电镜新品

新产品和新技术体现了相关行业的技术发展趋势，定期推出一定数量的新产品和新技术是一个仪器企业创新能力的具体表现。仪器信息网“半年新品盘点”旨在将最近半年内推出的新产品和新技术集中展示给广大用户，让大家对于感兴趣的领域有总体性了解，更多创新产品和更详细内容见新品栏目。 　　光学显微镜是人类迈向微观世界的第一步，光学显微镜价格便宜，操作简单，但光镜存在固有的局限，由于可见光波长的限制，其放大倍数只能达到1000倍左右。与光学显微镜相比电镜用电子束代替了可见光，用电磁透镜代替了光学透镜，并使用荧光屏将肉眼不可见的电子束成像，其放大倍数可以达到几十万倍，分辨率可达几个纳米。电子显微镜常用的有透射电镜和扫描电子显微镜。扫描电子显微镜的电子束不穿过样品，仅在样品表面几纳米到几十纳米的区域激发出携带样品表面信息的二级电子，然后将其转换成图像。而透射电子显微镜利用透过样品的电子束来成像。 　　2012年公开发布的电镜新品有7台，其中四台为传统的大型扫描电子显微镜，推出新产品的厂商主要有日立、日本电子(JEOL)、韩国酷塞目(COXEM)、卡尔蔡司。日立推出了钨灯丝扫描电镜，其最大的亮点是在低电压、低真空下获得极高的分辨率。日本电子推出的新型热场发射扫描电镜，将分辨率提高到新的极限，在15kV加速电压下，分辨率可达到1nm。韩国酷塞目采用计算机导航的马达驱动控制样品台升降，提高了仪器操作的自动化程度。卡尔蔡司推出了AURIGA COMPACT聚焦离子束电镜系统新品，由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成，具备高分辨率成像功能，可以对材料实现高分辨三维纳米尺度成像和精确的材料加工及纳米组装。 　　传统大型电子显微镜有效放大倍数可以达到数万倍，具有大景深，是当前材料科学、生物科学领域最常用的表征手段之一，但其投资巨大，而且需要经过严格培训的操作人员，使用不便。台式扫描电镜是一种全新的设计，其结合了光学显微镜与传统扫描电镜的优点。既保留的扫描电镜较高的放大倍数和大景深，同时体积小、操作简便，价格相对较低。此类新型仪器的出现填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的间隙，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、纺织纤维、地质科学等诸多领域。2012年共有3台台式电子显微镜上市。主要厂商有Phenom-World、日本电子、Delong America公司。 　　Phenom-World首创了电镜能谱一体化的台式扫描电子显微镜。日本电子推出了即包含有二次电子探头，又包含有背散射电子探头的桌上型扫描电子显微镜，弥补了桌上型扫描电子显微镜只有背散射电子探头，只能观察成分像，不能观察二次电子像的不足。Delong America公司推出的超小型透射电子显微镜，采用独特的倒置式设计，体积仅为传统透射电镜1/10，价格仅为其1/3。 　　大型电镜 日立SU3500钨灯丝扫描电镜 　　日立于2012年10月推出的SU3500属于应用最广泛、使用最经济的钨灯丝扫描电镜。在加速电压为3kV时，二次电子图像分辨率可达7nm 在加速电压为5kV时，电子背散射图像的分辨率可达10nm。新设计的SU3500真空程序使真空度可达到650Pa。SU3500可变压力模式允许对处于自然状态下的潮湿、油腻和非导电样品进行观察。 日本电子JSM-7800F热场发射扫描电镜 　　JSM-7800F是日本电子2012年3月上市的一款高分辨率的热场发射扫描电镜，它秉承了JEOL热场发射扫描电镜大束流(1pA到200nA/15 kV时)，高稳定性的传统，将分辨率提高到新的极限(1.5nm/1kV)，1.0nm/15kV)。