光学轮廓测试仪

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光学轮廓测试仪相关的厂商

  • FISCHER — 让测量变得简便! 现今,FISCHER 的测量和分析仪器广泛应用于世界各个领域,可满足客户对高精度、高可靠性测量和操作简便的需求。我们通过专业的咨询服务为客户提供最佳的解决方案,即从第一次接触开始,不断沟通,直至达到定制化服务的理念。这些紧密合作与我们的创新驱动力不断结合,为形成新的测量解决方案奠定了坚实的基础。 HELMUT FISCHER集团是一家受德国基金会控股、专业生产和销售涂镀层测厚仪、材料分析仪、微纳米压痕仪(微纳米硬度仪)和材料测试仪的全球性集团公司。集团总部位于德国和瑞士,在德国、美国和英国各建有一个工厂、并设立了一个研究院和多个全球用户应用实验室,在全世界设有近50个分公司。??位于德国总部的基地,用于生产、物流、研发及客户应用??南通菲希尔测试仪器有限公司是HELMUT FISCHER集团在中国大陆地区设立的唯一子公司,全权负责FISCHER产品在中国地区的销售、安装、维修、备品备件及技术咨询等业务。FISCHER生产的涂镀层测厚仪主要分为:X射线涂镀层测厚及材料分析仪、β射线测厚仪、电涡流法测厚仪、电磁感应测厚仪、库仑法(多层镍电位差)测厚仪,除此之外还有包括 微纳米压痕仪(微纳米硬度仪)、电导率测试仪、铁素体含量测试仪、孔隙率测试仪 和 针孔测试仪 等在内的多种测试仪器。 FISCHER 公司生产的各类仪器,广泛应用于航天工业、航空工业、造船工业、港口机械、电镀工业、显像管流水线、电子工业(包括印制电路行业、半导体工业)、汽车工业、石油化工、黄金珠宝、手表、大专院校、科研单位、第三方测试机构等众多行业。 南通菲希尔测试仪器有限公司成立于1997年,位于中国上海,至今已在东莞建立了分公司;在北京、西安、青岛、厦门设立了办事处;并在成都、昆山、苏州、南京、宁波等地建立了售后服务点。FISCHER中国的应用实验室更是在2011年获得了ISO/IEC17025:2005认证。 “让用户满意”是公司的一贯宗旨,FISCHER将以一流的服务来赢得用户的信赖。选择FISCHER仪器,为您产品的超高品质提供保障。 认证在 FISCHER,产品和服务的认证和持续改进至关重要。这也是Helmut Fischer GmbH,Institut für Elektronik und Messtechnik 能够通过 ISO 9001 认证的原因。自 1997 年起,我们的质量管理体系已符合 DIN EN ISO 9001:2008 标准。 获得认证的校准实验室 获得认证的校准实验室2003 年,Helmut Fischer 成为了第一个根据 DIN EN ISO/IEC 17025 标准而获得的“表面尺寸”量值认证的德国公司。因此,公司有资格代表德国认证机构 DAkkS 来检验校准标准片,并为其出具证书供用户使用。校准标准片如可用于:例如,对 X 射线荧光仪器进行校准;从而极大地提高了测量的可靠性。 Germany: DIN EN ISO/IEC 17025 USA: ISO/IEC 17025:2005 & ANSI/NCSL Z540-1-1994 Switzerland: ISO 17025 SCS & STS DIN 成员(德国标准化学会) 自 2016 年 3 月 1 日起 FISCHER 成为 DIN 成员。公司自愿遵守标准化自律守则,提升总体经济竞争力。 应用实验室凭借我们在业内多年的经验优势,助力您解决复杂的测量难题。在遍及欧洲、亚洲和美国的七个应用实验室中,我们的技术专家会为客户在正确选择仪器、开发测量方法及确定合适的测量程序方面提供支持。 凭借我们在业内多年的经验优势,助力您解决复杂的测量难题。 所有 Fischer 集团内部的应用实验室之间都已建立联系,同时也与各高校、机构及企业建立了合作关系。这样稳定的知识交流体系能够确保获取到全球最前沿的专业知识,同时也能够应对特殊咨询。除提供客户定制培训(可以在我们的实验室进行也可以在您的公司进行)外,我们的技术专家也非常愿意协助您对测量结果进行分析。 Helmut Fischer 博物馆企业家 Helmut Fischer博士的专业知识、工作热情、发明家精神以及卓越的执行力是公司成功发展的源动力。他的成功故事从 1953 年在斯图加特创建的技术车间开始。现今,Fischer 作为业务遍及全球的大公司,已成为工业测量技术领域的领导者之一。持续改革与永无止境的创新是其从始至终一直坚守的明确目标。Helmut Fischer 研发的首款测量仪器 位于总部的博物馆展示了公司创始人,同时也是公司长期所有人 Helmut Fischer博士的成功人生。参观者们受邀来感受公司从小工厂成长为国际性解决方案提供商的发展历程,以及了解 Fischer产品从最初创意到最终投入市场的整个过程。Helmut Fischer 博物馆的常客:当地的在校学生 ????????更多详情请访问公司官网:http://www.helmutfischer.com.cn
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  • HT ITALIA来自于美丽的欧洲小镇——意大利法恩莎,公司自1983年成立以来,产品年销售额超过4000万欧元。并在2009年在中国广州建立办事处,负责中国地区的产品销售和售后服务。 HT ITALIA公司设立专业的研发团队,在1992年研制生产出HT2038,1999年研制生产了世界上第一台带电能质量分析仪功能的便携式多功能电气安全测试仪——GENUIS 5080,在2001推出具有三相电能质量分析仪功能的多功能电气安全测试——GSC系列,刷新了便携式仪器的多功能之最。2007年HT公司开始涉及太阳能光伏系统测试,以提供太阳能光伏电站的现场测试仪表,HT可提供全面的太阳能光伏电站测试仪表:并网太阳能光伏电站性能验证测试SOLAR300N,太阳能电池I-V特性曲线分析测试仪I-V400,离网太阳能光伏电站性能验证测试SOLAR I-V等。近年来,HT公司又基于自身的设计现场测试理念,推出自主品牌的全新系列红外热像仪产品,以充分满足客户的个性化需求,HT品牌的红外热像仪家族包括:THT41/42/44的经济型系列,THT49的专业级红外热像仪和THT50专家型红外热像仪。现在HT公司拥有:红外热成像仪,电气安全测试仪(含:绝缘电阻测试仪,接地电阻测试仪,漏电保护开关-RCD测试仪,耐压测试仪和多功能电气安全测试仪)、电能质量分析仪、通用测试仪表(含:数字万用表,数字电流钳表,红外测温仪,数字测温仪,数字噪声计,激光测距仪等)、GEF专业绝缘工具(含:绝缘镙丝批,各种绝缘剪钳,各种型号的工具套包,工具箱等)等系列产品。
