控制元件

p　　strong仪器信息网讯/strong 现代生活方式离不开便利产品，这样的产品大多产自高度自动化的工厂，而实现自动化的关键就是使用气动控制元件。无论汽车、电子、半导体等尖端领域，还是食品、医疗等与人们生活密切相关的产业，或是分析仪器行业，在实现自动化的过程中都得益于气动元件的广泛使用。/pp　　2017年11月17日，由中国仪器仪表学会分析仪器分会主办的“精益化生产& 分析仪器核心部件技术沙龙”走进位于北京市经济技术开发区的SMC(中国)有限公司，探访这家“全球气动元件市场占有率第一”企业的致胜之道。20余位分析仪器相关企业代表参与沙龙，仪器信息网全程报道本次活动。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/e8ee9cf0-cf32-47bc-951c-613a28d8b32a.jpg" title="DSC03275.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "“精益化生产& 分析仪器核心部件技术沙龙”现场/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "/span/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/7243a7b3-cac8-40d9-a7af-59129f779321.jpg" title="曹以刚.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "本次沙龙由分析仪器分会秘书长曹以刚主持/span/pp　　SMC CORPORATION 成立于1959年，总部设在日本东京都，历经近60年的发展，现已成长为世界著名的气动元件综合制造商。创立至今，SMC研制推出的气动元件产品仅基本型就有11000种，由此派生出的型号甚至达62万种之多，完全符合汽车、半导体、电子、医疗、食品等基础工业领域的多样化用途。此外，SMC还在全球78个国家和地区设立了直属分公司、360处营业机构和众多代理店，便于提供第一时间产品服务与技术支持。截至目前，SMC气动元件产品全球市场占有率已达32%，位居第一。/pp　　SMC中国于1994年9月在首都北京成立，并以北京、上海为起点逐渐发展壮大。SMC中国在北京设有4个工厂、1个技术中心，在上海设有特注品工厂。SMC中国生产的气缸、电磁阀、F.R.L组合元件、冷冻式空气干燥机、接头等供应着中国在内的81个国家与地区。SMC中国还在北京、上海、广州、香港设有物流中心，确保产品在中国市场短期交货，迅速满足用户需求。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/fc17e4bf-e7b6-48f4-8bc2-c317332f1a9f.jpg" title="参观.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "企业代表参观SMC产品展厅/span/pp　　沙龙活动中，SMC中国总经理赵彤、副总经理马清海、北京营业部部长龚华丰、行业开发总括负责人付忠林各自发言，就SMC发展历程、精益化生产体系、营业管理流程及产品在科分行业的应用等内容展开精彩介绍，分享SMC扎根中国二十余年的成功经验。而中国仪器仪表学会分析仪器分会常务副理事长刘长宽也介绍了分会概况，以加深上游元器件厂商对分析仪器行业的了解，对接需求、共促发展。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/4410f356-379e-4b51-9e5a-fbd78c74de03.jpg" title="赵彤.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "SMC中国总经理赵彤介绍公司发展历程/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "/span/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/1b095aa2-79e2-4c68-babd-fb6c12edeed8.jpg" title="马清海.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "SMC中国副总经理马清海展示SMC精益化生产体系/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "/span/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/04628bc3-da0d-4685-b2c5-268f86c1cbf1.jpg" title="刘长宽.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "分析仪器分会常务副理事长刘长宽介绍学会概况/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "/span/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/148a98d9-a84c-4acc-9153-640d20af6683.jpg" title="龚华丰.