进口射频地下器

2021年8月30日，在嘉盛半导体（苏州）有限公司举行了华兴源创5G射频测试系统交付仪式以及上海韦尔半导体股份有限公司、嘉盛半导体（苏州）有限公司、苏州华兴源创科技股份有限公司三方战略合作签约仪式。经过长达3年的潜心研究，由华兴源创自主研发的4台射频测试系统TS-1800，在韦尔半导体和嘉盛半导体大力支持下，顺利进入嘉盛半导体（苏州）有限公司的量产线用于韦尔半导体射频开关的测试。在中国大陆射频芯片封测产业，不得不提到嘉盛半导体苏州公司，全球超过一半的射频开关产品从这里完成封测。本次华兴源创交付的TS-1800射频测试系统，最核心的射频信号矢量信号收发仪板卡（VST）及射频矢量信号网络分析仪板卡（VNA）均为从底层架构完全自主研发，因此可以说是国内首台完全自主创新的5G射频测试系统。TS-1800设计的最高收发频率可达Sub6GHz，可满足所有5G射频开关(Switch)、低噪放大器（LNA）、功率放大器（PA）、滤波器（Filter）、射频调谐（Tuner）等射频前端芯片的测试，打破了国内在5G射频专用测试领域完全依赖进口设备和进口射频矢量板卡的局面。TS-1800射频测试系统的技术亮点主要有1.在硬件设计方面，TS800利用“高功率多频段复用技术”, HP Multi-band TM. 使客户在更换产品时，无需Loadboard硬件更换，只需控制切换即可实现不同的频段的高功率测试。这项技术区别于其他射频设备，实现轻松切换，进一步提高产能。2.在数据处理方面，TS1800 采用Auto-Detect 智能算法。这个强大的智能算法的成功应用，进一步提高测试精度，确保测量的稳定性和一致性。3.TS1800的优于分时系统利用双TX通道和双RX通道集成于一卡的优势实现低功率和高功率实时并行测试的技术，在测试时间上拥有竞争优势。4.高度集成的完全自主研发板卡在测试成本方面拥有天然的竞争优势。上海韦尔半导体股份有限公司董事副总经理纪刚代表公司出席了仪式。他表示韦尔半导体作为一家中国设计公司在保证芯片品质的基础上一直积极推进测试设备的国产化，目前公司的分立器件和模拟芯片的测试已经比较多的采用国产测试设备了，但其他产品的量产测试设备还是依靠海外测试供应商。2年多前豪威集团和华兴源创首先启动了合作，目前在其代工厂已采用华兴源创测试机加分选机的解决方案。经过2年多的不断改善，华兴源创的测试解决方案在效率、稳定性等多项关键指标上已经达到国际同类水平。今天交付的4台5G射频专用测试设备主要用于公司射频开关、LNA等前端芯片的测试，由于射频测试设备的技术门槛很高，截止目前我们基本上全部采用海外品牌测试机，此次首次采购数量不多，但意义重大。首先是韦尔半导体和华兴源创的战略合作又往前发展了一步，从一个品类变成了两个品类，其次今后韦尔半导体的射频前端芯片非常有机会能逐步通过采用高性价比的国产测试解决方案来提高产品竞争力。苏州华兴源创科技股份有限公司董事长陈文源出席了仪式，他表示：首先要感谢韦尔半导体和嘉盛半导体对华兴源创的信任和大力支持，因为公司作为半导体测试设备的新厂商，成败的关键因素之一就是一定要有几家下游铁杆客户不离不弃的陪跑。在韦尔半导体项目推进过程中接收端在高频5GHz范围左右扑捉小信号峰值的时候出现过数值不稳定现象，这是一个集硬件，算法，和信号完整性交织在一起的复杂问题。在韦尔半导体的信任和支持下我们工程师们历经约1个月的奋战，应用了严谨的鱼骨法问题解决方式，做了数十次DOE，终于找到原因，并用精巧的算法实现了稳定地抓取每一次数据的解决方案，这为今天的顺利交付奠定了扎实的基础。其次今天交付的设备，对于华兴源创只是万里长征开始的第一步，我们将持续投入研发，通过与海外同类畅销机型的对比以及从满足客户的各种需求出发，不断升级完善产品，希望在不久的将来，华兴源创的5G射频测试解决方案能成为国内射频芯片厂商乃至全球射频芯片厂商心目中的最佳测试解决方案。出席此次仪式的还有上海韦尔半导体股份有限公司运营总监蒋海林、生产运营高级总监褚彩萍、封装总监俞江彬、嘉盛半导体（苏州）有限公司总经理李操权、运营总监石岩、销售总监朱勤、测试总监向国平、苏州华兴源创科技股份有限公司运营中心长姚夏、董事会秘书朱辰、半导体事业部总监黄龙。华兴源创是行业领先的工业自动化测试设备与整线系统解决方案提供商，基于公司在电子、光学、声学、射频、机器视觉、机械自动化等多学科交叉融合的核心技术为客户提供从整机、系统、模块、SIP、芯片各个工艺节点的自动化测试设备。目前华兴源创产品已经服务于平板显示、半导体、可穿戴、新能源车等多个领域。