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  • 金坛市品杰测试仪器有限公司,主要从事气候环境与可靠性试验设备的科研、生产、销售和服务。公司产品是江苏省星火科技扶持项目,公司地址为位于国家科技产业区-著名数学家华罗庚的故乡:江苏省金坛市金城镇工业园区。距常州火车站以及南京禄口机场约一个小时车程,地理位置极其优越便捷。公司本着以“品质为企业的使命”、“服务是友谊的延续”的目标,为客户提供全方位,高品质的测试用试验设备。 公司主导产品有:高低温(交变)试验箱、高低温湿热(交变)试验箱(也称可程式恒温恒湿试验箱)、盐雾腐蚀试验箱(盐水喷雾试验机)、二氧化硫腐蚀试验箱,霉菌试验箱,温度冲击试验箱,防尘、防水(IP外壳防护等级测试设备),光老化(紫外光耐气候,氙灯耐气候),温度老化试验箱等模拟气候类环境试验设备以及各类步入式试验室,产品广泛应用在军工、航空航天、电工电子、仪器仪表、家用电器、汽摩配件、科研质检等各类领域。 公司拥有先进的生产设备及工艺,如数控冲床、折弯机、剪板机、二氧化碳气体保护焊等设备,令生产出的产品工艺更加精湛,公司外购件均采用国内、外知名品牌,如美国Honeywell,韩国三元,法国TE等,制冷压缩机采用法国泰康,德国谷轮等品牌。公司也自行开发专用试验箱控制器,在设计中融入了计算机技术,采用大面积彩色触摸屏的人机交谈方式,发挥了设备更好的性能以及方便了用户对设备的操作。 “客户满意”是公司永远的追求,公司承袭“以诚为本”的经营宗旨,奉行“质量是企业的生命”为用户提供有效可靠的最佳产品解决方案和售后跟踪“保姆式”服务,公司在2008年已经通过ISO9001:2000质量体系认证,真正做到售前指导、售中培训、售后跟踪的完善体系。
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光学轮廓测试仪相关的仪器

  • NPFLEX 三维表面测量系统针对大样品设计的非接触测试分析系统灵活测量大尺寸、特殊角度的样品高效的三维表面信息测量垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节快速获取测量数据,测试过程迅速高效 NPFLEX 为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEXTM 3D表面测量系统为精密制造业带来前所未有的检测能力,实现更快的测量时间,提高了产品质量和生产力。基于白光干涉的原理,这套非接触系统提供的技术性能超出了传统的的接触式坐标测量仪(CMM)和工业级探针式轮廓仪的测量技术。测量优势包括获得高分辨的三维图像,进行快速丰富的数据采集,帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样本的仪器设计的经验,NPFLEXTM是第一个可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统,而且能够高效快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息。其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度样品创新性的空间设计使得可测零件(样品)更大、形状更多开放式龙门、客户定制的夹具和可选的摇摆测量头可轻松测量想测部位高效的三维表面信息测量 每次测量均可获得完整表面信息,并可用于多种分析目的更容易获得更多的测量数据来帮助分析垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节 干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据,为日渐苛刻的加工工艺提供保障测量数据的快速获取保证了测试的迅速和高效 最少的样品准备时间和测量准备时间比接触法测量(一条线)更大的视场(一个面)获得表面更多的数据 为客户量身订做最合适的仪器配置NPFLEX在基本配置的基础上,还有很多备选的配件和配置方案,满足不同客户的测量需求:&bull 可选的摇摆测量头可轻松测量想测的样品部位,测量样品的侧壁、倾斜表面以及斜面边缘,重复性好。&bull 获得研发大奖的透过透明介质测量模块(Through Transmissive Media,TTM)模块,,结合环境测试腔,可以穿透5cm厚的色散材料,可对样品进行加热或者冷却,进行原位测量。&bull 可选的折叠镜头能够测量碗状样品的侧壁和底部孔洞。纳米级分辨率的三维表面信息测量大家对很多样品的表面性质感兴趣,但是要获得这些品性质,需要检测大量的样品表面定量信息。许多应用在航空航天,汽车,医疗植入产业的大尺寸样品,往往只能借助于二维接触式检测工具进行表征,获得的只是一条线测量数据。二维扫描能够提供样品的表面轮廓,但是无法深入研究样品表面更精确的纹理细节信息。NPFLEX测试系统采用白光干涉原理,在每一个测量点可以实现表面形貌的三维信息收集,且具有亚纳米级的垂直分辨率。所收集的数据不受探针曲率半径的局限,高效的三维表面信息测量可获取除表面粗糙度以外的多种分析结果,更多的测量数据来帮助分析样品性质。 快速获取数据,保证测试迅速高效NPFLEX三维测量系统,能够灵活高效的获取大量测试数据。大大缩短了样品制备时间和测量方案设置时间,操作者可以快速更换样品,而且无需全面掌握样品形状和表面形貌的前提下,对样品的不同表面进行测量。仅需要不到15秒的时间,就可以出色地完成一个测量点的数据采集和分析工作。自动对焦,光强调节以及其他配套软件功能,大大节约了测试分析时间,而且可以根据操作者的实验需求,量身定做最优化的实验方案,而不影响数据的精度和质量。利用NPFLEX可以高效、快捷、灵活、准确地获得大型零部件的高精度测量结果,提供一站式的测量解决方案。
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  • 采用光干涉法同时测定光伏电池片栅线的线宽和线高,以及光伏电池工艺研发、生产共同面临的3D特征尺寸。 光纤式光伏电池片膜厚测试仪 光源型波长范围(nm)平均寿命(Hour)白色LED430~700>50,000卤钨灯400~90010,000重氢、卤素220~9001,000 成像光伏电池片栅线轮廓测试仪 物镜实际视野(mm)光学分辨率(um)动作距离(mm)1x6.6 x 8.811115x1.32 x 1.7623450x0.132 x 0.1760.513
