精密平台无气垫

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  • 苏州飞时曼精密仪器有限公司 金牌1年
    400-860-5168转4296
    苏州飞时曼精密仪器有限公司成立于2013年，坐落在美丽的苏州高新区科技城，注册资本3300万，是一家起点高、前瞻性强的研发和制造型高科技企业。公司的核心研究方向为光、机、电、算一体化的微纳米检测设备、先进的医疗仪器，2015年，公司获得江苏省高新技术企业认证，拥有自主知识产权30多项，研发的多款产品被评为高新技术产品，并通过CE、ISO9001、SGS认证。公司坚持以核心自主专利为基础，高精度微纳米检测仪器产品为核心龙头，技术研发、产品销售、产业升级、技术延伸为赢利点，整合国内外的大学、研究所和企业，打造综合性产业集群。国内方面，先后与南京大学联合成立“微纳米测试技术研究中心”，与中科院苏州医工所联合成立“生物医疗工程技术中心”，与江南石墨烯研究院联合建立“石墨烯检测平台；国外方面，公司与美国AmScope公司、英国Cambridge Microscope公司、意大利ORMA公司、印度Dewinter公司等达成了全球性战略合作。飞时曼的发展宗旨就是：不断创新，不断突破。不久的将来，公司在技术层次、核心竞争力方面，都将达到国内领先水平，逐步缩小与国际先进水平的差距，打造成为国际知名品牌。我们将从高科技产品的新起点上出发，逐步树立在全国乃至世界上的地位，全面参与国际竞争，为中国的民族工业做出贡献。
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  • 上海和伍精密仪器股份有限公司
    上海和伍精密仪器股份有限公司（证券简称：和伍精密 证券代码：837263）毗邻上海交通大学闵行校区，位于沧源科技园零号湾内，是和伍智造营旗下，以超声无损检测标准定制服务提供商为定位，专注于超声无损检测仪器设计、系统集成及技术服务的科技创新型企业。现已通过ISO9001:2015质量管理体系认证。 公司围绕不同行业的应用需求，可为客户提供超声无损检测仪器定制、检测标准定制、检测方案及夹具定制服务。现已形成S100标准机型、S200大构件机型、S300高速机型及S400小型机，产品已通过CE、CSA认证，可满足低压电器焊接质量检测、金刚石缺陷和厚度测量、水冷板散热器检测、半导体封测等行业需求。 公司秉承“和不同”的经营理念，与上海交通大学、浙江大学、浙江加州国际纳米技术研究院等高校、科研院所建立产学研合作关系。海纳百川、汇聚天下英才，公司内部建设了一支来自上海交通大学、北京有色金属研究总院等国内知名院校、科研院所的技术团队，紧紧围绕客户需求，持续创新。公司现已申请PCT专利1项，获得发明专利16项，实用新型42项，软件著作权1项，商标注册权27项，先后承担了上海市科技型中小企业技术创新资金1项、闵行区中小企业技术创新计划项目1项。于2015年度在全国规格最高、影响力最大的第四届中国创新创业大赛中获得优秀奖。于2018年通过科技型中小企业评价。 目前，公司市场营销网络已覆盖全国大部分地区，并借助和伍智造营（美国）、和伍智造营（德国）的布局，逐步向北美及欧洲等市场拓展。公司产品进入施耐德电气、美国西门子、美泰乐、温州宏丰（股票代码：300283）、环宇集团、天正电气、江信超硬材料、浙江大学、固电半导体等企业。公司凭借优异的产品性能，完善的应用服务深受客户好评。 上海和伍精密仪器股份有限公司公司地址 上海市剑川路953弄322号1楼116室021-公司网址 www.ihisonic.com固定电话 86-21-54849172证券代码 837263税号 91310000051248022J
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  • 武汉中弘精密机械有限公司
    武汉中弘精密机械有限公司是一家专业从事精密隔振光学平台研发、制造、销售于一体的高新技术企业，依托光电子技术行业背景，致力为国防科技工业及科研院校提供高精密基础实验装备。公司自主研发的光学面包板、光学平台仪器架、固体阻尼光学平台、气浮隔振光学平台、自水平光学平台、特制光学平台等产品广泛应用于航空、航天、微电子、大规模集成电路、量子光学、纳米技术、集成光电子学、生命科学、植物生理学、医学分子生物学、微细加工光学、波谱与原子分子物理、超导材料、高分子物理与化学、声学等新兴领域对隔振有着更高精度、更高性能和更高要求的场合。台面均采用高导磁不锈钢及优质中碳钢相结合钢质蜂窝式的台体，着重体现其高强度、低重量及优异的模态感应和隔振性能，用于各不同系列型号的隔振支撑，均能给平台台体提供优异的减振性能，以满足用户进行不同要求的高精度光学实验。本公司现在生产的光学平台平面精度高、隔振性能强，生产标准全部执行德国FESTO元器件，保证光学平台的灵敏度和精度，已成为国内专业的光学平台研发中心及生产基地。
