工业激光系统

【Gatan】697 Ilion II Datasheet 宽束氩离子抛光系统 品牌： GATAN 名称型号：氩离子抛光系统Ilion II 697制造商： GATAN公司经销商：欧波同有限公司产品综合介绍 产品功能介绍氩离子抛光系统是一个用于样品的截面制备及平面抛光的桌面型制样设备，以便样品在SEM及其它设备上进行检测分析。可利用IlionII进行抛光加工的材料种类十分广泛，包括由多元素组成的试样，以及具有不同的机械硬度、尺寸和物理特性的合金、半导体材料、聚合物和矿物等。如焊缝截面，集成电路焊点，多层薄膜截面，颗粒、纤维断面，复合材料、陶瓷、金属及合金、岩石矿物及其他无机非金属等各种材料的SEM、EBSD样品。品牌介绍美国Gatan公司成立于1964年并于70年代末进入中国市场。Gatan公司以其产品的高性能及技术的先进性在全球电镜界享有极高声誉。作为世界领先的设计和制造用于增强和拓展电子显微镜功能的附件厂商，其产品涵盖了从样品制备到成像、分析等所有步骤的需求。产品应用范围包括材料科学、生命科学、地球物理学、电子学，能源科学等领域， 客户范围涵盖全球的科研院所，高校，各类检测机构及大型工业企业实验室，并且在国际科学研究领域得到了广泛认同。经销商介绍欧波同有限公司是中国领先的微纳米技术服务供应商，是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业，总部位于香港，分别在北京、上海、辽宁、山东等地设有分公司和办事处。作为蔡司电子显微镜、Gatan扫描电子显微镜制样设备及附属分析设备在中国地区最重要的战略合作伙伴，公司秉承“打造国内最具影响力的仪器销售品牌”的经营理念，与蔡司，Gatan品牌强强联合，正在为数以万计的中国用户提供高品质的产品与国际尖端技术服务。 产品主要技术特点氩离子抛光系统采用两支具有低能聚集的小型潘宁离子枪，可提供快速柔和的抛光效果。低至100eV的离子束提供更柔和的抛削效果，用于样品的终极抛光。新型低能聚焦电极使得离子束的直径在几乎整个加速电压范围内都保持恒定。每个枪都可准确独立地将离子束对中在样品上，从而产生极高的离子抛光速率。在操作过程中，可随时改变枪的角度。通过控制气体流量可将枪电流变化范围控制在0~100mA之间。在触摸屏上通过手动或者自动方式调节气体流量使每个枪的工作电流得到最优化。 集成的10英寸彩色触摸屏计算机可对Ilion II的所有操作参数进行完全控制。此界面不仅可以设定所有参数并能够监控抛光过程。所有的操作参数还可以存为配方，调用配方可获得高精度重复实验。 涡轮分子泵搭配两级隔膜泵保证了超洁净环境。Gatan专利的气动控制Whisperlock技术能实现快速样品交换（ 1分钟），省去了换样过程中必须完全泄真空至大气的烦恼。1. 气锁装置实现快速样品交换、始终保持洁净的高真空状态2. 10英寸触摸屏可对系统进行完全控制与监测3. 配方模式的控制界面，用于一键操作4. 质量流量控制器提供精确和可重复的氩离子电流的控制5. 枪电压范围为100V到8000V的三元（阴极、阳极与聚焦极）构造潘宁离子枪6. 每个枪的抛光角度可调范围为-10度~10度，增量为0.1度7. 扇形抛光角度可变且可程序化，范围从10度~90度8. 离子枪无需零件更换，寿命超过30,000小时9. Gatan专利的样品/挡板配置，装样简单，再次抛光位置准确10. 独特的离子束调制功能，可进行扇形抛光和平面抛光11. 洁净的真空系统，分子泵与隔膜泵搭配12. 操作简单，维护方便 抛光前- 俯视SEM图CuInSe2样品 抛光90S后SEM 图 CuInSe样品 产品主要技术参数： 1、 离子枪：两个配有稀土磁铁的三元构造（阴极、阳极与聚焦极）潘宁离子枪，聚焦离子束设计,高性能无耗材2、 抛光角度： +10° 到 -10° ，每个离子枪可独立调节3、 离子束能量：100 V 到 8.0 kV4、 离子束流密度：10 mA/cm2 峰值5、 抛光速度：300 μm/h（8.0 kV条件下对于硅试样）4.2样品台6、 样品装载： Ilion专利的样品挡板, 装样简单，再次抛光位置准确，可重复使用，配合Sample Stub可直接转至SEM中观察 7、样品旋转：0.5到6 rpm连续可调8、束流调制：独特的离子束调制功能，可进行扇形截面抛光（扇形角度为10到90度可调）和平面抛光。