键合对准机

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键合对准机相关的厂商

  • 上海华赋信息科技有限公司成立于2006年,公司致力于精密运动控制领域相关产品的研发、生产与销售,为客户提供符合国际标准的高质量的产品。公司拥有的强大技术后盾与生产能力,致力于为客户提供一站式的服务。多年来,上海华赋信息科技有限公司一直秉承“以诚为本,以质求存,精艺求精”的思想,为国内外客户提供高质量的产品,雄厚的技术实力和完善的客户服务获得了众多企业的信赖和好评,多种产品的市场占有率在国内都遥遥领军,在光通讯,激光,设备制造,高校研究所等领域竖立起了优质的品牌形象。主营项目:精密位移与控制:1-6维 手动微调架、电动微调架。调芯对准系统:PLC光波导对准封装系统(手动,半自动,全自动),全自动芯片测试系统,有源、无源对准调芯系统(包括平面波导类器件、WDM、AWG等),特殊项目定制方案等。光学仪器:UV光源、激光光源、光功率计等。其它:光学平板等。
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  • 华准计量是一家专业从事检测、校准的第三方综合实验室,是全国为数不多的集设备研发、销售、检定、校准、维修、教学于一体的综合能力完善,服务领域广泛的仪器设备综合服务商。成立于2019年5月,总部设在成都市成华区龙潭总部经济城,公司注册资金1亿元。 公司秉持求实创新、协同高效、卓越进取、服务科学的质量方针,为航空航关、石油石化、生物医疗、检验检测、机械生产、精密制造等行业提供全链条整体化的服务。并逐渐成为中国西部仪器行业服务能力最完善的企业。主要涉及几何量具、热学仪器、电学仪器、电磁学、时间频率、力学(压力、流量等)、化学类分析仪器等,均建立并完善了检、校、修全面保障的实验室。 公司总面积约 3000 平方米,设有技术部,质量部,几何量、电磁学、热学、力学、化学5大专业校准实验室,收发室,资料室,学习室,客服部,运维保障部等 公司服务团队中,国家级专家4人,国家一级考评员3人。校准实验室现有10年以上从业人员8人,注册计量师7人,工程师3人,内审员6人,经过培训考核合格的检测校准员 18人 标准考评员、机构考评员等专家4人,高级顾问2人其中几何量室3人,电学室3人,力学室4人,热学室3人,化学室4人 检测实验室 10人。 华准计量是通过四川省局建标的第三方综合实验室,现有建标50余项,CNAS 认可近 200 项。 业务范围:计量检定、校准、检验检测、仪器维修、仪器销售。市场范围:全国市场。服务效率:提供上门检校、验证、维修、上门取送等服务。证书时效:最快3个工作日内。 专家风采 景志红华准计量检测股份有限公司 技术总工高级工程师国家一级计量标准考评员实验室认可CNAS 评审员国家计量基准评价专家小组成员国家法定技术机构考评员国家资质认定评审员国家计量产品许可证评审员四川省司法厅/司法鉴定人 1985年毕业于华中科技大学电力系电磁测量及仪器专业。1985年至2020年中国测试技术研究院工作,先后担任电学室主任、计量检测校准中心法制部部长。1987年全国计量检定人员考核 电磁学 第1名。负责国家欧姆基准的保存和国际比对 建立国家高阻计量基准并荣获国家计量局科技二等奖。高阻过渡量研制具获国家质量监督检验检疫总局标准计量技术成果奖三等奖。参与《检测校准实验室能力建设与管理》编著。 陈永康华准计量检测股份有限公司 技术副总工高级工程师国家一级计量标准考评员角度专业技术委员会委员 1975年毕业于天津大学精密仪器工程系计量仪器专业。