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  • 精密阻尼隔振光学平台 400-628-5299
    OTR系列精密阻尼隔振光学平台 特点：● 标准台面，厚度100/200/300mm● 采用专业级精密阻尼减振器，比起标准阻尼隔振垫，隔振性能进一步大幅提高● 固有频率最小可达5Hz● 科研级（精密级）阻尼隔振光学平台技术指标：● 台面结构：三层夹心结构● 台面：4～6mm厚铁磁不锈钢● 台面内部支撑：钢制井字形蜂窝状支撑结构● 底面：4～6mm厚碳钢，表面喷黑塑处理● 侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，四角用不锈钢钢板包角说明：OTR(Optical Table ：Ragid) 系列平台为卓立汉光最新推出的精密阻尼隔振光学平台，整体高度800mm，分为台面和支架两部分。台面厚度根据尺寸设计为：100/200/300mm，具有很好的硬重比和刚性。上台面采用精密磨削工艺，台面的平面度达到0.02 ～0.05mm/600mm× 600mm，台面上按照25mm× 25mm 孔距均布M6 螺纹孔，方便安装各类位移台和调整架。支架采用整体焊接式四或六支撑结构，支撑腿上方采用精密阻尼减振器，下方采用标准阻尼隔振垫。具有非常优秀的隔振性能，大幅领先于普通阻尼隔振平台。支架带可升降高度机构和脚轮，方便移动和调整。该系列产品属于科研级（精密级）阻尼隔振光学平台，填补了国内无精密阻尼隔振平台的空白。 ● 厚度：100/200/300mm，详见选型表● 平面度：0.02～0.05mm/600mm× 600mm，高于国外同类产品● 隔振材料：精密型专业阻尼减振器和标准阻尼隔振垫● 固有频率：＜5～8Hz，大幅领先于普通阻尼隔振平台● 支架：整体焊接式支架，带高度调整机构和脚轮，方便移动和调整。● 台面加支架总高度800mm，总高度可调范围：-20～+20mm● 孔距：25mm× 25mm● 孔径：M6● 重量：100mm厚台面约：120Kg/m2200mm厚台面约：140Kg/m2300mm厚台面约：167Kg/m2精密阻尼隔振光学平台细节说明： 专业级精密阻尼减振器，隔振性能大幅提高 脚轮 不锈钢包角 整体焊接式支架其它配件：扳手水平仪精密阻尼隔振光学平台选型表：产品型号整体规格（mm）台面厚度(mm)台面自重(Kg)桌腿截面积(mm)支架高度(mm)备注OTR06-06600× 600× 80010041100× 1007004支撑OTR075-075750× 750× 80010065100× 1007004支撑OTR09-06900× 600× 80010060100× 1007004支撑OTR10-071000× 700× 80010081100× 1007004支撑OTR10-081000× 800× 80010090100× 1007004支撑OTR12-081200× 800× 800100106100× 1007004支撑OTR15-091500× 900× 800200190200× 2006004支撑OTR15-101500× 1000× 800200206200× 2006004支撑OTR16-091600× 900× 800200200200× 2006004支撑OTR18-121800× 1200× 800200297200× 2006004支撑OTR20-102000× 1000× 800200289200× 2006004支撑OTR20-122000× 1200× 800200332200× 2006004支撑OTR24-122400× 1200× 800200393200× 2006004支撑OTR30-103000× 1000× 800200426200× 2006006支撑OTR30-123000× 1200× 800300598200× 2005006支撑OTR30-153000× 1500× 800300739200× 2005006支撑OTR35-123500× 1200× 800300700200× 2005006支撑OTR35-153500× 1500× 800300865200× 2005006支撑OTR40-154000× 1500× 800300989200× 2005006支撑OTR48-154800× 1500× 8003001185200× 2005006支撑台面最大尺寸为4800mm× 1800mm，如需更大尺寸平台，可采用拼接技术
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    厂商： 北京卓立汉光仪器有限公司