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  • 光学轮廓仪 400-860-5168转5919
    一、产品概述:光学轮廓仪是一种高精度的测量仪器,利用光学技术对材料表面的轮廓和形貌进行非接触式测量。它通过分析反射光和干涉图样,能够获取样品表面的微观特征,广泛应用于材料科学、电子制造和精密工程等领域。二、设备用途/原理:设备用途光学轮廓仪主要用于测量材料表面的粗糙度、形貌和高度变化。常见应用包括半导体器件的表面特性分析、光学元件的质量检测、涂层厚度测量以及微结构的表征。这些数据对于材料的性能评估、质量控制和研发过程至关重要。工作原理光学轮廓仪的工作原理基于光的干涉和反射现象。仪器发射光束照射到样品表面,反射回来的光与参考光束进行干涉。通过分析干涉图样的变化,仪器能够精确测量样品表面的高度和形貌特征。由于采用非接触式测量,光学轮廓仪能够避免对样品的损伤,适合用于脆弱或敏感材料的表征。最终生成的轮廓图可以提供详细的表面特征信息,帮助研究人员进行深入分析。三、主要技术指标:1. 测量模式:PSl, USl, VSl, 选配的 Film2. 大扫描量程:≤10 mm3. 横向分辨率:4. 0.38 um minimum (Sparrow criterion)5. 0.13 um (with AcuityXR)6. 垂直分辨率:0.01 nm7. 台阶高度重复性:0.75% 0.125% 1 sigma repeatability8. 大扫描速度:122 um/sec (with laser reference)9. 样品反射率范围:0.05% to 100%10 .样品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ;249 mm H 自动样品台11. 大样品重量:45 kg (77 kg without standard stage)12. XY 品台:300 mm 自动样品台13. Z 轴聚焦:249(350 mm 不带自动台)14. 光源:利双LED光源15. 物镜: 16. Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X17. LWD: 1X, 2X, 5X,10X18. TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X19. Single-objective adapter Optional motorized five-position turret20. 放大器:0.55X,0.75X,1X,1.5X, 2X auto-sensing modules
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光学轮廓测试仪相关的资讯

  • 110万!广东省科学院半导体研究所计划采购非接触式光学轮廓仪
    一、项目基本情况项目编号:GZGK22P197A0608Z项目名称:广东省科学院半导体研究所非接触式光学轮廓仪采购项目采购方式:公开招标预算金额:1,100,000.00元采购需求:合同包1(非接触式光学轮廓仪):合同包预算金额:1,100,000.00元品目号品目名称采购标的数量(单位)技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1光学测试仪器非接触式光学轮廓仪设备采购1(台)详见采购文件1,100,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限:见“标的提供时间”要求。二、申请人的资格要求:1.投标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件,提供下列材料:1)具有独立承担民事责任的能力:在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人, 投标(响应)时提交有效的营业执照(或事业法人登记证或身份证等相关证明) 副本复印件。分支机构投标的,须提供总公司和分公司营业执照副本复印件,总公司出具给分支机构的授权书。2)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录:提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。 如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的, 提供相应证明材料。3)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度:供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供2021年度财务状况报告或基本开户行出具的资信证明) 。4)履行合同所必需的设备和专业技术能力:按投标(响应)文件格式填报设备及专业技术能力情况。5)参加采购活动前3年内,在经营活动中没有重大违法记录:参照投标(报价)函相关承诺格式内容。 重大违法记录,是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。(根据财库〔2022〕3号文,“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款,法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的,从其规定)2.落实政府采购政策需满足的资格要求:合同包1(非接触式光学轮廓仪)落实政府采购政策需满足的资格要求如下:本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。3.本项目的特定资格要求:合同包1(非接触式光学轮廓仪)特定资格要求如下:(1)供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单;不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。