤活化等。　　随着2004年英国曼彻斯特大学物理学家发现石墨烯的分离制备方法，石墨烯在超级电容器中的应用也逐渐开始迅速发展，专利年发表数量快速增长，于 2012年达到峰值每年280项。目前相关技术专利平均在每年250项左右。中国的石墨烯超级电容器领域技术的发展2009年起迅猛增长，年申请量迅速超过每年100项，于2012年达到峰值，此后基本保持在每年120项以上，处于快速增长期。　　记者发现，在石墨烯超级电容器技术专利权人排名中，前25名专利权人中数量最多的是来自中国的机构(17家)。排名前5位的依次是：海洋王照明科技股份有限公司、中国科学院、韩国三星公司、美国Nanotek仪器公司和浙江大学。　　“从产业技术情报发布的内容来看，我们国家在石墨烯领域的论文和专利的数量还是比较可观的，这些数据充分反映了我们国家的科技活力。”清华大学化工系教授骞伟中说。　　他介绍，目前石墨烯的主要制造市场和应用市场均在中国，国内的众多机构在该领域进行了专利布局。北京和江苏已分别成为国家石墨烯发展和研发较为集中的地区，未来5年到10年这些地区还将在石墨烯领域进行大力布局。　　“从产业化角度来看，目前石墨烯电容器领域技术更多地集中在高校实验室，离产业化还有一段路要走。我们国家应推动高校和企业的衔接，大力推动石墨烯电容器的产业化发展。”骞伟中建议。　　石墨烯生物传感器：中国SCI发文量位列第一　　石墨烯因其特殊的纳米结构，优良的光学、电学等特性以及良好的生物相容性，迅速成为生物传感器研究中的热点材料，并成功检测多种生物小分子、DNA、酶、蛋白质以及细胞等。　　“生物传感器是生命分析化学及生物医学领域中的重要研究方向，已广泛应用于临床疾病诊断和治疗研究。但石墨烯生物传感器目前处于实验室阶段，还未实现产业化。”国家纳米科学中心博士研究生史济东说。　　据中科院文献情报中心研究人员介绍，石墨烯用于生物传感器领域研究的重点集中在以下两个方面：一是石墨烯电化学生物传感器，包括安倍型传感器、电化学发光型和场效应晶体管型等，涉及酶传感器(用于检测过氧化氢、葡萄糖、抗坏血酸、多巴胺、尿酸等)、免疫传感器(用于检测病毒、细菌、癌症标志物等)、DNA传感器、蛋白质传感器等 二是石墨烯光学生物传感器，包括荧光传感器和基于共振能量转移传感器。　　石墨烯用于生物传感器领域的SCI论文发文年代分布呈现出如下特征：2005 年至2009年发文量相对较少，年发文量不超过100篇，主要来自美国和中国，研究进展相对缓慢，处于技术孕育期 随着2010年英国曼彻斯特大学物理学家安德烈海姆和康斯坦丁诺沃肖洛夫因在石墨烯材料方面的研究获得诺贝尔物理学奖，全球石墨烯用于生物传感器领域的SCI发文量增长趋势逐渐明显，其中 2015 年SCI发文量突破了2300篇，相关技术进入快速成长阶段。　　统计数据显示，全球共有85个国家和地区开展了石墨烯用于生物传感器的相关研究，其中中国、美国、印度等10个国家和地区在石墨烯用于生物传感器领域的SCI发文量占总量的81.61%。其中中国在该研究中占有明显优势，发文量占全部论文的47.76% 位居第2位的是美国，发文量占全部论文的 9.39%。　　在高被引论文方面，石墨烯用于生物传感器领域的SCI论文属于ESI高被引论文有345篇，来自35个国家和地区。其中ESI高被引论文主要来自中国(176篇)、美国(86篇)、新加坡(39篇)、韩国(23篇)和印度(15篇)。　　值得一提的是，前10位ESI高被引SCI论文中，有6篇发文来自中国福州大学、中科院长春应用化学研究所、清华大学和中科院上海应用物理研究所4家机构，可以看出中国在该技术领域拥有一定的技术优势。