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "SMC中国北京营业部部长龚华丰介绍公司营业管理体系/span/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "/span/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/192f4152-faaf-436e-8faf-073f63514c38.jpg" title="付忠林.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "SMC中国营业本部行业开发总括负责人付忠林介绍科分行业应用/span/pp　　早在1993年，SMC就分别与哈尔滨工业大学、北京理工大学、清华大学3所中国高校合作建立“气动技术中心”。后随着产学研合作的深入，SMC中国有限公司才注册成立，甚至当时的注册工作都是委托高校操作完成。赵彤将中国公司的特点总结为“一家从中国理工科大学研究室走出的外商投资企业”，是“成功的国际化产学研合作平台”。/pp　　而在SMC种类繁多的气动元件体系中，液体控制、进样/移液、温度控制、气体控制等产品也适用于分析仪器的前处理等单元，有助于节省空间、降低成本，实现分析仪器的小型化、轻便化。据了解，国内外已有50余家仪器厂商成为SMC元件客户，分析仪器企业与上游元部件厂商之间沟通合作有望进一步增强。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/d91646ad-d9d7-48e3-bccc-d50f5802e8e6.jpg" style="" title="initpintu_副本1.jpg"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/abf819de-dc58-4611-adb3-eddadff28fcc.jpg" style="" title="initpintu_副本2.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "沙龙现场交流火热，产业链上下游企业有效对接/span/pp　　活动尾声时，多位参会者还就人才培养、库存供货、客户需求等话题与SMC方面的工作人员展开深入交流。本期沙龙在热闹氛围中圆满落下帷幕，参与者们亦满载而归，不虚此行。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201711/insimg/041298a8-fcc0-4159-b319-3c59f5664ea4.jpg" title="DSC03483_副本.jpg"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 112, 192) "“精益化生产& 分析仪器核心部件技术沙龙”合影留念/span/p

产品名称：锅炉烟气排放监测系统（高配版）　　产品型号：Gasboard-9081 　　锅炉烟气排放监测系统是基于紫外差分吸收光谱气体分析技术、非分光红外气体分析技术及长寿命电化学传感技术，配备一体化、自动化的采样预处理单元及控制单元，可同时在线测量烟气中NO、SO2、O2、CO、CO2的气体浓度，是一款专用于锅炉大气污染物排放及能效控制的在线监测设备，符合国家和地方环保部门的监管要求。 　　超低量程设计、测量精度高　　采用紫外差分吸收光谱气体分析技术，仪器抗干扰能力强，多组分测量气体无交叉干扰；测量范围小于200mg/m3，满足国家和地方环保标准及超低排放监测需求。　　　　燃烧效率监测、降低能耗　　可自动计算、显示过量空气系数和燃烧效率，并自动存储测量数据，为调节工业现场燃烧工况提供依据。　　　　多级除尘除湿、性能稳定　　内置流量计、过滤器、冷却装置等组成的预处理系统对样气进行多级处理，保证分析系统的可靠性。　　　　可燃气体监测、安全生产　　采用非分光红外气体分析技术在线实时监测CH4气体体积浓度，可监测开炉点火前、停炉灭火后及持续运行过程中CH4浓度超标等情况，对现场的作业安全起到了预防作用。　　　　全自动化控制、操作简单　　采用控制卡为核心控制元件，OMRON中间继电器作为输出元件，自动完成采样、排水、故障处理等操作，实现24小时无人值守；仪器采用触摸屏设计，界面操作快速便捷。　　　　多种通讯输出，应用更智能　　自动存储测量数据，具备查询功能；数据可通过RS-232或RS-485、4-20mA输出接口传输到上级集中控制系统；含声光报警输出（可选配声光报警器），及时提醒故障、超排信息。 　　燃气锅炉烟气排放监测，低氮改造环保监测、能效监测，低氮燃烧器尾气中氮氧化物的浓度监测，燃烧法的VOCs治理项目尾气中的氮氧化物监测等。创新点：　　采用国际领先的紫外差分吸收光谱气体分析技术、非分光红外气体分析技术及长寿命电化学传感技术，配备一体化、自动化的采样预处理单元及控制单元，可同时在线测量烟气中NO、SO2、O2、CO、CO2的气体浓度，是一款专用于锅炉大气污染物排放及能效控制的在线监测设备，符合国家和地方环保部门的监管要求。　　多级除尘除湿、性能稳定　　内置流量计、过滤器、冷却装置等组成的预处理系统对样气进行多级处理，保证分析系统的可靠性。　　全自动化控制、操作简单　　采用控制卡为核心控制元件，OMRON中间继电器作为输出元件，自动完成采样、排水、故障处理等操作，实现24小时无人值守。　　超低量程设计、测量精度高　　测量范围小于100mg/m3，满足国家环保标准及超低排放监测需求。　　多种通讯输出，应用更智能　　数据可通过RS-232或RS-485、4-20mA输出接口传输到上级集中控制系统，为实现远程监测、工艺调整提供实时依据；含声光报警输出（可选配声光报警器），及时提醒故障、超排信息。锐意自控_锅炉大气污染物监测系统 Gasboard-9081

