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等离子发生器无法连接这个怎么解决[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206101212306720_4243_5647733_3.png[/img]
RF发生器如何通过工作线圈给等离子体输送能量?
高频发生器一般包括电源、振荡器和工作线圈,有些仪器还有功率稳定线路和阻抗匹配单元。高频发生器的作用是产生高频磁场供给等离子体能量。频率多为27 ~ 50MHz,最大输出功率通常是2 ~ 4 Kw。