    品牌： 卓立汉光/ZOLIX
    型号： OTR系列
    价格： 2万元
  • 精密主动隔振光学平台DVIA 400-628-5299
    DVIA主动隔振光学平台DVIA-MB，专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台精密主动隔振光学平台DVIA特点： 具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm 进口精密主动隔振光学平台 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ,半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等 精密主动隔振光学平台DVIA技术指标: 固有频率：0.5-100Hz 自动平衡，响应时间短，平衡速度快 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm2 表面平整度：±0.1mm /600 mm2 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢 底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理 边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料 孔径： M6 (英制螺孔可选) 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘37.5mm 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁 阻尼隔振方式：宽带阻尼
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    厂商： 北京卓立汉光仪器有限公司
    品牌： 卓立汉光/ZOLIX
    型号： DVIA
    价格： 1万 - 3万元
  • DRR系列精密双频阻尼隔振光学平台 400-628-5299
    DRP 系列是卓立汉光*新推出的新型双频阻尼隔振平台，引入双频阻尼隔振系统，具有更合理的刚性、更小的固有频率和更好的隔振性能。DRP 系列结构上采用：P 型双频阻尼隔振系统、整体焊接支架（带脚轮）、标准铁磁不锈钢台面，整体高度800mm，分为支架和台面两部分。台面整体为三层夹心式蜂窝结构，采用焊接工艺（非胶粘工艺），没有松动、开裂、脱落等困扰。上台面材料为SUS410 铁磁不锈钢，具有较好的耐腐蚀性能。厚度根据尺寸设计为：100/200/300mm，具有很好的硬重比和刚性。台面采用精密磨削工艺，台面的平面度达到0.02~0.05mm/600mm×600mm，台面上按照25mm×25mm 孔距均布M6 螺纹孔，方便安装各类滑台和调整架。支架采用整体焊接四支撑结构（3 米及3 米以上为六支撑），支撑腿上方引入双频阻尼隔振系统，支撑腿下方采用阻尼隔振垫，具有较好的隔振性能，固有频率通常小于6~15Hz，适合精密隔振要求环境中使用。支架带脚轮，方便移动和搬运。调整高度机构在每个支撑腿下方，可解决地面不平引起的支架扭曲、变形等现象。DRP 系列产品刚性高、稳定性好、隔振效果突出，适合于绝大部分光学实验使用，能兼顾教学和科研领域的应用。特点：• 引入双频阻尼隔振系统，具有更小的固有频率和更好的隔振性能，固有频率通常小于6~15Hz。• 整体焊接支架，具有更好的刚性和稳定性，支架下方带高度调整机构和脚轮，方便调整和搬运。• 台面材料为SUS410铁磁不锈钢，具有较好的耐腐蚀性能。• 台面厚度100/200/300mm，具有很好的硬重比和刚性，侧面采用黑色铝塑板包边，美观、实用。• 教学和科研可兼顾的阻尼隔振平台。DRP系列标准双频阻尼隔振平台TM技术指标：• 台面结构：三层夹心式蜂窝结构• 上台面：4~6mm厚SUS410铁磁不锈钢• 台面内部支撑：钢制井字形蜂窝状支撑结构，焊接工艺，强度高• 下底面：4~6mm厚碳钢，表面喷黑塑处理• 侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，美观、实用，四角用不锈钢板包角• 台面厚度：100/200/300mm，详见选型表• 平面度：0.02~0.05mm/600mm×600mm，高于国外同类产品• 隔振材料：P型双频阻尼隔振系统• 固有频率：＜6~15Hz，同负载和实际使用情况相关• 支架：整体焊接四或六支撑结构（3米为六支撑），具有更好的刚性和稳定性。支架下方带高度调整机构和脚轮，方便移动和调整• 台面加支架总高度800mm，总高度可调范围：-10~+15mm• 孔距：25mm×25mm• 孔径：M6• 重量：100mm厚台面约：120Kg/m2200mm厚台面约：140Kg/m2300mm厚台面约：167Kg/m2细节说明： 其它配件：DRP系列标准双频阻尼隔振平台TM选型表：