近年来，半导体行业飞速发展，节点技术不断缩小，EUV（紫外）和电子束技术成为佳选择，对例如晶圆，光罩，光束对准，光学元件，反射镜等的纳米加工要求也逐步提升。尤其是对于想要实现纳米精度的快速和长距离运动，需要闭环运动控制的传感器，且这种传感器必须满足生产和质量保证过程的高标准（超高真空（UHV）和洁净室兼容性的要求）。而对于暴露于高温以及随着对晶圆尺寸越来越大的需求，在大行程范围内实现超高精度是非常必要和迫切的。 attocube是纳米精密应用专家，研发团队根据法布里-佩罗干涉仪原理开发的基于激光干涉的位移传感器IDS3010获得了保护[1]。IDS3010 能够实现运动控制和位移检测，具有皮米分辨率、纳米精度和高达 25 MHz 的实时数据输出。基于光纤传输的IDS3010提供了三个通道，用于测量多轴载物台位移以及确定其角度的变化。UHV兼容的微型传感器头为不同的应用案例和设备集成提供了高度的灵活性。与半导体行业中的晶圆多自由度（multiple degree of freedom，DOF）的位置控制这一典型应用契合。 图1a显示了“传统”的基于载物台控制的应用，其中移动载物台配备了两个反射镜，激光探头固定在机架上。图1b显示了另一种xy平台控制的方式，其中传感器头固定在移动载物台上，反射镜固定在框架上。可实现这种方案的原因是attocube研发的传感器头是基于光纤的，而且它们的尺寸和重量也很小（外径仅为14 mm，重量仅为7 g）。图1突出显示了IDS3010在xy方向上的控制应用，而且我们的激光干涉仪能够在各种环境和工作距离（长达5米）下工作，为其他运动控制应用提供了无限的可能性。 图 1：显示了两个 xy 方向控制应用示例：a） 安装在移动载物台上的晶圆，其中连接了反射镜。三个传感器头固定在框架上。载物台的xy运动由IDS3010控制。b）显示了另一种可能的应用，其中微型传感器头安装在移动晶圆台上，而反射镜固定在框架上。 实验装置测量设置与图1a所示的示例类似，由一个电磁驱动xy位移台组成，该电磁位移台沿x轴的行程范围为1米。在移动载物台上放置了两个高质量的平面反射镜，用作测量表面。为了控制载物台位置，我们使用了带有三个固定准直传感器头的IDS3010（型号M12 / C1.6 / wf）。 IDS3010允许通过可用的实时数据输出（正弦、AquadB、HSSL、线性模拟输出）进行即时位置反馈。这些接口为闭环定位控制系统提供实时输入。对于实验室的测试，研究者们使用具有5 MHz带宽和纳米分辨率的正余弦数据输出。由于显示的测试是在室温环境条件下执行的，因此使用环境补偿单元（ECU）来确保测量的准确性[2]。在精密半导体加工的真空条件下不需要环境补偿，也同样能保证纳米的测量精度。 两个传感器头（SH1 和 SH2）测量 yz 反射镜表面上的位移。SH1 的正余弦信号用于 x 轴的闭环控制。SH1 和 SH2 水平相距 40 mm，因此可以计算偏航旋转并将其用作4-DOF装置的实时补偿。在我们的3-DOF装置中，我们无法补偿沿x轴的偏航旋转。三个传感器头 （SH3） 控制 y 轴。传感器头通过柔性光纤连接到IDS3010的三个通道，无需额外的光学元件。在平面反射镜上进行测量时，M12/C1.6/wf 传感器头的角度公差规定为± 30 m°，距离为 1 米。这种公差仍然是用户友好的，以便对齐xy的设置，同时也保证了低余弦误差。与其他干涉仪制造商相比，这是另一个好处。重要的是，我们的测量原理使我们能够拥有不同的传感器头可供客户选择。 测量结果图2a显示了驱动器的xy位移值。先实现了30x30毫米的正方形。之后，x轴被移动到1.0米的总行程。在这一点上，重要的是SH3需要具有大约300 mm的一定偏移距离，以便SH1和SH2可以测量到1米。此主从轴关系已明确指定。Xy方向运动的相应偏航（z轴的旋转）如图2b所示。该图显示，通过移动x 轴可达 1 米。图2c显示了μ°范围内重复的角度偏差，这主要是由沿运动轴分布的电之间的距离引起的。如果电磁驱动位移台具有额外的旋转设备，则可以补偿偏航旋转。图2：a）显示了xy方向运动的位移数据。x轴以1.0米的行程移动，而y轴仅移动30毫米，并包括偏移距离。b） 描绘了 a） 中所示的 xy 方向运动的偏航（z 轴的旋转）。总偏航旋转在30m°范围内。c） 局部放大的偏航旋转在几十μ°范围内的详细角度变化情况。 结果IDS3010被证明是闭环位移台应用的有力工具。位移和角度都可以在高达25 MHz的带宽下检测到。另外，小型化多种类的传感器头为灵活集成提供了更多可能，并确保可用性和准确性的正确组合，以此应对苛刻的定位任务。此外，传感器头的轻巧性（7克）提供了新的设置可能性，可以显著减少移动质量。以太网连接和多种标准编程语言（例如C +，C#，DLL，Python和LabView）允许将IDS3010轻松集成到各种不同的应用系统中。 参考文献[1] Patent: Interferometric displacement sensor for integration into machine tools and semiconductor lithography systems US10260863B2[2] National Metrology Institute of Germany (PTB) calibration certificate Calibration mark: 54012 PTB 15 2016