锐影射线衍射仪

作为马尔文帕纳科第三代Empyrean锐影，该多功能X射线衍射仪的“MultiCore”多核光路系统，无需人工干预即可实现多种类的不同测量。 Empyrean 锐影具有在一台仪器上测量多种类样品的能力，无论是粉末、薄膜还是纳米材料与固体物体。Empyrean 锐影X射线衍射仪能确保为每个样品类型提供稳定可靠的数据质量。特点每个样品的高数据质量Empyrean 锐影能够帮助用户更好地准备同步加速器光束时间。 Empyrean 锐影的样品台和光学组件库允许以多种方式展开应用：从简单地将一些狭缝和分析软件添加到标准衍射几何，到使用专用光学器件、光源和探测器来得到高性能。 它是多功能实验室的理想选择：如果某种应用的需求增加，则可以通过添加专用模块来改进数据质量和吞吐时间。用途多样且面向未来分析需求常常随着研究计划的转向而改变。 可以将新的应用轻松添加到 Empyrean 锐影系统，并实现高性能。像素式技术马尔文帕纳科一直致力于研究混合探测器技术。我们的混合探测器（PIXcel3D 与 GaliPIX3D）像素尺寸小、零背景、动态范围高。通过光学选项与运行半径，您可优化配置以达到符合您要求的状态。MultiCore Optics“MultiCore Optics”多核光路系统引入了“iCore”入射核和“dCore”探测核，大大简化了多功能X射线衍射系统的使用，使仪器的自动化达到了更好水平。 在不同测量之间的切换时，iCore和dCore将自行负责转换工作，不需要人为干预。PreFIX凭借 PreFIX 概念，您的衍射系统变得灵活、快速且面向未来。 凭借可再现的、微米级精度的可再现定位，PreFIX 光学器件和样品台安装法允许对衍射仪进行重新配置。 这让用户能够于数分钟内在不同应用间进行切换，从而让 Empyrean 锐影成为了一台多用途衍射仪。良好的实验室实践Empyrean 锐影配备了无需校准的 PreFIX 模块、测量和分析自动化功能，任何遵守实验室规范作业 (GLP) 的人都可以轻松进行操作。 此外，Empyrean锐影产品包涵盖全面 - 从硬件到专用分析解决方案 - 随附了新手用户的详细教程，而专业人士也可获得所有需要的功能。X 射线衍射的自定义解决方案Empyrean 锐影是多用途仪器，能支持一系列应用。 马尔文帕纳科希望协助用户进行材料研究。 我们可以为他们的复杂分析问题提供合适的解决方案或低成本生产流程。 如果您对样品杯和样品台、光学模块、分析技术有任何想法，可将您的要求告知马尔文帕纳科销售代表；或如果您需一个针对衍射研究的专用解决方案，请提出请求。 我们可以一起为新需求探究解决方案。