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    厂商： 北京卓立汉光仪器有限公司
    品牌： 卓立汉光/ZOLIX
    型号： DRR
    价格： 2.85万元
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  • 上市新平台 腾飞新起点
    天瑞仪器2011年展望：上市新平台 腾飞新起点天瑞仪器董事长 刘召贵博士　　尊敬的各位朋友：　　大家新年好!爆竹声中一岁除，东风送暖入屠苏。借此机会，感谢一直以来支持和关注天瑞仪器的社会各界人士。恭祝大家新春快乐，生活万事如意，家庭幸福美满，事业财源广进!　　展望2011，上市后的天瑞仪器通过融资，可以拥有更加充沛的资金去提高自身短缺的部分。天瑞仪器2011年主要发展方向为手持式智能化能量色散X射线荧光光谱仪产业化项目、研发中心与营销网络及服务体系建设等项目。具体来说主要有如下三个发展计划：　　(1)手持式智能化能量色散X射线荧光光谱仪产业化：手持式产品是全球化学分析仪器发展的重要技术方向和发展趋势，市场快速成长，规模不断扩大。公司研发团队，通过综合运用光、机、电等多项技术，自主研发出的手持式能量色散X射线荧光光谱仪，具备较强的便捷性，能较好的满足地质、矿业、合金、环保、冶金等行业的户外、现场分析的需求，快速、简便、精准，具有较大的行业应用前景和市场发展潜力。手持式产品产业化项目完成后，公司将具备年产600台手持式X射线荧光光谱仪系列产品的生产条件和生产能力，将快速推动公司进入手持式X射线荧光光谱仪市场，为公司主营业务拓展开辟全新盈利增长点。　　(2)研发中心项目：公司的快速发展给公司研究能力和研发效率带来了挑战，研发中心项目的建设将使公司具备超精密部件的研发能力，全面提升公司硬件、软件研发的效率，满足公司研发团队扩展、基础技术研究、产品技术升级、新产品开发及国际技术合作等方面的要求。　　(3)营销网络及服务体系建设：通过该项目，公司将成功的“5S区域营销中心”模式复制至公司主要的销售市场，以“5S区域营销中心”为核心，通过销售网点和总部管理体系的建设，形成覆盖国内主要客户聚集区域的营销网络和服务体系，大幅增强客户市场渗透力、产品的销售能力、技术服务能力、综合管理能力，不断扩展优势产品市场和新领域的应用，为各行业客户提升效率，创造价值。　　挑战和机遇并存，天瑞仪器将立足新平台，迈出新的步伐。也一定无愧于各位朋友对我们的支持。天瑞仪器，与您携手同行，再攀高峰。　　谢谢!
    时间： 2011-02-15
    作者： 丰收秋天
  • 一平台两中心，先进精密仪器创新平台来了！
    12月30日，LinkPark（滨河）产业社区及先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台启用仪式在杭州青山湖科技城隆重举行，杭州市人大常委会副主任、临安区委书记卢春强，市政府副市长柯吉欣，市政府党组成员、杭州城西科创产业集聚党工委副书记、管委会主任李玲，临安区区委常委、青山湖科技城党工委书记蔡萌等出席启用仪式，杭州市委组织部、市经信局、市科技局、临安区有关部门等领导一行参加活动。 为深入推进中国先进精密仪器产业发展，杭州谱育科技发展有限公司（聚光科技旗下自孵化子公司）携手杭州青山湖科技城，搭建“一平台两中心”——先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台、先进精密仪器创新中心、工程师协同创新中心，争取国家和省市资源，围绕产业链部署创新链，合力打造先进精密仪器全产业链的创新策源高地。先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台一平台两中心打通创新链 在仪器创新的研究、工程化、产业化链条上，工程化阶段成为创新链上的瓶颈和产业破局的关键，通过建设高水平、全链条的先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台，打通创新链、带动产业链，形成支撑仪器整机、核心零部件、试剂耗材、技术服务、高端专用仪器与系统五位一体的产业集群服务能力，打造“面向世界、引领未来、服务全国、带动全省”的先进精密仪器全产业链共性技术研发与工程化创新策源地。 带动产业链 先进精密仪器创新平台启用后，将加速区域内仪器技术创新研究成果的工程化、产业化进程，孵化培育一批生命科学、半导体、先进工业、新材料、食品药品、环境安全等领域的产业项目，加速集聚龙头企业，促进在杭州城西科创大走廊带动先进精密仪器产业集群，打造具备全球竞争力的中国“仪器谷”。 面向世界科技前沿，为我国科研院校与企业创新实验室，开发高端质谱、光学、色谱、电镜等科学仪器。 面向经济主战场，为我国新材料与先进制造业，开发高端智能品控、在线监测分析自动化系统。 面向国家重大需求，为半导体、先进工业等行业，解决“卡脖子”关键技术和高纯检测设备国产化。 面向人民生命健康，开发食药品检验、环境安全监测、生命科学分析与精准医学诊断先进解决方案。 五位一体：打造仪器整机、关键零配件、耗材与试剂、技术服务、高端专用系统集成五位一体的全产业链生态。
