失效分析

p style=" text-indent: 28px text-align: justify " span style=" font-family:宋体" 失效分析（ /span span FA /span span style=" font-family:宋体" ）是对已失效器件进行的一种事后检查。根据需要，采用电测试以及各种先进的物理、金相和化学分析技术，并结合元器件失效前后的具体情况及有关技术文件进行分析，以验证所报告的失效，确定元器件的失效模式、失效机理和造成失效的原因。全面系统的失效分析可以确定失效的原因，对于器件设计、制造工艺、试验或应用的改进具有指导作用，采取相应的纠正措施消除失效模式或机理产生的原因，从而实现器件以及装备整体可靠性的提高。 /span /p p style=" text-indent: 29px text-align: justify " span style=" font-family:宋体" 通过失效分析可以发现失效器件的固有质量问题，也有可能发现元器件因不按规定条件使用而失效的使用质量问题，通过向有关方面反馈，促使责任方采取纠正措施，以便消除所报告的失效模式或机理产生的原因，防止其再次出现，对提高元器件的固有质量或使用质量都起到十分重要的作用。 /span /p p style=" text-indent: 29px text-align: justify " span style=" font-family:宋体" 失效分析的相关标准也有很多，主要包括 /span /p table border=" 1" cellspacing=" 0" cellpadding=" 0" style=" border-collapse:collapse border:none" tbody tr class=" firstRow" td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 标准号 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 名称 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span GJB548B-2005 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 微电子器件试验方法和程序 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span GJB450A /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 装备可靠性工作通用要求 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span GJB841 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 故障报告、分析和纠正系统 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span GJB536B-2011 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 电子元器件质量保证大纲 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span QJ3065.5-98 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 元器件失效分析管理要求 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span GJB 33A-1997 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 半导体分立器件总规范 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span GJB 65B-1999 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 有可靠性指标的电磁继电器总规范 /span /p /td /tr tr td width=" 160" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span GJB 597A-1996 /span /p /td td width=" 393" valign=" top" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p span style=" font-family:宋体" 半导体集成电路总规范 /span /p /td /tr /tbody /table p style=" text-indent: 28px text-align: justify " span style=" font-family:宋体" 通常失效分析的常见流程包括：失效现场信息调查、失效模式确认、外观检查、非破坏性分析、半破坏性分析、破坏性分析、综合分析、报告编写。如下为典型失效分析流程 /span /p p style=" text-indent: 0em " span style=" text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" http://www.enrlb.com/system_dntb/upload/20040303.jpg" / & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp /span /p p style=" text-indent: 2em text-align: justify " span style=" font-family: 宋体 text-indent: 42px " 元器件的失效分析涉及到数量众多，种类繁杂的仪器设备，以下为元器件失效分析的相关测试项目及检测仪器设备清单： /span /p table border=" 0" cellspacing=" 0" cellpadding=" 0" style=" border-collapse: collapse " tbody tr style=" height:1px" class=" firstRow" td width=" 197" nowrap=" " style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:center" strong span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 测试项目 /span /strong /p /td td width=" 363" nowrap=" " style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:center" strong span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 检测仪器设备 /span /strong /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 197" nowrap=" " rowspan=" 13" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:center" strong span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 电性测试 /span /strong /p /td td width=" 363" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/2473.