1975年至2019年中国测试技术研究院工作,担任长度室主任,先后从事过光学仪器检定及维修,几何量各类仪器及量具的检定工作。作为第一起草人,起草过数十份国家检定规程或校准规范(JJG201、JJG34、JJG35、JJG39、 JJG109、JJG661、JJG830、JJF1100、JJF1102 等)。 何丘华准计量检测股份有限公司 技术副总工高级工程师国家一级计量标准考评员国家物理化学计量技术委员会委员国家计量许可考评员国家计量认证评审员国家实验室资质认定考评员中国计量测试学会委员 1978年毕业于四川大学化学系分析化学专业。1978 年至 2019 年在中国测试技术研究院化学研究所工作,先后担任室主任、副所长。工作期间发表过多篇理化检测论文,作为第一起草人起草离子计检定规程(JJG757)。编著有《检定与校准管理》、《检测校准实验室能力建设与管理》等相关书籍。研制国家标准物质12 种,编写标准物质研制报告 12 篇。 硬件设施Hardware facilities 标准器、辅助设施设备、标准物质均采用国内外一流产品,共计 400 余台套。主标准器及配套设备均依法溯源,其中 99% 溯源到中国测试技术研究院。建立了完善的设施设备管理制度。 实验室介绍Laboratory introduction 几何量室 几何量实验室主要负责线纹、长度和端度、角度、工程参量方面的仪器校准工作,实验室现建立的计量标准有:《钢卷尺标准装置》、《指示表检定仪标准装置》、《框式水平仪和条式水平仪校准装置》、《试验筛标准装置》等装置。现可开展校准项目 60 余项,分别有:测微量具、光栅式测微仪、指示量具、显微镜类、线纹类、端度类、超声波测厚仪、焊接检验尺、游标量具、引伸计、引伸计标定器、试验筛等。 力学室 力学室主要负责力学相关测量仪器的校准,涉及的领域有质量、容量、流量、压力、硬度、力值、转速。开展项目主要有:砝码、电子天平、机械天平、数字指示秤、非自行指示秤、玻璃量器、移液器、精密压力表、数字压力计、普通压力表、硬度计(洛氏/维氏/里氏/布氏)、拉力、压力和万能试验机、电子式万能试验机、电液伺服万能试验机、抗折试验机、流量计、离心机等。 电学室 电学实验室主要负责电磁方面仪器的校准工作。开展项目:数字多用表、多功能标准源、直流电阻箱、兆欧表、绝缘电阻测试仪、高阻计、电压表、电流表、电阻表、钳形电流表、钳形接地电阻测试仪、直流电桥、静电腕带/脚盘测试仪、直阻仪、表面电阻测试仪、在线绕组温升测试仪、直流电子负载、平板电泳仪、电池内阻测试仪、过程校验仪、交直流电表校验仪、继电保护测试仪、电火花检漏仪、秒表等。 热学室热学实验室主要负责热学类仪器的校准工作。开展项目:生物安全柜、洁净工作台、溶出度测定仪、聚合酶连反应分析仪(PCR)、真空干燥箱、各类环境检测与可靠性试验设备、熔点测定仪、箱式电阻炉、恒温槽、医用热力灭菌设备温度计、电热恒温水浴锅、廉金属热电偶、工业铂电阻、玻璃温度计、医用电子体温计、双金属温度计、各类温湿度表、温湿度控制器、变送器、记录仪、湿度传感器等。 化学室化学实验室主要负责化学检测方面仪器的校准工作。开展项目:紫外、可见、近红外分光光度计、实验室pH(酸度)计、浊度计、可燃气体检测报警器、气相色谱仪、气相色谱-质谱联用仪、傅立叶变换红外光谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、荧光分光光度计、火焰光度计、旋光仪及旋光糖量计、手持糖量(含量)计及手持折射仪、测汞仪、液相色谱仪、离子色谱仪、薄层色谱扫描仪、四极杆电感耦合等离子体质谱仪、液相色谱-质谱联用仪校准、水中油分浓度分析仪、溶解氧测定仪、水质综合分析仪、化学需氧量(COD)测定仪、总有机碳分析仪、余氯测定仪、卡尔费休库仑法微量水分测定仪、卡尔费休容量法水分测定仪、实验室离子计、自动电位滴定仪、电导率仪、分光光度法流动分析仪、酶标分析仪、粉尘采样器、大气采样器、总悬浮颗粒物采样器、硫化氢气体检测仪、一氧化碳检测报警器、烟气分析仪、澄明度检测仪、全(半)自动定氮仪、农药残留快速检测仪、水质色度仪、阿贝折射仪等。 