9、样品观察：数码变焦显微镜，配有PC及Digital Micrograph软件采集图像，通过Gatan Digital Micrograph软件可进行实时成像（300x–2,200x）与图像存储和分析10、液氮冷台：配置液氮冷台，样品最低温度可达-120°C,有效减少离子束对样品造成的损伤 4.3真空系统11、干泵系统：两级隔膜泵支持80升/秒的涡轮分子泵12、压力：5x10-6 托基本压力，8.5x10-5托工作压力13、真空规：冷阴极型，用于主样品室；固体型，用于前级机械泵14、样品空气锁： 独特的Whisperlok设计，样品更换时间1Min，无需破样品室真空4.4用户界面15、10 英寸触摸屏： 操作简单，且能够完全程序化控制所有参数可进行配方操作。16、配方操作模式：自定义不同的加工参数组合，实现一键操作。 产品主要应用领域： EBSD样品制备截面样品制备金属材料（合金，镀层）石油地质岩石矿物光电材料化工高分子材料新能源电池材料电子半导体器件PCB电路版截面抛光SEM图镀锌钢板截面抛光Zn晶粒 Fe晶粒

DirectLIGHT 900系列适用于工业应用要求的直接发光二极管激光系统Wavelength波长: 915 nm to 980 nmPower功率: 100 W to 400 W主要特点? 交钥匙系统? 19英寸机架设计? 水冷? 光纤输出? 微处理操作? 顺序、模拟和TTL控制? 图形式用户界面应用? 锡焊 ? 塑料焊接? 薄金属板切割/焊接技术指标光纤耦合输出功率W100200400BPPmm*mrad10光纤尺寸μm200光纤长度，可定制m3光纤连接器SMA波长nm915/940/980驱动电压V110-230驱动电流@110VA4918驱动电流@220VA249尺寸（长*宽*高）mm(inch)266 x 482 x 89(10 x 19 x 3.5)工作温度范围°C10-45储存温度°C5-50湿度@25C75%典型散发热量W160420920典型流量l/min (gpm)1 (0.25)2 (0.5)6 (1.5)最小流量l/min (gpm)0.7(0.18)0.7(0.18)4(1.05)典型压降bar(psi)1.5(20)1.75(25)2.5(35)最大入口压力bar(psi)4(60)水温度范围°C20 - 25水过滤器μm100水质量洁净自来水，无任何添加剂

完整的DPSS激光系统和激光二极管驱动器 CEO激光系统有很宽范围的性能规格，是各种科研和工业生产应用的理想选择，比如：微加工、切割、打标、钻孔、焊接和成型等。可以配置不同的增益介质：Nd:YAG和Nd:YLF。CEO生产的所有激光系统都使用本公司的激光二极管、激光模块和控制器。产品特点输出波长：355、532、1064nm等增益介质：Nd:YAG和Nd:YLF重复率从10Hz到50kHz脉冲宽度1.5ns到250ns功率可达400W脉冲能量可达2J产品应用切割金刚石激光清洁激光测距LCD修复LIBSLIF测绘材料处理超快放大器泵浦远程探测激光光谱学 3.1 HSL系列HLS系列DPSS激光系统提供mJ级脉冲能量和优越的光束质量，重复率大于10kHz，脉冲jitter小于1.5ps。该激光系统可通过Ethernet接口进行远程控制。这种激光系统组合了短脉冲时间、固定的脉冲形状、优越的光束质量、低时间jitter和mJ级脉冲能量等特点，是LIDAR和深度测量的理想选择。