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" LCR /span span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 阻抗分析仪 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 高阻计 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 耐压测试仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" ESD /span span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 测试仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/1801.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 探针台 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 半导体参数分析仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 高精度图示仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 可编程电源 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 电子负载 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/2438.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 示波器 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/2489.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 频谱分析仪 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 数字 span / /span 模拟集成电路测试机台 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 电磁继电器测试系统 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 196" rowspan=" 7" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:center" strong span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 形貌观察 /span /strong /p /td td width=" 363" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/56.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 体视显微镜 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/58.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 金相显微镜 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" X-RAY /span span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 透射系统 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 声学扫描显微镜 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/53.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 扫描电镜 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/1139.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 透射电镜 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/1856.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 聚焦离子束 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 196" rowspan=" 4" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:center" strong span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 制样设备 /span /strong /p /td td width=" 363" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 机械开封机 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 化学开封机 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 反应离子刻蚀机 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 研磨抛光机 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 196" rowspan=" 9" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:center" strong span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 应力试验设备 /span /strong /p /td td width=" 363" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/617.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 高低温试验箱 span - /span 热循环试验 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/622.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 热冲击试验箱 span - /span 热冲击试验 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 振动台 span - /span 机械振动试验 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 恒定加速度试验台 span - /span 恒定加速度试验 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 可编程电源 span - /span 电压、功率老炼试验 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 电子负载 span - /span 电流、功率老炼 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 频率发生器 span - /span 老炼试验 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 浪涌发生器 span - /span 浪涌试验 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 351" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 高温真空箱 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 196" rowspan=" 6" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:center" strong span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 其他检测设备 /span /strong /p /td td width=" 363" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 颗粒碰撞噪声测试仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 361" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/488.html" target=" _self" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 氦质谱检漏仪 /span /a /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 361" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 碳氟化合物粗检漏仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 361" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 键合拉力测试仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 361" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 剪切力测试仪 /span /p /td /tr tr style=" height:1px" td width=" 361" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " height=" 1" p style=" text-align:left" span style=" font-size:15px font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:black" 火花试验机 /span /p /td /tr /tbody /table p style=" text-indent:29px" span style=" font-family:宋体 color:white" 失效分析对产品的生产和使用都具有重要的意义，失效可能发生在产品寿命周期的各个阶段，涉及产品的研发设计、来料检验、加工组装、测试筛选、客户端使用等各个环节，通过分析工艺废次品、早期失效、试验失效、中试失效以及现场失效的样品，确认失效模式、分析失效机理，明确失效原因，最终给出预防对策，减少或避免失效的再次发生。 /span /p p br/ /p

失效分析是芯片测试重要环节，无论对于量产样品还是设计环节亦或是客退品，失效分析可以帮助降低成本，缩短周期。常见的半导体失效都有哪些呢？下面为大家整理一下：显微镜分析OM无损检测金相显微镜OM：可用来进行器件外观及失效部位的表面形状，尺寸，结构，缺陷等观察。金相显微镜系统是将传统的光学显微镜与计算机（数码相机）通过光电转换有机的结合在一起，不仅可以在目镜上作显微观察，还能在计算机（数码相机）显示屏幕上观察实时动态图像，电脑型金相显微镜并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。金相显微镜可供研究单位、冶金、机械制造工厂以及高等工业院校进行金属学与热处理、金属物理学、炼钢与铸造过程等金相试验研究之用，实现样品外观、形貌检测 、制备样片的金相显微分析和各种缺陷的查找等功能。体视显微镜OM无损检测体视显微镜，亦称实体显微镜或解剖镜。是一种具有正像立体感的目视仪器，从不同角度观察物体，使双眼引起立体感觉的双目显微镜。对观察体无需加工制作，直接放入镜头下配合照明即可观察，成像是直立的，便于操作和解剖。视场直径大，但观察物要求放大倍率在200倍以下。体视显微镜可用于电子精密部件装配检修，纺织业的品质控制、文物 、邮票的辅助鉴别及各种物质表面观察等领域，实现样品外观、形貌检测 、制备样片的观察分析、封装开帽后的检查分析和晶体管点焊检查等功能。X－Ray无损检测X-Ray是利用阴极射线管产生高能量电子与金属靶撞击，在撞击过程中，因电子突然减速，其损失的动能会以X-Ray形式放出。而对于样品无法以外观方式观测的位置，利用X-Ray穿透不同密度物质后其光强度的变化，产生的对比效果可形成影像，即可显示出待测物的内部结构，进而可在不破坏待测物的情况下观察待测物内部有问题的区域。X-Ray可用于产品研发，样品试制，失效分析，过程监控和大批量产品观测等，实现观测DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封装的半导体、电阻、电容等电子元器件以及小型PCB印刷电路板，观测器件内部芯片大小、数量、叠die、绑线情况，芯片crack、点胶不均、断线、搭线、内部气泡等封装缺陷，以及焊锡球冷焊、虚焊等焊接缺陷等功能。C-SAM（超声波扫描显微镜)无损检测超声扫描显微镜是一种利用超声波为传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查材料内部的晶格结构，杂质颗粒、夹杂物、沉淀物、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙等。I/V Curve量测可用于验证及量测半导体电子组件的电性、参数及特性。比如电压-电流。集成电路失效分析流程中，I/V Curve的量测往往是非破坏分析的第二步（外观检查排在第一步），可见Curve量测的重要性。