(以资格审查人员于投标(响应)截止时间当天在“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)及中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn/)查询结果为准,如相关失信记录已失效,供应商需提供相关证明资料)。(2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、 管理关系的不同供应商,不得同时参加本采购项目(或采购包) 投标(响应)。 为本项目提供整体设计、 规范编制或者项目管理、 监理、 检测等服务的供应商, 不得再参与本项目投标(响应)。 投标(报价) 函相关承诺要求内容。(3)已获取本项目采购文件。三、获取招标文件时间: 2022年09月05日 至 2022年09月13日 ,每天上午 00:00:00 至 12:00:00 ,下午 12:00:00 至 23:59:59 (北京时间,法定节假日除外)地点:广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/方式:在线获取售价: 免费获取四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年09月26日 14时30分00秒 (北京时间)递交文件地点:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)开标地点:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目采用电子系统进行招投标,请在投标前详细阅读供应商操作手册,手册获取网址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/transaction/download.html。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题,可通过400-1832-999进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。2.供应商参加本项目投标,需要提前办理CA和电子签章,办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南,指南获取地址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/problem/。3.如需缴纳保证金,供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(http://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/),申请办理投标(响应)担保函、保险(保证)保函。本项目支持电子保函,可通过登录项目采购电子交易系统跳转至电子保函系统进行在线办理。电子保函办理办法详见供应商操作手册。七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:广东省科学院半导体研究所地 址:广州市天河区长兴路363号联系方式:020-610864202.采购代理机构信息名 称:广州市国科招标代理有限公司地 址:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)联系方式:020-38364802、020-876876513.项目联系方式项目联系人:钟先生、苏先生电 话:020-38364802、020-87687651
  • 历史回眸 | 纵览KLA光学轮廓仪的创新发展史
    KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合,是早先各品牌合力创新的结果:1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。2.Zeta&trade Instruments 开发了 ZDot&trade 和多模式光学轮廓仪。3.KLA旗下Filmetrics® 推出了新型、通用的白光干涉仪。KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都拥有各自悠久的创新历史。1999ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪,具有埃米级灵敏度,可用于超光滑表面的相移干涉测量,以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。2006KLA 收购了 ADE 公司,为 KLA 的桌面式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪,并推出了面向半导体市场的衬底几何形貌和缺陷检测解决方案。2010Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。Zeta-20 是使用 ZDot&trade 专利技术的光学轮廓仪,它结合了结构照明、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上,从而实现对台阶高度和粗糙度的快速测量。多模组光学系统将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射光谱仪和自动缺陷检测功能相结合,扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的应用场景。同年,Zeta-200 发布,带有自动化载台,并推出了发光二极管 (LED) 应用的解决方案。Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背光源照明技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该系统可以适应各种形状的 PSS 凸起,测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距,从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致的结果偏差。