电子枪寿命长，随主机的第一根电子枪可以保证至少使用3年。全新设计的混合型物镜，对样品没有局限性，任何种类的样品都可以得到超高分辨图片。 韩国酷塞目CX-200TM扫描电子显微镜 　　韩国酷塞目2012年12月推出了新型CX-200TM扫描电子显微镜，CX-200TM采用钨灯丝电子枪，分辨率：3.0nm(30kV，二次电子)、10nm(3kV，二次电子)、4.0nm(30kV，背散射电子) 放大倍数：15x~300，000x 加速电压 0.5kV~30kV 。涡轮分子泵真空系统，无需冷却循环水机。采用计算机导航的马达驱动控制样品台升降，在几乎不增加费用的基础上，给用户的操作带来极大方便。 　　卡尔蔡司AURIGA COMPACT聚焦离子束电镜系统 　　2012年8月，卡尔蔡司在中国举行了AURIGA COMPACT聚焦离子束电镜系统全球首发仪式。AURIGA Compact GEMINI透镜设计可以在FIB切割的同时同步高分辨成像，样品的倾斜不会影响电子光学性能。AURIGA Compact具有的稳定性和效率，足以支持自动采集成百上千的EBSD剖面图谱。CrossBeam工作站的ASP系统支持自动制备TEM样品和进行断面切割。卡尔蔡司独有的X2技术，可以制备面积较大薄片样品，厚度小于10nm。　　　　　　 　　台式电镜 Phenom proX台式扫描电子显微镜 　　Phenom-World公司在2012年3月发布最新产品Phenom proX，首创了电镜能谱一体化的台式扫描电子显微镜。该台式扫描电镜结合了表面成像功能和元素分析(能谱EDS)功能，可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。Phenom ProX的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的，EDS 系统完全嵌入在电镜主机中，利用半导体制冷，无需额外冷却系统。Phenom proX采用CeB6灯丝，灯丝寿命可达1500小时 放大倍数：20×-45,000× 分辨率：优于25nm 加速电压：5/10/15kV 三档 具有3D粗糙度重建、纤维统计测量，高倍拼图等拓展功能。 日本电子JCM6000扫描电子显微镜 　　JCM6000是日本电子2012年9月推出的新产品，是目前市面上唯一一台，即包含有二次电子探头，又包含有背散射电子探头的桌上型扫描电子显微镜。它的放大倍率可以到6万倍，也是桌上型SEM中最高的，并且同时具备高低真空两种模式。加速电压：15kV / 10kV / 5kV3档切换 (二次电子)、15kV / 10kV 2档切换 (背散射电子) 放大倍率：×10 ∼ ×60,000 (二次电子)、×10∼ ×30,000 (背散射电子)。 Delong America公司LVEM5台式透射电子显微镜 　　Delong America公司2012年4月推出了LVEM5超小型透射电子显微镜，采用独特的倒置式设计。体积仅为传统透射电镜1/10，价格仅为其1/3，彻底改变了透射电镜体积庞大、使用复杂的不便性。该仪器将透射电镜、扫描电镜创造性的合为一体，在一台仪器上实现了透射、电子衍射、扫描、扫描透射电镜4种功能。采用特殊设计的倒置肖特基(Schottky)场发射电子枪，提供高亮度高相干的电子束。电子枪使用寿命可达2000小时以上。5kV低加速电压使LVEM5对轻元素样品的衬度显着提高，观察生物样品无需染色。分辨率：2nm(TEM)、3nm(SEM)。 　　关于申报新品 　　凡是“网上仪器展厂商”都可以随时免费申报最新上市的仪器，所有经审批通过的新品将在仪器信息网“新品栏目”、“网上仪器展”、“仪器信息网首页”等进行多方位展示 越早申报的新品，将获得更多的展示机会。 撰稿编辑：秦丽娟