维修维护Maintenance 基于光、机、电、磁的仪器装备,工程师均能提供上门检修服务。在分析、检测、无损探伤、医疗卫生等诸多领域,自检自修能力达 80%以上,有效提高了团队服务效率,降低了客户维护成本。 时效保障Limitation of time 公司具有检校修售一体化服务的优势,深度开展以客户需求为核心的市场开发,维护工作。以成都为中心下设五个运营保障和客服组,物流时效5小时以内。 服务行业service trade电力、石化、医疗、疾控、环境、质检、特检、生物制药、食品药品、检验检测、精密制造、建筑工程等。
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  • 广东省世通仪器检测服务有限公司,CNAS实验室认可地址:广东省东莞市道滘镇厚德上梁洲工业区四横路7号,注册号CNAS L3170 是通过国家授权认可的专门从事仪器计量、仪器校准、仪器检测第三方实验室和内校员培训机构,量具校准,量具计量、仪器检定 仪器标定...目前通过国家认可项目六百余项,可检测校准仪器设备高达几千余种,目前拥有长度、热工、力学、电学、无线电、理化、光学、声学等多个专业校准实验室。出具校准证书报告,校准合格证,符合客户审厂要求;出具的数据均可溯源至国家计量基准和国际单位制(SI),所出具的证书、报告完全满足ISO/IEC71025和ISO9000族的溯源性要求,ISO、CCC客户审核验厂年审。业务范围全国各地:广东(东莞市、广州、深圳、佛山、中山、江门、珠海、惠州、湛江、阳江)江苏、安徽、浙江、福建、江西、上海、广西、湖北、湖南、河南、北京、天津、河北、山西、内蒙古,陕西、四川、云南、贵州、重庆各地区都可安排检测下厂,仪器计量机构单位机构-世通仪器检测。
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键合对准机相关的仪器

  • 键合对准机 400-860-5168转5919
    1.产品概述:键合对准器 BA Gen4 Series 的晶圆对准晶圆功能建立在 SUSS MicroTec 掩模对准器中同样强大的掩模对准晶圆技术上。因此,BA Gen4 Series 不仅能高精度对准,还提供两衬底熔融键合的附加功能。SUSS MicroTecs 手动键合机 SB6/8 2代支持其他键合工艺。BA Gen4 Series 的用固定系统确保对准后的晶圆堆叠能够可靠传输。BA Gen4 Series 的手动操作性和简单改装性让用户能够在各种研发过程灵活使用。可供选用的对准方法覆盖大部分工艺。通过自动化功能,例如在屏幕上显示结构和自动楔形误差补偿,支持用户。2.产品优势:在光刻工艺中,只需对准器件晶圆同侧的结构(例如再布线层、微凸点 等),用顶部对准功能将掩模位置标记对准晶圆位置标记。 根据衬底的特性,这可以用存储的晶圆位置数据或者用两个现场照片 、SUSS MicroTec 开发的DirectAlign&trade 直接对准技术实现。掩模对准器的对准精度、清晰、强大的图像识别功能,即使在对比度不理想的情况下底面对准(BSA)。SUSS 掩模对准器凭借其的机械精度和稳定性带来的准确性强大的红外光源和高性能摄像系统。3.产品工艺:热键合(热键合是指两个平面基板自发粘合。 该工艺包括冲洗抛光盘,使其具备高度亲水性,然后使其相互接触并在高温下回火。 等离子体预处理工艺可使基板在室温条件下键合)自动化用于模式识别的软件辅助和自动对准自动楔形误差补偿基于Windows的直观界面,符合人体工程学,操作简单易懂