通过多模式光学系统,还可以测量在 PSS 制造过程中薄膜厚度的变化以及样品的翘曲度。最后,通过自动缺陷检测功能,Zeta-200 可以识别不同缺陷的种类,如剥落的凸块、划痕和颗粒。2011Zeta-280 在 Zeta-200 平台的基础上增加了一个适配单个晶圆盒的桌面式机械手臂。Zeta-300 光学轮廓仪支持测量最大8寸的器件。该系统采用一体化主动或被动隔振平台,并搭配隔声罩隔离环境中的噪声。2012Zeta-20 采用 ZDot技术,为封装微流体器件等透明多表面应用场景提供了一种创新的测量解决方案。微流体器件的封装工艺通常会改变通道的尺寸和外形,从而影响器件的性能。因此,封装后的测量对客户的产品控制至关重要。Zeta-20高透射率的光学设计使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能保持足够强度,从而可以实现对微流体器件玻璃盖板封装前后关键尺寸参数的测量,例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺寸。同年,将 Zeta-280的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合,推出了Zeta-380自动化测量设备。2014MicroXAM-800 集成了Ambios 和 ADE 相移干涉测量技术的最佳硬件和算法,并搭配创新且易用的软件,用于台阶高度和粗糙度的自动测量。2015基于Zeta-20推出太阳能行业创新解决方案,用于绒面和丝网印刷的工艺控制。太阳能光伏的成本控制和提升转化率,推动着晶硅光伏的技术迭代。金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量,对晶硅光伏的转化效率产生重要影响,因此成为产品控制的关键环节。绒面工艺控制对于控制绒面金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要,因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。Zeta-20提供了专为绒面金字塔测量的解决方案,可实现金字塔结构的自动探测和统计。金属栅线采用丝网印刷工艺,该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的变化,从而增加器件的制造成本。Zeta-20的高动态范围测量模式(HDR)为金属栅线工艺提供了测量解决方案,可实现对反射率差异较大的材料测量。在太阳能电池制造工艺过程中,HDR模式被用于测量镀有减反膜涂层绒面表面的金属栅线3D形貌。同年,推出了Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品,提供了基于Zeta平台的晶圆自动化处理解决方案。 2016Profilm3D 是一款基于白光干涉原理的光学轮廓仪,可以适用于多种应用场景,包括薄膜厚度、表面粗糙度、台阶高度等表面形貌测量,是一种高性价比的三维表面形貌测量解决方案。2017Zeta Instruments 加入KLA Instruments 集团,为KLA光学轮廓仪引入 ZDot 技术和多模式测量技术,扩充KLA光学轮廓仪的产品线。Zeta系列用于3D表面形貌测量,支持研发、生产和全自动化环境。2018KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D形貌数据处理的网络应用程序ProfilmOnline® ,利用网络浏览器和强大的智能手机功能,使用户无需电脑即可分析、存储和共享3D数据,包括光学轮廓仪、扫描探针显微镜(如原子力显微镜)和其他三维成像显微镜等获取的三维形貌数据。用户可以便捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据,对其进行分析,并与同事共享测量结果。ProfilmOnline® 允许用户通过跨平台的任意设备,随时随地访问数据。Profilm3D 增加了 TotalFocus&trade 功能,提供其样品表面的3D自然彩色图像。新一代Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300的基础上,更新了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388支持OCR和SECS/GEM,从而可用于全自动产线的生产制造。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量,如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。Zeta-388凭借在图形化蓝宝石衬底 (PSS)工艺中的应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。2019Filmetrics 正式加入 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、材料光学特性(n、k 值)的测量方面,Filmetrics 系列薄膜测量仪扩充 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩充 KLA光学轮廓仪产品线,为客户提供高性价比的表面形貌测量解决方案。2020Profilm3D-200 具有一个行程为 200mm的自动样品台,可放置200mm直径的晶圆样品。2023KLA Instruments 推出Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪,专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率,将对太阳能电池结构的表征能力拓展至1µ m以下。这款新型的Zeta光学轮廓仪,基于具有ZDot技术的Zeta-20设计,可配置230mm x 230mm尺寸的样品载台,并具备所有标准化且易用的多模组测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研发和制程控制的理想量测工具。如需申请测样或产品咨询,可通过仪器信息网和我们取得联系!
  • 重磅!中图仪器集中发布扫描电镜、台阶仪、复合型光学3D表面轮廓仪等新品