2016年11月18日，由聚光科技（杭州）科技股份有限公司（以下简称“聚光科技”）牵头承担的国家重大科学仪器设备开发专项“自激式全固态ICP射频源研制及产业化”项目开题会议在杭州顺利召开。浙江省科技厅乐斌、中科院电工研究所韩立所长助理、浙江大学金钦汉教授、浙经事务所徐永标教授、上海环境监测中心大气环境监测室段玉森主任、浙江地质矿产研究所胡勇平教授、中国科学院高能物理研究所刘宇研究员、杭州信雅达科技有限公司赖月林总经理、杭州电子科技大学程知群教授、浙江工业大学莫卫民教授等领导、项目专家成员以及合作单位相关负责人近22人出席会议。与会人员合影　　首先由项目承担单位聚光科技党委书记陈荧平致欢迎辞，随后浙江省科技厅乐斌对项目实施过程中几点要求及评价体系等方面发表重要讲话，并希望项目组进一步加强合作，祝愿聚光科技在后续项目的实施过程中取得圆满成功。 浙江省科技厅乐斌发表重要讲话　　中国地质大学（武汉）金星教授向各位领导及专家组就项目总体情况进行了介绍，本专项重点研制具有自主知识产权、达到国际一流水平的自激式全固态ICP射频源设备，在此基础上进行工程化、产业化，同时建立一条规模生产线，年产能达500台套，项目完成后3年内年销售量300台套以上，支持ICP类分析仪器销售500台套。 中国地质大学金星教授作项目介绍　　本专项将研制工作在27.12 MHz频率的自激式全固态ICP射频源，频率稳定度优于0.01%，功率稳定性优于0.1%，输出功率在0.6～1.7 kW之间连续可调。　　在应用开发方面，本项目针对ICP射频源在光谱和质谱中的应用，将研制的ICP源集成在国产ICP-OES和ICP-MS上，实测灵敏度、背景噪声、检出限和长短期稳定性等主要性能指标，并与采用进口ICP射频源的国产ICP-OES和ICP-MS进行横向比较，以验证本项目研制的ICP射频源的性能是否满足ICP-OES和ICP-MS的要求。形成的测试报告和应用示范效果，对于ICP射频源在国产ICP-MS中的推广应用将起到一个良好的带动作用。　　在产业化方面，本项目将依托产业化承担单位的基础，按照产品开发（IPD）流程进行产品开发，参考ISO 9001：2001质量标准进行管理，建立全面的ICP射频源产品质量管理体系、物料质量管理规范和产品订单履行规范，保证ICP射频源的小试、中试和规模生产顺利实施。建立相应质量管理体系，建设生产线，实现自激式全固态ICP射频源年销售量300台套以上。　　通过本项目的实施，将给国家带来巨大的经济社会效益。　　一、为环境、食品等行业的仪器设备提供核心部件，提升我国检测设备的研制和应用水平　　在水、土壤环境质量检测、水质重金属污染突发事件和食品重金属检测领域等行业，本项目研制成功的ICP源将为这些领域重金属检测设备ICP-OES和ICP-MS提供先进的核心部件，促进国产高端元素检测设备的技术成熟，保障检测行业的检测事业发展。先进的检测设备将大大提升水质、土壤环境的检测能力，促进环境安全和食品安全的总体控制。环境和食品安全保障手段的加强，必将提高人民的生活水平，从而产生巨大的社会效益。　　二、 促进元素检测技术水平的提高　　通过实施项目，我国元素检测设备和检测质量控制产品的研制水平将会有很大提高，必将进一步促进整个国产化元素检测关键设备的产业化、标准化、系列化，形成关键检测设备核心模块的产业化基地，促进国产元素检测设备的市场化推广。　　