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  • 接触式光刻和键合对准一体机是一种在微电子制造领域广泛使用的设备,它结合了接触式光刻和键合对准两种技术,为芯片制造提供了高精度、高效率的解决方案。以下是对该产品的详细介绍:一、产品概述接触式光刻和键合对准一体机是一款集接触式光刻和键合对准于一体的先进制造设备。它利用光源系统发射光线,通过掩模系统将图案投影到样品上,然后利用接触式光刻的方式在样品表面形成精确的图案。同时,设备还具备键合对准功能,可以实现样品与衬底的精确对准,确保制造出的芯片具有优异的性能。二、产品特点1. 高精度:接触式光刻和键合对准一体机采用先进的控制系统和软件算法,实现了高精度的光刻和键合对准。其分辨率可达到微米级甚至纳米级,满足微电子制造领域对高精度加工的需求。2. 高效率:设备采用自动化设计,可实现连续、快速的光刻和键合对准操作。同时,设备还具备快速更换不同规格尺寸的硅片的功能,进一步提高了生产效率。3. 稳定性好:设备采用高品质的材料和精密的制造工艺,确保了设备的稳定性和可靠性。长时间运行不会出现明显性能下降或故障,保证了生产线的稳定运转。4. 操作简便:设备采用图形化用户界面设计,操作简便直观。用户可以通过简单的操作即可完成复杂的光刻和键合对准操作,降低了对操作人员技能的要求。三、主要技术指标1. 分辨率:设备的光刻分辨率可达到1μm甚至更低,满足高精度加工的需求。2. 对准精度:设备的键合对准精度可达到±1μm,确保样品与衬底的精确对准。3. 曝光方式:设备支持接触式光刻,可以在样品表面形成精确的图案。4. 光源波长:设备采用紫外光源,光源波长可根据实际需求进行选择。5. 样品大小:设备支持多种规格的硅片处理,最大可处理4英寸及以下不规则形状基片。四、应用领域接触式光刻和键合对准一体机广泛应用于半导体光电器件、功率器件、传感器、混合电路、微波器件及微电子机械系统(MEMS)等微电子制造领域。它可以用于制造集成电路、微机电系统、光电子器件等,满足各种高精度加工需求。五、总结接触式光刻和键合对准一体机是一款集高精度、高效率、稳定性好和操作简便于一体的先进制造设备。它在微电子制造领域具有广泛的应用前景,是制造高性能芯片的重要工具之一。
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  • BA Gen4系列键合对准机 400-860-5168转5919
    1. 产品概述BA Gen4 键合机在键合过程中精确对准,键合对准器 BA Gen4 Series 是专为手动对准并键合两个 200 毫米以下晶圆而设计的。选配掩模对准器工具后还可使用各种功能。BA Gen4 Series 用于先进封装、MEMS 生产以及需要亚微米级精确对准和高重复性的应用中。2. 设备用途/原理教育领域:教师可使用免费的教育工作者资源套件,轻松设置教学实验。内置培训信号能帮助学生快速学会捕获和分析信号,学生们可以学习使用先进的硬件和软件,为将来工作做好准备。例如在电子电路实验教学中,帮助学生观察和分析各种电路信号的特性。