    近期,深圳市中图仪器股份有限公司(以下简称“中图仪器”)在尺寸精密测量领域再次展现其创新实力,连续发布了一系列新产品,包括Nano Step系列台阶仪、VT-X100共聚焦测量头、SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪以及CEM3000系列台式扫描电镜。这一系列新品的推出,不仅丰富了中图仪器的产品线,更为广大用户提供了更加精准、高效的测量解决方案。台阶仪Nano Step系列台阶仪 是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。该新品采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率;同时,集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。Nano Step系列台阶仪具备极强的应用场景适应性,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。共聚焦测量头VT-X100共聚焦测量头是一款非接触式精密光学测头,基于光学共轭共焦和精密扫描研制而成,主要由光学共聚焦系统和Z向扫描系统组成,具有体积小、重量轻的特点,能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上,在产线上对器件表面进行测量,直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。复合型光学3D表面轮廓仪SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身,能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时,可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析;当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时,可使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测。该新品可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。无论是超光滑还是粗糙、低反射率还是高反射率的物体表面,该新品都能轻松应对,能够精确测量从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等关键参数,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。台式扫描电镜 CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备,可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。该系列电镜搭载卓越的电子光学系统,拥有优于4nm的空间分辨率,保证了高放大倍数下的清晰成像,能够满足纳米尺度的形貌观测需求。其用户友好性同样出色,无论是通过直观的操作界面还是智能化的自动程序,都能让用户轻松上手,一键获取理想图像,极大简化了操作流程。CEM3000系列涵盖CEM3000A(大样品仓型)和CEM3000B(抗振型)两款强化机型。CEM3000A在不牺牲整机外观尺寸的情况下,极大拓展了样品仓尺寸,支持大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。CEM3000B则配备有高性能复合减振系统,不仅显著缩短了抽放气时间,还有效隔离了外界振动干扰,保证了高倍数成像时的图像质量。此外,该系列电镜允许用户根据需求加装各类探头和附件,极大地扩展了其应用领域,使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域具备广泛应用潜力。2024年以来,中图仪器在几何量精密测量领域取得了显著进展,先后发布了多款新品,其中包括WD4000系列无图晶圆几何量测系统、Mizar Silver三坐标测量机,致力于为高端制造业提供全尺寸链精密测量仪器及设备。

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  • 光学3D表面轮廓仪测量磨损定量的原理

    “摩擦,摩擦,在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷,广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退,但摩擦声却未消失,作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器,各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究,而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b],就是该领域最时尚的滑板鞋,载着研究人员疾驰,手持武器,所向披靡。  摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]  上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪,经过十数小时的摩擦,铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹,即为磨损区域,对磨损区域进行尺寸上的定量分析,是研究的重要组成部分,下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维:线_轮廓尺寸  取一块摩擦处理过的铜板,使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描,获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]  从图中可以看到,相对光滑区细致较浅的划痕,磨损区充满了坑坑洼洼的槽,在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维:面_粗糙度  分别在光滑区和磨损区选取若干点,测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维:体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]  如右上图,利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中,位于基准面(蓝色方框)上面的顶点区域显示为红色,位于基准面下方显示为绿色,利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。  