I/V Curve量测常用于封装测试厂，SMT领域等，实现Open/Short Test、 I/V Curve Analysis、Idd Measuring和Powered Leakage（漏电）Test功能。SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪（材料结构分析/缺陷观察，元素组成常规微区分析，精确测量元器件尺寸）扫描电镜（SEM）SEM/EDX（形貌观测、成分分析）扫描电镜（SEM）可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜（SEM）使用，可以对样品进行微区成分分析。在军工，航天，半导体，先进材料等领域中，SEM/EDX（形貌观测、成分分析）扫描电镜（SEM）可实现材料表面形貌分析，微区形貌观察，材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析，薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析，纳米尺寸量测及标示和微区成分定性及定量分析等功能EMMI微光显微镜微光显微镜（Emission Microscope, EMMI）是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言，微光显微镜（Emission Microscope, EMMI）是一种相当有用且效率极高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中，EHP（Electron Hole Pairs）Recombination会放出光子（Photon）。如在P-N结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N，然后与P端的空穴（或N端的电子）做EHP Recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面，微光显微镜可分析P-N接面漏电；P-N接面崩溃；饱和区晶体管的热电子；氧化层漏电流产生的光子激发；Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等问题Probe Station 探针台测试探针台主要应用于半导体行业、光电行业。针对集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，可用于Wafer，IC测试，IC设计等领域。FIB（Focused Ion beam）线路修改FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam）是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工。在工业和理论材料研究，半导体，数据存储，自然资源等领域，FIB可以实现芯片电路修改和布局验证、Cross-Section截面分析、Probing Pad、 定点切割、切线连线，切点观测，TEM制样，精密厚度测量等功能。失效分析前还有一些必要的样品处理过程。取die用酸法去掉塑封体，漏出die decap（开封，开帽）利用芯片开封机实现芯片开封验证SAM，XRAY的结果。Decap即开封，也称开盖，开帽，指给完整封装的IC做局部腐蚀，使得IC可以暴露出来，同时保持芯片功能的完整无损，保持 die，bond pads，bond wires乃至lead-frame不受损伤，为下一步芯片失效分析实验做准备，方便观察或做其他测试（如FIB，EMMI）， Decap后功能正常。化学开封Acid DecapAcid Decap，又叫化学开封，是用化学的方法，即浓硫酸及发烟硝酸将塑封料去除的设备。通过用酸腐蚀芯片表面覆盖的塑料能够暴露出任何一种塑料IC封装内的芯片。去除塑料的过程又快又安全，并且产生干净无腐蚀的芯片表面。研磨RIERIE是干蚀刻的一种，这种蚀刻的原理是，当在平板电极之间施加10～100MHZ的高频电压（RF，radio frequency）时会产生数百微米厚的离子层（ion sheath），在其中放入试样，离子高速撞击试样而完成化学反应蚀刻，此即为RIE（Reactive Ion Etching）。 自动研磨机自动研磨机适用于高精微（光镜，SEM，TEM，AFM，ETC）样品的半自动准备加工研磨抛光，模块化制备研磨，平行抛光，精确角抛光，定址抛光或几种方式结合抛光，主要应用于半导体元器件失效分析，IC反向等领域，实现断面精细研磨及抛光、芯片工艺分析、失效点的查找等功能。 其可以预置程序定位切割不同尺寸的各种材料，可以高速自动切割材料，提高样品生产量。其微处理系统可以根据材料的材质、厚度等调整步进电动机的切割距离、力度、样品输入比率和自动进刀比率等。去金球 De-gold bump,去层,染色等，有些也需要相应的仪器机台，SEM可以查看die表面，SAM以及X－Ray观察封装内部情况以及分层失效。除了常用手段之外还有其他一些失效分析手段，原子力显微镜AFM ,二次离子质谱 SIMS,飞行时间质谱TOF － SIMS ,透射电镜TEM , 场发射电镜,场发射扫描俄歇探针, X 光电子能谱XPS ,L-I-V测试系统，能量损失 X 光微区分析系统等很多手段，不过这些项目不是很常用。芯片失效分析步骤:1、非破坏性分析：主要是超声波扫描显微镜（C-SAM）--看有没delamination，xray--看内部结构，等等；2、电测：主要工具，万用表，示波器，sony tek370a3、破坏性分析：机械decap，化学 decap芯片开封机4、半导体器件芯片失效分析 芯片內部分析，孔洞气泡失效分析（原作者：北软失效分析赵工）

仪器信息网讯 2014年10月20日，由中国工程院、中国合格评定国家认可委员会、中国标准化协会、中国金属学会、国际钢铁工业分析委员会、中国钢研科技集团有限公司主办的&ldquo CCATM&rsquo 2014国际冶金及材料分析测试学术报告会&rdquo 之&ldquo 材料微观解析与失效分析&rdquo 会议在北京国际会议中心举行。 　　失效分析是指产品失效后，通过对产品及其结构、使用和技术文件的系统研究，从而鉴别失效模式、确定失效机理和失效演变的过程。失效分析对于提高产品质量和防止事故重演特别重要。失效分析工作是一个极其复杂的过程，它需要多学科相互交叉。主要分析内容包括断口分析、化学分析、金相显微分析、力学性能检查和无损探测等方面。 　　其中微观解析主要指断口分析中的微观分析和金相显微分析。在断口微观分析中，使用扫描电镜或透射电镜可观察微观断口的形貌，从而判断断裂失效机制。另外配合能谱分析仪还可以对断口的微区成分进行分析，以判断是否存在夹杂物、成分偏析等缺陷。 　　金相显微分析是指利用金相显微镜来观察和研究金属材料显微组织结构及分布的试验方法。是检查金属材料质量的好坏、热处理工艺质量评定的最直观、最准确的方法。 　　在本次会议中，武钢研究院孙宜强介绍了SPHC热轧板表面疤块缺陷分析 钢铁研究总院谢金鹏介绍了转向弯臂断裂失效原因分析 宝山钢铁股份有限公司王军艺介绍了火花塞膨胀槽脆性开裂失效分析 首钢通化钢铁集团韩德青介绍了隔热管断裂原因分析 钢铁研究总院郑凯介绍了某石化设备用 P201泵出口管道裂纹原因分析 马钢技术中心王德宝介绍了35CrMo高强度连接螺栓杯锥状断口失效分析 武汉钢铁集团公司研究院王志奋介绍了冷轧双相钢性能不合格原因分析 国家钢铁材料测试中心李云玲PSB1080 螺纹钢氢脆断裂分析 西安航空动力控制科技有限公司郭秀乔介绍了活门和衬套卡滞原因分析 江苏省宏晟重工集团有限公司乙海峰介绍了1Cr17Ni2钢热油泵泵轴断裂分析。 会议现场