    时间： 2020-12-31
    作者： 杭州谱育科技
  • 联公精密测量与东南大学联手实现科技仪器自主平台
    （从左到右分别为，联公精密测量联合创始人陈方，首席科学家马蒂亚斯，东南大学仪器科学与工程学宋爱国教授。）3月14日，为深入贯彻落实加强基础研究，实现高水平科技自立自强，建设世界科技强国的方针。《溅射技术在高精度力学传感器上的应用》技术研讨会在东南大学召开。此次技术研讨会校企合作，协同创新，实现科技仪器设备的自主可控搭建平台。由东南大学机器人传感与控制技术研究所、中国仪器仪表学会力触觉感知与交互专业委员会与IEEE机器人与自动化学会南京分会主办，联公精密测量技术（合肥）有限公司协办。在研讨会上，联公精密测量有限公司的首席科学家，马蒂亚斯与联公精密测量联合创始人陈方先生首先介绍了当前德国同行在力学传感器制造领域相对成熟的技术，东南大学首席教授宋爱国随后介绍了团队在力反馈应用技术当中所作出的进展。中国航天科技44所与江苏省计量院的专家们同时参与了会议。2022年国金证券的一份调研报告指出，中国科学仪器市场的国产化率只有5%。而现在更加火热的半导体设备的国产化率是18%。科学仪器属于国产替代难度系数最高的领域之一，业内普遍认为需要5-10年的攻克时间，而科学仪器的高端市场更是完全被外资品牌垄断，形势非常严峻，而其“卡脖子“的难点在于仪器核心的传感器以及配合高端传感器的经验算法。东南大学与联公精密测量有限公司未来会携手将一种新型的溅射技术引用到力学传感器的制造工艺当中，此项尝试可以非常有效地降低传感器使用的环境要求，对高低温，真空高压，高辐射，潮湿腐蚀等恶劣环境，针对当前的航天领域，半导体制造领域有着至关重要的作用，可以有效的避免核心零部件频繁替换所带来的不利影响。同时，联公还即将突破高精度实验室称重仪器的完全国产化。据不完全统计，从2020年开始，在中国工业市场，国产替代的旺盛已逐渐体现，而企业与高校同心协力，发挥各自的优势，可早日实现用我国自主的研究平台、仪器设备来解决重大基础研究问题的需求。
    时间： 2023-03-16
    作者： 情绪波动
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  • 气密真空冷热台的真空度精密控制

    气密真空冷热台的真空度精密控制

    [align=center][img=冷热台真空度控制,690,451]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/03/202203071147131858_3924_3384_3.png!w690x451.jpg[/img][/align][color=#990000]摘要：针对气密真空冷热台目前存在的真空度控制精度差和配套控制系统价格昂贵的问题，本文介绍采用国产产品的解决方案，介绍了采用数控针阀进行上游和下游双向控制模式的详细实施过程。此方案已经得到了应用和验证，可实现宽范围内的真空度精密控制，真空度波动可控制在±1%以内，整个控制系统具有很高的性价比。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px][color=#990000]一、问题的提出[/color][/size]气密真空冷热台是同时可用于真空和气密环境的精密温控冷热平台，具有加热和制冷功能，适合显微镜和光谱仪等应用对样品在可控的真空度环境下进行精确加热或制冷。根据用户要求，针对目前的各种气密真空冷热台，在真空度控制方面，还需要解决以下几方面的问题：（1）无论是进口还是国产真空冷热台，真空度测量和控制还采用皮拉尼真空计，使得配套的控制系统无法实现真空度的精密控制，如无法满足研究和模拟冷冻干燥过程的精度要求。（2）气密真空冷热台普遍体积较小，在宽泛的真空度范围内，实现精确控制一直存在较大难度，真空度的波动性较大，而真空度的波动性又反过来影响温度的稳定性。（3）进口配套的真空度控制系统，不仅控制精度达不到要求，而且价格昂贵。针对气密真空冷热台存在的上述问题，本文将介绍采用国产产品并具有高性价比的解决方案，并介绍了详细的实施过程。