特点和应用脉冲宽度1.5ns28VDC电源兼容LIDARTE M00，M21.5532或1064nm可选测绘Jitte r100ps空气冷却或水冷深度测量 HSL系列实物图 光束轮廓图 脉冲宽度（1.2ns） 规格表型号HLS-002-PMGHLS-004-PMIHLS-020-PMGHLS-040-PMI平均功率2 W4 W20 W40 W脉冲能量0.2 mJ0.4 mJ2 mJ4 mJ波长532 nm1064 nm532 nm1064 nm重复率10-50 kHz10-50 kHz10-50 kHz10-50 kHz脉冲宽度 1.5 ns 1.5 ns 1.5 ns 1.5 ns空间模式TEM00/M21.5TEM00/M21.5TEM00/M21.5TEM00/M21.5Jitter100ps100ps100ps100ps激光器尺寸17.3" x 8" x 9.2"控制接口Ethernet 3.2 Patara系列Patara系列激光器使用CEO SilentLight DPSS技术，输出TEM00模光束，具有卓越的指向性和脉冲稳定性。输出功率可达20W，是精密加工应用的理想选择。使用eDrive Nitro驱动器控制。 型号PA-016-QTGPA-020-QTGPA-020-QT激光类型DPSS Nd:YAGDPSS Nd:YAGDPSS Nd:YAG输出功率(W)16 W @ 9kHz20 W @ 9kHz20 W @ 10kHz波长(nm)532 nm532 nm1064 nm重复频率(kHz)4 kHz - 15 kHz4 kHz - 15 kHz5 kHz - 30 kHz脉宽(FWHM) 80 ns80 ns 100 ns光束质量(M2) 1.3 @ 9kHz 1.3 @ 9kHz 1.3 @ 10kHz激光空间模式TEM00TEM00TEM00激光器尺寸600 x 150 x 200 mm 3.2.1 Patara HP高功率系列高功率版本Patara HP系列在532nm波长输出功率可达200W，光束形状和参数非常适合泵浦钛蓝宝石（Ti:Sapphire）激光，是工业生产应用的理想选择。所有的激光器都完全密封在外壳中。Patara HP也可选配光纤耦合输出。型号功率输出能量波长重复频率脉冲宽度系列PA-035-QMI35 W3.5 mJ1064 nm10 kHz 200 nsPatara HPPA-050-QMG50 W5 mJ532 nm10 kHz 250 nsPatara HPPA-050-QMI50 W5 mJ1064 nm10 kHz 200 nsPatara HPPA-100-QMG100 W10 mJ532 nm10 kHz 150 nsPatara HPPA-100-QMI100 W10 mJ1064 nm10 kHz 200 nsPatara HPPA-150-QMI150 W15 mJ1064 nm10 kHz 200 nsPatara HPPA-200-QMG200 W20 mJ532 nm10 kHz 150 nsPatara HPPA-250-QMI250 W25 mJ1064 nm10 kHz 200 nsPatara HPPA-400-QMI400 W40 mJ1064 nm10 kHz 220 nsPatara HP 3.2.2 IKLWAIKLWA属于Parata系列激光器，但是更为经济的方案，功率可达12W，光束圆度大于85%。 功率能量波长重复率脉冲宽度12W1.3mJ532nm9 kHz 120 ns 3.2.3 Patara™ -HP-YLF高能量高重频Nd:YLF激光器@ 50mJ / 527nm / 1kHzPatara™ -HP-YLF 高能量高重频Nd:YLF激光器@ 50mJ / 527nm / 1kHz 是CEO公司在2016年新推出的一款针对高能量、高重频泵浦需求的设计的一款激光器。通过优化设计，该激光器可以输出非常均匀的放大光束，以及超高的长时间稳定性。输出功率50W，单脉冲能量50mJ,该激光器在高重频、飞秒钛宝石太瓦激光器系统泵浦上有非常大的应用。 