一线二面三体,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息,从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断,如同穿上了酷炫的滑板鞋,在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

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  • 三维表面轮廓仪配件
    三维表面轮廓仪配件是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器,也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析。 三维表面轮廓仪配件根据国际标准计算2D和3D参数,使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析,依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算,从而保证了国际公信力,以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理,微米和纳米形状,圆盘,圆度,球度,台阶高度,距离,面积,角度和体积进行多范围测量,创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术,一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。 三维轮廓仪配件参数: 定位台行程范围:X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动) 接触式测量范围: 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围:2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s 非接触式测量范围: 范围:300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围:3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s 表面轮廓仪配件应用:测量轮廓,台阶高度,表面形貌,距离,面积,体积分析形态,粗糙度,波纹度,平整度,颗粒度 摩擦学研究,光谱分析磨料磨具,航天,汽车,化妆品,能源,医疗,微机电系统,冶金,造纸和塑料等领域。
  • 定位目标-黑色轮廓-1 x 500
    定位目标-黑色轮廓-1x500;货号:ACC-CRE-PTBC合作、共赢!徐琳达:17806282711美国热电:直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡:金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗:疲劳试验机、万能试验机; 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密:圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如:激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测:便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务,帮客户挖掘新的赢利空间!上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系热线:0532-89070738联系地址:青岛市城阳区山河路702号上海热线:15002189808上海地址:上海浦东新区川沙路1098号新美测(青岛)测试科技有限公司提供测试服务:静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等;动态疲劳测试主要包括:拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等
  • 东京精密 粗糙度、圆度、轮廓度 探针
    东京精密表面粗糙度仪测针:1、标准型测针 DM438012、小孔用测针 DM438093、极小孔用测针DM438114、小孔测量用测针DM438125、齿轮面测量用测针DM438146、深沟,R沟测量用测针DM438157、细长小孔测针DM438218、低倍率长孔测量用测针DM438229、深沟倒角测量用测针DM4382710、超深沟测量用测针DM4382611、红宝石测针 010250512、细长可测量用红宝石测针 0102520东京精密表面轮廓测量仪测针:1、标准型测针DM45501,DM45502,DM455032、锥形测针 DM45504,DM45505,DM455063、棱线测量用测针DM45507,DM45508,DM455094、小孔测量用测针DM45801,DM45802,DM45803,DM45510,DM45511,DM455125、小孔锥形测针DM45084,DM45085,DM45086,DM45513,DM45514,DM455156、直齿测量用测针DM45088,DM45089,DM45516,DM45517,DM455187、斜齿测量用测针DM45090,DM45091,DM45092,DM45519,DM45520,DM455218、高精度红宝石测针DM45522,DM45523,DM45524,DM45525,DM45526,DM455279、深沟测量用测针DM45531,0102804东京精密粗糙度仪、轮廓测量仪、圆度测量仪 