[size=18px][color=#990000]二、解决方案[/color][/size]气密真空冷热台真空度精密控制系统的整体结构如图1所示，整个系统主要包括真空计、数控针阀、PID控制器和真空泵。[align=center][color=#990000][img=冷热台真空度控制,690,396]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/03/202203071148328248_6901_3384_3.png!w690x396.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图1 冷热台真空度精密控制系统结构示意图[/color][/align]为提高真空度测控精度，采用了测量精度更高（可达满量程0.2%）的电容式真空计，可覆盖0.01~760Torr的真空度区间。如果需要更高真空度环境，也可以同时采用皮拉尼真空计进行测控。为实现全宽量的真空度控制，将两只数控针阀分别安装在冷热台的进气口和排气口。通过分别采用上游和下游控制模式，可实现全量程波动率小于±1%的精密控制。控制器是精密控制的关键，方案中采用了24位A/D和16位D/A的高精度PID控制器，独立的双通道便于进行上游和下游气体流量调节和控制。总之，通过此经过验证的真空度控制方案，可实现高性价比的精密控制。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 显微镜冷热台真空度的精密控制

    显微镜冷热台真空度的精密控制

    [align=center][img=真空冷热台,500,326]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/03/202203060829340674_8408_3384_3.png!w690x451.jpg[/img][/align]摘要：针对气密真空冷热台目前存在的真空度控制精度差和配套控制系统价格昂贵的问题，本文介绍采用国产产品的解决方案，介绍了采用数控针阀进行上游和下游双向控制模式的详细实施过程。此方案已经得到了应用和验证，可实现宽范围内的真空度精密控制，真空度波动可控制在±1%以内，整个控制系统具有很高的性价比。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px]一、问题的提出[/size]气密真空冷热台是同时可用于真空和气密环境的精密温控冷热平台，具有加热和制冷功能，适合显微镜和光谱仪等应用对样品在可控的真空度环境下进行精确加热或制冷。根据用户要求，针对目前的各种气密真空冷热台，在真空度控制方面，还需要解决以下几方面的问题：（1）无论是进口还是国产真空冷热台，真空度测量和控制还采用皮拉尼真空计，使得配套的控制系统无法实现真空度的精密控制，如无法满足研究和模拟冷冻干燥过程的精度要求。（2）气密真空冷热台普遍体积较小，在宽泛的真空度范围内，实现精确控制一直存在较大难度，真空度的波动性较大，而真空度的波动性又反过来影响温度的稳定性。（3）进口配套的真空度控制系统，不仅控制精度达不到要求，而且价格昂贵。针对气密真空冷热台存在的上述问题，本文将介绍采用国产产品并具有高性价比的解决方案，并介绍了详细的实施过程。[size=18px]二、解决方案[/size]气密真空冷热台真空度精密控制系统的整体结构如图1所示，整个系统主要包括真空计、数控针阀、PID控制器和真空泵。[align=center][img=真空冷热台,690,396]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/03/202203060828037872_2582_3384_3.png!w690x396.jpg[/img][/align][align=center]图1 冷热台真空度精密控制系统结构示意图[/align]为提高真空度测控精度，采用了测量精度更高（可达满量程0.2%）的电容式真空计，可覆盖0.01~760Torr的真空度区间。如果需要更高真空度环境，也可以同时采用皮拉尼真空计进行测控。为实现全宽量的真空度控制，将两只数控针阀分别安装在冷热台的进气口和排气口。通过分别采用上游和下游控制模式，可实现全量程波动率小于±1%的精密控制。控制器是精密控制的关键，方案中采用了24位A/D和16位D/A的高精度PID控制器，独立的双通道便于进行上游和下游气体流量调节和控制。总之，通过此经过验证的真空度控制方案，可实现高性价比的精密控制。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

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