Patara™ -HP-YLF系类参数表型号PA-030-QMGFPA-040-QMGFPA-050-QMGF激光类型DPSS Nd:YLFDPSS Nd:YLFDPSS Nd:YLF重复频率单次- 5 KHZ单次- 5 KHZ单次- 5 KHZ波长(nm)527527527输出功率(W)/每个振荡器100(1)200(1)30(2)输出能量(mJ)@1KHZ304050空间模式多模多模多模光束直径(mm)@输出窗口@1KHZ3.53.53.5发散全角(mrad)@1KHZ8.08.08.0指向稳定性(urad)505050脉宽FWHM(ns) 150 ns 150 ns 150 ns脉冲能量稳定性@1KHZ% (RMS)0.50.50.58小时功率稳定性@1KHZ% (RMS)1.01.01.0偏振水平水平水平工作温度 ℃18-3018-3018-30 3.2.4 Patara-HP-PIVPatara-HP-PIV高能量、高重频、高功率的DPSS激光器是CEO公司在2016年针对粒子图像测速（Particle Image Velocimetry:PIV）的应用推出的一款新型激光器，该激光器由两个独立的谐振腔组成，针对PIV应用进行了优化设计，单腔的能量可以达到50mJ@1KHZ, YLF，单腔的功率可以达到200W@10KHZ@532nm。同时，该激光器具有超高的能量稳定性以及超长的激光器寿命。该激光器还可以实现远程控制。 该激光器中的两个振荡器和组束系统共用一个光路系统，因此可以保持卓越的机械稳定性，每一个振荡器都可以为单独使用（可以内触发和外触发），给客户提供尽可能的延时选择性 Patara-HP-PIV系类参数表 型号PA-100-QMG-PIVPA-200-QMG-PIVPA-030-QMG-PIVPA-040-QMG-PIVPA-050-QMG-PIV激光类型DPSS Nd:YAGDPSS Nd:YAGDPSS Nd:YLFDPSS Nd:YLFDPSS Nd:YLF重复频率1KHZ - 50 KHZ1KHZ-30KHZ单次- 5 KHZ单次- 5 KHZ单次- 5 KHZ波长(nm)532532527527527输出功率(W)/每个振荡器100(1)200(1)30(2)40(2)50(2)输出能量(mJ)/每个振荡器10(1)20(1)30(2)40(2)50(2)空间模式多模多模多模多模多模光束直径(mm)@输出窗口3.543.53.53.5发散全角(mrad)5.08.08.08.08.0指向稳定性(urad)5050505050脉宽FWHM(ns) 150 150 150 150 150脉冲能量稳定性% (RMS)1.51.50.50.50.5008小时功率稳定性% (RMS)2.02.01.01.01.0偏振圆偏振圆偏振圆偏振圆偏振圆偏振工作温度 ℃18-3018-3018-3018-3018-30说明：(1)在10KHZ下测量 (2)在1KHZ下测量 3.3 Gigashot系列Gigashot激光系统是一种新的DPSS Nd:YAG激光器，在1064nm波长110Hz重复率下单脉冲能量达320mJ。一个非稳定激光振荡器和两个偏振补偿QCW泵浦模块的输出光具有高空间一致性和低发散角。即使在高频和高平均功率下，泵浦模块之间的双折射补偿消除了任何的低阶depolarization损耗并确保了优越的光束质量。Gigashot激光器使用长寿命激光二极管巴条，是科研、工业和医学应用的理想选择。激光二极管提供两年/10000小时工作时间质保。另外还能提供定制服务。特点和应用320mJ@1064nm, 10ns, 110Hz二极管泵浦输出光束质量不随时间变化1064, 532, 355nm波长可选高效率eDrive驱动器和数字远程控制低维护成本长寿命巴条 规格表型号GS-320-QMIGS-150-QMGGS-100-QMU平均功率W2 W4 W20 W脉冲能量mJ320150100波长nm1064532355重复率Hz110110110脉冲宽度ns999空间模式高斯拟合90%90%90%Jitter(ns)1.51.51.5激光器尺寸in39.2 x 18.2 x 6.89 3.3.1 Gigashot Mini经济型系列Gigashot Mini为经济型系列DPSS激光器，在1064nm提供25mJ单脉冲能量，在532nm提供8mJ单脉冲能量，使用eDrive Nitro驱动器供电控制。