仪器信息网讯 2021年10月14日晚，“2021年全国电子显微学学术年会”在广东省东莞市会展国际大酒店召开前夕，祺跃科技原位高温扫描电镜新品发布会在酒店四楼举办，并正式发布祺跃科技自主研制的原位高温扫描电镜。基于新的发展思路、新的设计理念，突破成像温度，引领原位表征技术，实现原位扫描电镜整机国产化。新品发布会现场中国科学院院士、浙江大学教授张泽致辞 张泽院士在致辞中表示，从科研平台发展成为一个商业化产品会面临很大挑战，需要把我们擅长的科学技术转变为大家都可以方便使用的产品，不仅需要各类跨学科人才，还要经历市场考验。而当前时代下，从经济实力、到学术积累，再到国家支持等，让迎接以上挑战具备了条件。此时，若有勇气去做，便是一件很了不起的事。当前，电子显微镜的空间分辨率、能量分辨率、成分分辨率等已经不断推向极致，团队早期牵头完成的国家基金委重大科研仪器专项便希望从材料真正使用环境出发，在苛刻使役环境条件的原位电镜技术发展方面寻求突破。但已有商品化电镜在设计开发时大部分考虑的还是室温成像能力和分辨能力，均不能满足兼顾超高温加热拉伸和实时原位微观表征的能力。扫描电镜可以配置原位拉伸台、热台、以及拉伸加热台等附件，但受限于现有的SEM样品腔室结构和真空系统设计，也无法满足更高温、高应力等苛刻环境的需求，研究面临“蜗居”受限境况。本次原位电镜新品便解决了这些问题，这款电镜大概是目前世界上最大的扫描电镜腔室，长度已经超过半米，如此大的空间，可以提供更多的想象空间和努力方向。将已有扫描电镜分辨率的极致性能与这样的环境条件相结合，可以做许多事情，比如原位分析大数据人工智能等。而这只是基于材料研究的一类模式，无限可能下，更多挑战将待大家探索。浙江祺跃科技公司总经理 浙江大学教授张跃飞介绍新品张跃飞教授表示，祺跃科技成立于2019年3月，主要致力于研发基于扫描电子显微镜、光学显微镜、x射线衍射仪等设备的原位分析装置，涉及的领域包括原位力学、高低温环境控制、力热耦合、电化学测试等多个方向。祺跃科技在原位分析测试领域快速发展的研发基础，主要来自于浙江大学张泽院士牵头的国家基金委重大科研仪器专项的成果转化。祺跃科技原位高温扫描电镜新品当前，扫描电镜在空间分辨、成分分析、晶体取向等方面已经取得很高水平，扫描电镜在“显微”方面已经做的足够好，祺跃科技未来扫描电镜需要进一步开拓扫描电镜的“威”力——在于材料分析的应用场景和过程分析之中，将材料应用场景与扫描电镜显微分析能力结合起来，具体如快速、多场、原位、动态、实时、在线等。新开发的扫描电镜设计理念包括样品室空间从紧凑到合理，样品台承载能力较大、成像探测器承温能力提升、保证高真空足够的抽气能力等，达到追求时序信息的目标。新品视频介绍：本次新品实现整机国产化的核心部件包括高温二次电子探测器、三维移动平台与大载荷拉伸平台、1400度原位加热器、超大结构样品腔室和超高真空系统等。保障电镜极端环境长时间稳定运行的相关模块包括冷阱、等离子清洗、极靴屏蔽、红外测温等。同时兼容EDX和EBSD等，还预留设置了多种通讯接口，为今后拓展更多原位技术留有余地。 最后，张跃飞教授表示，扫描电子显微的发展还有更多的可能性，而祺跃科技从事扫描电镜开发刚刚上路，愿意与国内外电镜厂商共同开拓扫描电镜更多的应用可能，也愿意与更多专家学者开展技术合作与交流，共同推进中国电子显微仪器事业的发展。由于电镜腔室的移动、减震等问题比较困难，所以此次新产品发布会没有把电镜带到发布会现场。但祺跃科技的工作人员通过在线直播的方式，采用东莞与桐庐两地现场直播的方式，在线介绍了实体电镜的各项功能与研发思路等。 浙江大学副研究员王晋协助新品远程演示