特点Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪，使用Omega扫描和Theta扫描方法以及摇摆曲线测定各种晶体的方位。大而宽敞的设计可以容纳长达450毫米和30公斤的重量和样品架。所有的测量都是自动化的，可以通过用户友好的软件界面进行访问。利用Omega扫描，可以在晶体旋转(5秒)中确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只产生一个方向分量。可以非常精确地确定倾斜角度，使用Theta扫描到0.001°。对于所有其他的晶体方向，精度取决于垂直于表面的角差。该系统是模块化的，并配备了许多不同的扩展用于特殊目的，如形状或平面的确定，绘图和不同的样品架。样品的倾斜度是通过光学测量来检测的，可以用来校正最终的方向。单晶衍射仪 Omega扫描图（SiC） 涡轮叶片，一个方向组件的映射图 (Si, Ge)晶圆，定向图 晶格参数映射图 全自动单晶完全晶格取向测量使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量自动摇摆曲线测量衍射仪的角分辨率：0.1弧秒。样本大小可达450毫米适合于生产质量控制和研究用户友好和成本效益样品处理方便，操作方便先进的,用户友好的软件低能耗，低运营成本模块化设计和灵活性各种升级选项定制用户的需求Omega/Theta X射线衍射仪的应用具有多种几何形状和大小的样品 单晶的工业合成从大而重的晶体开始，到小块如晶圆或坯。实验生长产生微小的圆柱体。根据材料和产量的不同，晶体样品可以表现出多种尺寸和几何形状。Omega/Theta X射线衍射仪可以处理大块钢锭或钢球和实验合成的微小晶体。非线性光学材料(NLO)：晶体质量和定向 与典型的无机金属、半导体和绝缘体相比，NLO材料具有更复杂的晶体结构和更低的对称性。这种结构创造了一个高度各向异性的环境，光通过晶体，并导致他们的特殊性质。这些晶体通常被切割成尺寸在毫米范围内的小棒，作为频率倍增器和光学参量振荡器的有源元件。对这种小晶体的表面质量测定常常可以揭示晶体内部的结构缺陷和裂纹。这些材料的大单位晶胞是Omega扫描方法的一个挑战。我们能够确定许多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的Omega扫描参数的最重要的方向。对Omega/Theta的设计进行了一些特殊的修改，以涵盖几种不同材料的NLO能力。平面方向的标记和测量 Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。在晶圆片的注入和光刻过程中，平面或凹槽作为定位标记。经过加工后，晶圆片携带数百个芯片，需要通过切割将其分离。晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平台或缺口的位置是必要的。为了确定平面或缺口的位置，必须测量平面内的部件。该仪器通过旋转转盘，可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。这简化了将标记应用到特定平面方向的任务，例如必须定义平面方向时。对于高吞吐量应用程序，可提供自动测量解决方案。摇摆曲线:晶体表面评价 摇摆曲线测量对晶格内的缺陷和应变场很敏感。将这种技术与映射阶段相结合，可以扫描晶体表面并确定缺陷区域。在晶格匹配的薄膜中，摇摆曲线也可以用来研究层厚、超晶格周期、应变和成分剖面、晶格失配、三元结构和弛豫。晶圆片表面必须达到非常高的清洁和均匀性标准。制造商正努力使晶体的位错和缺陷尽可能少。特别是在碳化硅方面，消除错位为这种材料提供了新的应用领域。通过装备一个具有映射阶段和双晶体的Omega/Theta衍射仪，可以测量晶体表面某一反射的摇摆曲线映射。图像显示的结果，这种映射的碳化硅晶圆。晶圆片的内部呈现出两到三倍于摇摆曲线的FWHM。这可能与表面划痕或生长缺陷有关。

技术特点▼u 全自动的垂直三轴衍射仪，使用Omega扫描和Theta扫描方法以及摇摆曲线测定各种晶体的方向。配备可容纳长达450毫米和30公斤的样品及样品架；u 自动化测量，并通过定制软件进行访问。利用Omega扫描，可在晶体旋转(5秒)中确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只产生一个方向分量；u 精确地确定倾斜角度，Theta扫描精度达到0.001°；u 模块化系统，并配备了多功能需求扩展。 行业应用▼具有多种几何形状和大小的样品 根据材料和产量的不同，晶体样品可以表现出多种尺寸和几何形状。Omega/Theta X射线衍射仪可以处理大块钢锭或钢球和实验合成的微小晶体。非线性光学材料(NLO)：晶体质量和定向 与典型的无机金属、半导体和绝缘体相比，NLO材料具有更复杂的晶体结构和更低的对称性。这些晶体通常被切割成尺寸在毫米范围内的小棒，而对这种小晶体的表面质量测定常常可以揭示晶体内部的结构缺陷和裂纹。通过对Omega/Theta的设计进行的一些特殊的修改，我们的定向仪能够确定许多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的的晶向。平面方向的标记和测量 Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。 摇摆曲线：晶体表面评价 摇摆曲线测量对晶格内的缺陷和应变场很敏感。将这种技术与映射阶段相结合，可以扫描晶体表面并确定缺陷区域。通过装备一个具有映射阶段和双晶体的Omega/Theta衍射仪，可以直接测量晶体表面某一反射的摇摆曲线映射。如下图显示的结果，这种映射的碳化硅晶圆片的内部呈现出两到三倍于摇摆曲线的FWHM。这可能与表面划痕或生长缺陷有关。