离子导入仪

滨州创元设备机械制造有限公司代理的日美纳米表面分析仪器公司(U-P)的最新型号全自动聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪PHIQuantera II+C60+SPS在11月12日南京理工大学招标会上以技术领先取胜，独家投标中标.已经于12月12日完成技术签约。预计明年5月安装运行。　　该校独具慧眼，及时导入最新型全自动聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪PHIQuantera II. PHIQuantera II和PHIQuantera 相比，有如下2个性能得到大幅改善。　　A.最小扫描X射线束斑由9微米减小到7.5微米　　B.微区光电子灵敏度大幅度提高，相对于其他公司优越性进一步大幅度提升。　　旧型号PHIQuantera灵敏度为55kcps20.0 μm0.60 eV，　　新型号PHIQuantera II灵敏度为80kcps 20.0 μm 0.60 eV　　此外，该校在导入PHIQuantera II同时还导入有机物剥层分析用C60离子枪。成为中国国内第2家拥有该离子枪的单位。有机物剥层分析用C60离子枪的问世是XPS技术商用化以来近30年来最新突破。彻底改变了人们使用XPS技术无法对有机物表层进行清理以及开展纳米表面深度剖析的传统现状。该技术一经推出，近年来在短时间内催生了人们对研究有机物亚表面/界面的高度热情。　　更为重要的是，该校独具慧眼，在中国首次导入PHIQuantera II重要附件---体外定位显微镜系统(sample positioning station, SPS),SPS的空间分辨率可达2微米。这个功能使得用户可以在XPS装置的外面自由自在地观察表面微观特征并精确定位。 这样该装置的4种定位方式之优势可以全部发挥出来。在其他公司只有2种方式的状况下(样品放入真空室后用显微镜定位以及用XPS图像定位)，PHIQuantera II还可以提供另外2种定位方式(样品放入真空室前用显微镜像定位以及放入真空后用扫描X-Ray产生的2次电子像SXI像定位)。　　继清华大学，宝钢,北京理工大学导入我司PHIQuantera后南京理工大学又首次导入最新型号PHIQuantera II with C60,同时首次导入SPS体外精确定位系统，一举占领XPS分析领域的世界制高点，相信南京理工大学将在国内外XPS领域，尤其是有机物亚表面/界面研究，半导体复杂线路缺陷微区分析等方面独领风骚，领先世界。

近日，中微公司推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。Preforma Uniflex™ CW可灵活配置多达五个双反应台反应腔（十个反应台），每个反应腔可以同时加工两片晶圆，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现更高的生产效率。该设备配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案及加热台, 具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性，对于弯曲度较大的晶圆，它也具备良好的工艺处理能力。并可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。中微公司集团副总裁、LPCVD 产品部和公共平台工程部总经理陶珩表示，自该款LPCVD设备研发立项以来，仅用不到半年时间，公司就完成了产品设计、生产样机开发和实验室评价，目前已顺利导入客户端进行生产线核准。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。据悉，中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户先进工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。

滨州创元公司代理的日美纳米表面分析仪器公司(U-P)的全自动聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪-----PHIQuantera+C60-----在7月22日北京理工大学招标会上以技术领先取胜，独家投标中标.将于近日完成技术签约。预计明年安装运行。 　　该校独具慧眼，及时导入有机物剥层分析用C60离子枪。成为中国国内第一家拥有该离子枪的单位。有机物剥层分析用C60离子枪的问世是XPS技术商用化以来近30年来最新突破。彻底改变了人们使用XPS技术无法对有机物表层进行清理以及开展纳米表面深度剖析的传统现状。该技术一经推出，近年来在短时间内催生了人们对研究有机物亚表面/界面的高度热情。 　　继清华大学，宝钢导入我司PHIQuantera后北京理工大学导入Quantera同时首次导入C60离子枪，一举占领XPS仪器领域的制高点，相信北京理工大学将在国内XPS领域，尤其是有机物亚表面/界面研究方面独领风骚。