日立场发射扫描电镜最新技术研讨会在京举办 　　仪器信息网讯 2011年11月22日，由天美(中国)科学仪器有限公司、日立高新技术公司联合举办的“日立场发射扫描电镜最新技术研讨会”在北京云南大厦成功举办，天美公司高层、日立高新公司高层以及100余位来自全国各地的专家学者、企业代表出席了会议；仪器信息网作为特邀媒体亦参会。 会议现场 　　　　中国电镜学会　　　　　　天美科技有限公司　　　　 日立高新技术公司 　　　常务理事李建奇先生　　　 市场总监谢宝华先生　 先端分析仪器部今田芳宪部长 　　李建奇先生首先回忆了中国电镜学会与日立高新、天美公司长久以来的良好合作关系，并对日立高新的扫描电镜产品及天美公司完善的支持服务给予了肯定。 　　谢宝华先生谈到，自2003年天美“接手”日立扫描电镜产品以来，一直坚持向用户提供全方位的售前售后服务。2011年是天美与日立高新建立合作关系的十五周年，今后双方将会有更加深入的合作。 　　今田芳宪先生说到，SU8000系列冷场扫描电镜凝聚了日立高新更多的先进技术，拥有更加卓越的仪器性能，通过这次会议，希望大家能够了解日立高新扫描电镜产品更多的技术优势。 　　日立高新SU8000系列扫描电镜新品隆重揭幕 SU-8000系列扫描电镜新品揭幕仪式 　　在新品揭幕仪式上，由日立高新技术公司科学仪器营业本部岡田務本部长、天美科技有限公司谢宝华先生及军事医学科学院张德添教授为SU-8000系列新品揭幕。 　　　　　　　日立高新技术公司设计部　　 　日立电镜全球应用中心 　　　　　　　　主任技师小柏刚先生　　　 　副站长多持隆一朗先生 　　对于日立高新场发射扫描电镜的研发历程，小柏刚先生说到，日立高新的发展历史最早可追溯到1961年。自1971年第一款场发射扫描电镜交付使用至今，日立高新已拥有多款场发射扫描电镜，如热场发射扫描电镜SU6600与SU-70、冷场发射扫描电镜S-4800以及今年最新发布的SU8000系列及SU9000。我们希望凭借日立高新良好的分析技术、丰富的电镜产品系列，能够为全球纳米科技、生命科学等领域持续发展做出贡献。 　　多持隆一朗先生则重点谈到，SU8000系列扫描电镜拥有优异的性能表现，如超高分辨率技术(1.3nm/1.0kV)，信号探测系统范围广，可操作性强，便于用户操作等，可根据用户需求提供不同的样品台，样品室以及信号探测系统，满足用户对超高分辨率显微镜的特定需要。同时，多持隆一朗先生还分别详细介绍了SU8000系列4个型号(SU8010、SU8020、SU8030、SU8040)不同的技术特长与应用特色。 　　随后，日立高新应用专家罗琴女士介绍了SU9000内透镜场发射扫描电镜的技术特点与应用优势 天美公司电子显微镜专家顾群先生则重点介绍了天美公司在日立电镜服务方面的多项措施，可以确保中国用户能够获得全方面的支持服务。 日立高新技术公司电子显微镜营业部 天美(中国)科学仪器有限公司 马玉娥经理出席会议　　　　　　赵薇副总裁主持会议 　　日立高新与天美高层谈SU8000系列新品技术与服务 　　会后，日立高新公司岡田務先生、今田芳宪先生、马玉娥女士以及天美公司谢宝华先生、赵薇女士等人接受了仪器信息网编辑的采访。 　　Instrument：SU8000系列在技术上有哪些提升和改进?它的市场定位是怎样的? 　　岡田務先生：“SU8000系列是在S-4800型基础上研发而来，其技术改进主要体现在低能高分辨率、E×B专利设计等方面，这些优异性能在8010型中都有体现 除此之外，8020型还安装了顶插式探头，8030型的特点是超大样品仓，8040型则表现在样品移动台的高精度，因此与4800型相比，SU8000系列的应用范围更广。除了在性能方面的优秀表现外，SU8000系列在操作、维护方面非常简便快捷，可以给用户十分人性化的体验。” 　　今田芳宪先生：“SU8000系列涵盖了从简单到复杂、从普通需求到高端需求，如作一般高分辨的客户选择SU8010，有电位衬度分析需求的客户选SU8020，需要表征大尺寸样品的用户可选择8030型，而对样品台移动精度有很高要求的用户则可以选择该系列中最高端的8040型。” 　　