电子电路研发:可用于对电子电路的设计、调试和故障排查。对电路中的信号进行精确测量和分析,如观察信号的波形、频率、幅度等参数,验证电路的性能和功能是否符合设计要求,帮助工程师快速定位和解决电路中的问题。比如在智能手机、电脑等电子产品的电路研发中发挥作用。工业生产检测:在工业生产线上,对产品的电子部件或电路进行质量检测和监控。能够检测信号的稳定性、一致性等,确保产品的质量和可靠性。例如在汽车电子生产中,对汽车电子控制单元的电路信号进行检测。3. 设备特点高更新速率:高达 50,000 波形 / 秒的更新速率(部分型号可达 200,000 波形 / 秒),可以让用户查看更多信号细节,能够显示其他类似价位示波器可能遗漏的随机、偶发的毛刺信号和异常。丰富的测量功能:提供专业测量,包括模板、算数运算、FFT(快速傅里叶变换)、模拟总线和协议触发 / 解码等,有助于快速分析和确定信号参数。直观的用户界面:具有简单、直观的用户界面和内置帮助系统,方便用户快速上手和操作。内置的帮助选项可让用户快速了解示波器的功能,进而提高测试和学习效率。多功能集成:集示波器、频率响应分析仪(波特图)、串行协议分析仪、WaveGen 函数发生器、数字电压表和频率计数器六种仪器的功能于一身,节省资金和工作台空间。内置培训信号:预装了多个培训信号,能让用户快速掌握示波器自带的测量和分析功能,这些培训信号还可与免费的教育培训套件结合使用。软件分析能力强:标配 PathWave BenchVue 示波器软件,能够自动执行测试并收集数据,可直观地控制示波器,轻松捕获屏幕图像并记录测量数据,进行更高效的分析。灵活的连通性:部分型号内置 USB 主机端口和设备端口,方便与 PC 连接;标准 LAN 连接允许多个工程师通过网络远程控制和共享使用仪器,方便在各种场所开展项目合作。
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键合对准机相关的资讯

  • 佳能推出高精度对准晶圆测量机新品MS-001
    2023年2月21日—佳能公司今天宣布在日本推出高精度晶圆对准MS-0011半导体光刻系统的测量装置。MS-001其他对齐标记(概念图像)在包括逻辑和存储芯片在内的先进半导体的制造过程中,由于制造工艺日益复杂,晶圆的变形日益成为一个问题。为了制造半导体器件,必须精确测量晶圆变形,以便在一系列光刻系统中以高精度覆盖和暴露多层电路图案。为了确保覆盖所需的高精度,晶圆上的对准标记已从过去的较少点增加到现代工艺中的数百个点。因此,测量数百个对准标记会导致大量的时间成本,从而降低光刻系统的生产率。MS-001 允许在光刻系统外部、接收晶圆之前在一个批处理过程中执行大多数对准测量,从而通过减少光刻系统内部执行的测量次数来提高光刻系统的生产率。佳能的MS-001配备了采用面积传感器的对准镜,可实现多像素、低噪声成像,甚至可以测量低对比度的对准标记,与传统光刻系统相比,可以测量更多类型的对准标记。此外,新开发的对准镜光源使MS-001能够使用1.5倍的测量波长范围2,让用户在选择测量波段时更加自由。因此,MS-001可以比传统的半导体光刻系统更高精度地测量对准标记。结合佳能光刻Plus解决方案(2022年9月发布),用户可以将半导体光刻系统的运行状态信息与MS-001的数据进行汇总。通过使用光刻Plus将MS-001测量数据与其他收集的信息进行交叉引用和监控,可以检测到晶圆上对准信息的变化,从而允许半导体光刻系统进行自动校正。利用佳能的光刻升级版解决方案,MS-001还使系统所有者能够实现对对准测量和曝光过程的集中控制,从而降低拥有成本(CoO3).