三、替代进口，节约外汇　　目前国内高端的ICP-OES和ICP-MS设备基本购买国外产品，市场被进口设备长期垄断，价格昂贵、仪器的维护费用高、周期长。本项目研制的具有我国自主知识产权的ICP射频源，技术指标达到国外同类产品水平，将极大的促进国产ICP-OES和ICP-MS在技术上成熟，达到国外同等先进水平，能够胜任国内元素检测各种复杂的应用环境；同时实现国产化应用、本土化维护和成本的降低，完全可替代进口产品，降低了成本，不仅促进仪器企业降低成本提高产品竞争力，也帮助国产ICP类分析仪器在整个元素检测仪器市场提高竞争力。　　四、拉动内需，促进就业　　本项目涉及光学、化学、机械加工、生物学、微加工、电子学、材料科学等多行业，能够促进ICP-OES和ICP-MS等分析仪器行业的进步，项目的实施将带动相关产业的发展，增加就业岗位。　　总之，通过本项目的实施，将实现具有自主知识产权的自激式全固态射频电源的国产化和产业化，将在杭州建立一条拥有年产能力500台套ICP射频源的生产线，并实现批量销售，项目完成后年销售量超过300台套。通过本项目研究成果的推广，将促进国产ICP-OES和ICP-MS等高端无机分析仪器的产业化，提升国产仪器的市场竞争力。　　随后，各仪器开发单位分别就各承担任务的总体目标、工作难点、技术路线、实施计划等方面进行了专题汇报，经过专家组多次提问及内部讨论，形成了专家意见，为项目的顺利实施奠定了坚实的基础。

中国科学技术大学郭光灿院士团队在基于里德堡原子的低频射频电场测量上取得重要进展。该团队史保森、丁冬生课题组利用非共振外差方法实现了基于里德堡原子的低频射频电场精密探测，相关成果以“Highly sensitive measurement of a MHz RF electric field with a Rydberg atom sensor”为题发表在国际应用物理期刊《Physical Review Applied》上。 　　里德堡原子由于其较大的电偶极矩和极化率等独特性质，在微波测量领域展现出巨大应用潜力。基于里德堡原子的量子传感器在测量精度﹑抗干扰性以及可朔源等方面有望超越传统微波接收系统，因此该研究方向受到广泛关注，例如：美国陆军研究室、桑迪亚国家实验室等开展了相关研究，并取得了重要进展[Physical Review Applied 13, 054034 (2020)，Physical Review Applied 15, 014047 (2021)]。尽管里德堡原子传感器在GHz高频微波频段探测取得了重要进展，但在MHz附近的低频波段却遇到困难，测量灵敏度较低，其主要原因在于低频电场与里德堡原子之间的耦合是一种弱的非共振相互作用，受限于光谱测量分辨率，人们难以测量微弱微波电场造成的扰动，这就限制了里德堡原子微波测量向低频波段的扩展。 　　在本工作中，研究团队基于AC Stark效应和非共振外差技术，通过引入一个本地振荡电场来放大系统对微弱信号电场的响应，最后通过测量探测光的电磁诱导透明光谱得到信号电场的强度。研究团队实现了对30-MHz微波电场(波长近10米)的高灵敏度测量，最小电场强度为37.3µV/cm，灵敏度为−65 dBm/Hz，动态范围超过65 dB。此外，研究团队还演示了1 kHz振幅调制(AM)信号的传输和接收：通过对探测光束信号进行解调，并分别方波和正弦波调制下提取初始调制信息，保真度均达到98%。图1 (a)里德堡态激发 (b)传感器示意图图2 (a)系统灵敏度 (b)和(c)AM解调信号演示 这项工作提高了MHz电场的原子传感器灵敏度，有助于原子电场传感技术的发展。该工作对里德堡原子传感器的在其他领域的应用，如远程通信、超视距雷达和射频识别(RFID)也有参考价值。 　　中科院量子信息重点实验室硕士研究生刘邦为本文的第一作者，丁冬生教授、史保森教授为本文的共同通讯作者。该成果得到了科技部、基金委、中科院、安徽省重大科技专项以及中国科学技术大学的资助。