Instrument：众所周知，日立扫描电镜的市场占有率非常高；随着SU8000系列的推出，贵公司期望市场占有率将会再有怎样的提升? 　　岡田務先生：“日立高新拥有40年的冷场扫描电镜开发经验，选择的是以低维护成本、低消耗的冷场发射扫描电镜为主打的产品推广策略，如日立高新最经典的S-4800型正是这样一款低能高分辨的产品，适时迎合了用户需求，S-4800型自2003年进入中国，现已拥有200多位忠实用户，我们希望SU8000系列的4个型号都能够取得这样的成绩。” 　　谢宝华先生：“无论是硬件还是软件，SU8000系列冷场发射扫描电镜新产品都有了很大程度的更新，如低压高分辨率(1.3nm/1.0kV)，我相信，SU8000系列的推出将会给予用户更多更好地选择，市场销售业绩自然会不俗。” 　　Instrument：新产品意味着新增长，贵公司如此隆重推出SU8000系列，是否表示对当前扫描电镜市场持有很高的期望? 　　岡田務先生：“日立高新在电镜方面的研发技术与制造经验均处于领先地位，目前，我们在全球扫描电镜市场中已位居第一位，在中国市场亦居于榜首。此次日立高新一举推出4个型号的新产品，因此我们对日立高新今后能够继续稳居市场第一的信心更为充足。” 　　赵薇女士：“天美在日立高新电镜产品的销售成绩非常突出，在科研领域，我们仅在中科院就有30多位电镜用户 在企业方面，我们的用户也遍及半导体、太阳能电池、快速消费品等领域。近几年，我国政府对科研的投入越来越大，而材料科学的进步也是有目共睹，在这样的大好环境中，我们对中国扫描电镜市场的前景是非常乐观的。” 　　Instrument：天美公司有哪些措施以保证日立电镜产品的售后服务? 　　谢宝华先生：“天美自2003年代理日立电镜产品以来，我们坚持不放弃任何一个潜在客户，并给予用户全方面的支持服务。例如，我们设有专门的应用示范实验室，目前配有S-3400N钨灯丝电镜、S-4800型场发射扫描电镜，现在更是引进了一台SU8020扫描电镜新品，可以为用户提供完善的售前、售后的应用支持；此外，天美还在国内重点城市设有14个办事处，并拥有专业的工程师队伍，可以向用户提供及时快速的服务；每年我们会组织多期的用户应用培训班，还会有定期回访和维护服务等。” 合影留念 　　扫描电镜技术研讨与摄影大赛颁奖环节精彩纷呈 　　作为日立高新公司的一代经典产品，S-4800型场发射扫描电镜以其独特的低电压下超高分辨率等技术优势，赢得了中国200多位用户的信任与支持，被广泛地用于微电子、锂电池、石油化工、生命科学、环保等材料科学领域的研究、开发和检测工作。 　北京师范大学李永良先生 　　上海硅酸盐所吴伟先生　 　　 安徽大学林中清先生 　　作为用户代表，李永良先生、吴伟先生、林中清先生分别从材料应用领域、成像工作条件以及仪器性能指标3个方面，结合自身的仪器应用经验作了精彩的报告，并纷纷表示，S-4800型拥有卓越的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面，尤其是在低加速电压(1 kV)下的二次电子图像分辨率可达2 nm，是一个真正实用的多用途平台。 摄影大赛颁奖现场 　　“2011年日立场发射扫描电镜摄影大赛”自2011年9月发起，共收到100多张参赛图片，经过专业评审及参会用户的投票，最终评选出20位获奖用户，日立高新与天美公司特别为这20位获奖者颁发了礼品。 　　附录： 　　产品详细信息 http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138451.htm 　　日立高新技术公司 www.hitachi-hitec.cn 　　天美科技有限公司 www.techcomp.cn