  • 上央视!新闻联播把镜头对准了华仪宁创便携式质谱仪
    上央视!新闻联播把镜头对准了华仪宁创便携式质谱仪第二十四届中国科协年会6月26日在湖南长沙隆重开幕。中央电视台26日晚间新闻联播对会议做了报道。华仪宁创自主创新质谱仪(CRAIV-110)作为本次大会展示成果亮点、我国自主知识产权检验检测装备代表被央视镜头对准聚焦。被央视新闻联播特写的便携式质谱仪是华仪宁创依托国家重大仪器、公共安全“Dupin违法犯罪监测预警关键技术研究和应用示范”重大专项和省市科技项目支持,通过产学研合作研制的检验检测装备,可应用于毛发、尿液、血液、唾液等生物样本中Dupin、毒物等检测。目前,该成果已在全国多个省市推广应用于涉毒人员、公职人员毛发Dupin筛查,解决了现有毛发Dupin快检设备存在的“假阳性、假阴性以及检测毒品种类少”等问题,实现了比传统质谱仪分析提速30倍以上、一次进样可检测Dupin和新精神活性物质超过20种的骄人成绩,让原来只能应用于实验室的高端质谱检测技术走向了禁毒现场。公司市场部经理王佳圆向央视记者现场展示了成果20秒快速检测样品的过程。产品已荣获中国分析测试协会BCEIA金奖、宁波市“和丰奖”金奖、中国高校产学研合作十大优秀案例等奖励荣誉,被浙江省认定为先进装备制造业“国内首台套”产品,成功入选公安部《毛发Dupin检测装备推荐目录名单》。
  • 芯联集成“键合结构及其制备方法”专利公布
    天眼查显示,芯联集成电路制造股份有限公司“键合结构及其制备方法”专利公布,申请公布日为2024年7月23日,申请公布号为CN118380407A。背景技术晶圆级键合是半导体制造技术中重要的一个工艺步骤,共晶晶圆键合技术是使两表面间的键合能(Bonding Energy)达到一定强度和密封性,而使这两晶圆片结为一体。晶圆级键合主要的作用是机械保护和一定的气体氛围或真空度要求下的密封,为了保证机械强度和密封性,一般密封环占用了大量的芯片面积,尤其是考虑到键合的对准偏差,密封环还要增加面积,图1示意出现有技术中常见的一种密封环的结构,该密封环包括第一键合层100、第二键合层200和位于两侧的阻挡件300,考虑到键合的对准偏差,第二键合层200比第一键合层100单侧宽10um,密封环单侧宽度达到120μm,如图2中所示,密封环两侧宽度之和为240μm,而芯片宽度为1mm,由此两侧的密封环占据了芯片约25%的尺寸,密封环会导致单个晶圆上的芯片数目减小,不利于降低成本。发明内容本发明提供一种键合结构及其制备方法,所述键合结构包括:第一晶圆和第二晶圆;所述第一晶圆具有环形凹槽,所述第二晶圆具有环形凸起部,所述环形凹槽具有V型纵截面,所述环形凸起部具有三角状纵截面,所述三角状纵截面的顶角角度与所述V型纵截面的夹角相等;所述环形凹槽的表面覆盖有第一键合层,所述环形凸起部的表面覆盖有第二键合层,所述环形凸起部部分嵌入所述环形凹槽内,使得所述第一键合层和所述第二键合层彼此相键合。本发明所形成的键合结构,键合层不必为了减小对准偏差而增加尺寸,从而密封环可采用更小尺寸的设计。

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键合对准机相关的耗材

  • 炬管对准工具
    炬管对准工具本品用来校准负载线圈内的炬管。订货信息:所适用的ICP-MS型号部件编号NexION/ELAN 9000/6x00/DRCsWE015554
  • 主动激光束稳定系统 (激光束的调整、稳定、定位和对准,含转向镜,探测器等电子组件)
    原理简介简洁型激光稳定系统可用于抵消或纠正由振动、冲击震动、热量漂移,或其他对激光方位有不良影响的因素引起的变化。该系统可应用于所有激光设备和激光系统中。如果激光系统中有您不期望的波动或移位,而您的激光应用需要有很高的精确性和稳定性,那么激光稳定系统可帮助您来达到这一目的。 激光方位是由探测器来确定的。探测器可以是一个四象限光电二极管(4- QD) 或 一个PSD。该稳定系统只需利用用户设备中已有的高反光镜后的一小部分微弱的透射光就足以来稳固激光。 