它工作可靠，封装坚固，容易集成到设备中，是工业生产应用的理想选择。 型号ACL-025-QTIPACL-008-QTGP激光器类型DPSS Nd:YAG (空气冷却)DPSS Nd:YAG (空气冷却)功率2.5 W0.8 W输出能量25 mJ8 mJ波长1064 nm532 nm重复率100 Hz100 Hz脉冲宽度 (FWHM) 15 ns 10 ns光束发散度 2 mrad 2 mrad光束质量 (M2) 2 2输出稳定性（8小时） 2% rms 2% rms偏振HorizontalVertical尺寸13.44 x 5.46 x 8.35 inch13.44 x 5.46 x 8.35 inch 3.3.2 GigashotTM L系列GigashotTM L系列的DPSS激光器是CEO公司针对激光雷达（LIDAR）应用的客户设计的。该激光器的能量输出可以到达125mJ@355nm@100HZ，或者125mJ@355nm@100HZ。GigashotTM L的激光器是基于MOPA结构，所有的光机械的设计都是全部按照CEO的加固机载激光器标准搭建的，因此激光器具有非常高的稳定性，无需客户进行调整，使得该激光器非常适用于实验室、移动、和激光雷达的应用。激光器具有超高的能量稳定性和超长的寿命，激光二极管保修期可以达到2年/10,000小时。 GigashotTM L系列参数表： 型号GSL-025-QTIGSL-018-QTGGSL-012-QTU激光类型DPSS Nd:YAGDPSS Nd:YAGDPSS Nd:YLF重复频率100HZ100HZ100HZ波长(nm)1064532355输出能量(mJ)250250250平均功率(W)251812脉宽FWHM(ns) 10 10 10空间模式多模多模多模光束直径(mm)@输出窗口6±15.5±15.5±1发散全角(mrad)1.81.01.0光束质量M2345脉冲能量稳定性% (RMS)1.51.50.5时域抖动(ns)*222长期稳定性@8小时2.02.02.0偏振线偏振线偏振线偏振工作温度 ℃18-3018-3018-30 3.3.3 Gigashot HE 高能量系列（2J和10J）Gigashot HE是高能量短脉冲DPSS Nd:YAG激光系统，高效率超长寿命QCW泵浦二极管允许多达数十亿次发射。激光器使用主振荡功率放大器（MOPA）配置获得近场平顶剖面光束。激光器在532nm输出2J以上能量。另外新推出一款新的更高能量的DPSS激光系统，在1053nm提供10J以上脉冲能量，在527nm提供5J 能量。该产品已经成功应用在世界上大型的激光装置，如欧洲ELI装置，美国HPLSE装置。 型号GS-4000-QMIGS-2000-QMGGS-10000-QMIGS-5000-QMG激光器类型DPSS Nd:YAGDPSS Nd:YAGDPSS Nd:YLFDPSS Nd:YLF脉冲能量4J2J10J5J波长1064 nm532 nm1053 nm527 nm重复率10 Hz10 Hz20 Hz20 Hz脉冲宽度 (FWHM)10 ns 10 ns25 ns25 ns光束直径15.5 mm15.5 mm22 mm22 mm空间模式近场平顶剖面近场平顶剖面近场平顶剖面近场平顶剖面输出稳定性（8小时）1% rms1% rms1% rms1% rms偏振水平垂直水平垂直尺寸1970 x 1220 x 340 mm1970 x 1220 x 340 mm1970 x 1220 x 340 mm1970 x 1220 x 340 mm