测针型号:DM42001、S2800、S1400、S1800、DM42011、S480A、DM42012、S590A、DM42020、DM4380、DM43801、DM43802、DM43809、DM43811、DM43812、DM43813、DM43814、DM43815、DM43821、DM43822、DM43824、DM43825、DM43826、DM43827、DM43900、DM44026、DM45081、DM45082、DM45083、DM45084、DM45085、DM45086、DM45087、DM45088、DM45089、DM45090、DM45091、DM45092、DM45500、DM45501、DM45502、DM45503、DM45504、DM45505、DM45506、DM45507、DM45508、DM45509、DM45510、DM45511、DM45512、DM45513、DM45514、DM45515DM48505 DM48507 DM40508 DM40511 DM40513 DM48515 DM47501 DM47513 DM81900010-2501 010-2502 010-2521日本东京精密ACCRETECH测针 探针,测定子有大量现货,保证日本原装正品!东京精密轮廓仪测针、检出器 调整装置、台架、记录纸、 订货 货期快。东京精密ACCRETECH型号:测定子 检出器 调整装置0194000 E-DH-R639A/E-DH-R617A E-WJ-R01C0194001 E-DH-R617A E-WJ-R104A0194002 E-DH-R149A E-WJ-R411A0194003 E-DH-R80A E-WJ-R19A0194004 E-DH-R327A E-WJ-R20A0194005 E-DH-R354A E-WJ-R10A0194006 E-DH-R348A E-WJ-R378A0194007 E-DH-R329A E-WJ-R34A0194008 E-DH-R317A E-WJ-R77A0194009 E-DH-R636A/E-DH-R603A 0194010 E-DH-R618A 台架EM49030-S361 E-DH-R613A E-DK-R56AEM49030-S381 E-DH-R678A E-VS-S13AE-DH-R665A/E-DH-R669A E-VS-S57B0194200 E-DH-R677A E-VS-S16B0194201 E-DH-R720A E-VS-S21B0194202 E-DH-R690A E-VS-R20B0194203 E-DH-R749A E-VS-R24A0194204 E-DH-R774A E-DK-R16A0194205 E-DH-R770B E-DK-R19A0194206 E-DH-R779A E-DK-R34A0194207 E-DH-R391A E-DK-S24A0194208 E-DH-R614A E-DK-S25A0194209 E-DH-R708A 0194210 E-DH-R653A 0194400 E-DH-R725A E-TF-R25AEM49201-S375 E-DH-R707A L-WF-R08AEM49201-S374 E-DH-R608A L-WF-R07AEM49201-S315 E-DH-R724A L-WF-R11AEM49201-S361 E-DH-R714A L-WF-R03BEM49201-S376 E-DT-R32A/E-DT-R272A L-WF-R27AE-DT-R74A L-WF-R24AEM46000-S300 E-DT-R37A EM46000-S301 E-DT-R76A 记录纸EM46000-S302 E-DT-R10A E-CH-R04AEM46000-S303 E-DT-R87A E-CH-R05AEM46000-S304 E-DT-R173A I-250-125EM46000-S305 E-DT-R168B E-CH-R06AEM46000-S306 0102505 E-CH-S05AEM46000-S307 0102516 E-CH-S03AEM46000-S308 E-DT-R83A KT202-AEM46000-S309 E-DT-R95A CP-192EM46000-S310 E-DT-R120A CP-092E-DT-R106A AFD20P-060ASEM46100-S300 E-DT-R141A AFM20P-060ASEM46100-S301 E-DT-R107A EM46100-S302 E-DT-R44AEM46100-S303 E-DT-R105AEM46100-S304 E-DT-R163AEM46100-S305 E-DT-R140AEM46100-S306 E-DT-R130AEM46100-S307 EM46100-S308 EM46100-S309 EM46100-S310 EM-59103-S001 合作、共赢!美国热电:直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡:金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗:疲劳试验机、万能试验机; 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密:圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如:激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测:便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务,帮客户挖掘新的赢利空间!上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址:青岛市城阳区山河路702号上海地址:上海浦东新区川沙路1098号新美测(青岛)测试科技有限公司提供测试服务:静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等;动态疲劳测试主要包括:拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等
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