图 1 激光稳定原理 系统中的一个闭循环控制器不断探测激光光线的实际方位与应有方位的偏差,同时借助于一个快速传动装置使一个转向镜把激光光线稳定在所需位置上。 两个不同型号的系统可提供用户使用。“双轴控制系统”包括一个探测器和一个转向镜,其中转向镜可 在两个不同方向轴上转动。这样,激光的位置就可通过转向镜的转动被确定在由探测器设定的位置上。但这种情况下,激光的方向还会有偏移的可能。因为即使激光最后射到探测器上的位置虽然一致,但 该光线射到转向镜上的点位还是可以不同,所以这个系统只能定位但不能定向。相比之下“四轴控制 系统”包含两个探测器和两个转向镜。此系统中两个探测器把激光固定在两个不同的预先确定的位置 上。由此激光的位置和方向都被稳固住了。独立系统,可轻松安装到激光束路径。它的特点是简单的处理和集成。紧凑型系统可实现可靠且非常精确的光束位置和方向稳定性,并可补偿干扰。压电驱动反射镜可以放置在装置现有反射镜的位置。 我们提供用于实时稳定、对准、定位和调整激光束的系统。我们的系统极其精确、快速且非常稳定。不需要用户交互。它们配备有用的操作和安全功能,可快速集成到不同的激光器设置中。使用我们的光束稳定系统,激光始终稳定在所需的目标位置和光束方向。请不要犹豫与我们联系。我们期待在选择、规划和整合方面为您提供帮助。 技术参数典型应用非常精确、快速和可靠的光束对准主动光束位置和光束方向控制激光束指向补偿精确的运动和振动控制自动调整激光束将激光束快速传送到不断变化的应用OEM 解决方案:例如激光材料加工中的在线精度控制 特征有源闭环控制模拟系统内核以最低的相移实现最高的控制性能无需数字化步骤的最高分辨率无需用户交互,无需计算机提供 USB 接口(以太网、RS-232)和软件连续和脉冲激光器的精确定位也适用于超短脉冲激光器(ps、fs) 提供 OEM 版本优异的性价比
  • 安捷伦 Markes 热脱附备件 冷阱位置对准工具,Markes UNITY MKI-UTD-5064其他色谱配件
    冷阱位置对准工具,Markes UNITY MKI-UTD-5064标准TD 吸附管和相关采样附件说明单位部件号空不锈钢TD 管10/包C-TBE10Tenex 不锈钢管,预处理/加帽密封10/包C-TBP1TC空玻璃TD 管10/包C-GT010PTFE 插件10/包C-PL010长期TD 管储存帽10/包C-CF020Cap-LOK 工具,用于长期管储存帽C-CPLOK扩散式取样帽10/包C-DF010生物挥发性化合物呼吸气取样器10/包C-BIO10一次性卡口管,用于生物挥发性化合物10/包C-B010MTenax TA 34-60 目,10 g C-TNXTA通用疏水管,不锈钢经过预处理,且用1/4 英寸的黄铜储存帽密封,用于采集n-C5 到n-C20 的挥发性有机物10/包C-HY010CTenax/S' carb‘硫’管经过预处理,且用1/4 英寸的黄铜储存帽密封,用于气味和垃圾气体分析10/包C-102SSCCarbograph 1 不锈钢管经过预处理,且用1/4 英寸的黄铜储存帽密封,用于C5 到C14 的泵取样,加上BTX 的扩散10/包C-TBP1C1CCarb X 不锈钢管经过预处理,且用1/4 英寸的黄铜储存帽密封,用于抽吸/扩散1,3-丁二烯和苯10/包C-TBP1CXC空气毒物(TO-17) 不锈钢管经过预处理,且用1/4 英寸的黄铜储存帽密封,适用于挥发性有机化合物n-C3 到n-C12 的泵取样10/包C-AT010C通用不锈钢管经过预处理,且用1/4 英寸的黄铜储存帽密封,适用于挥发性有机化合物n-C3 到n-C30 的泵取样。10/包C-UN010C玻璃管,装有1 cm Tenax用于直接液体进样10/包C-G1CM10玻璃空气毒物(TO-17) 管预填充了两种碳吸附剂;经过预处理,且用1/4 英寸黄铜储存帽密封10/包C-GAT010CCRS BTX 标样,1 μg 10/包C-BTX1UG冷阱位置对准工具,Markes UNITY MKI-UTD-5064分流过滤管,不锈钢,3 1/2 英寸,填充活性炭MKI-SERUTD-5065
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