SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品,配置超高分辨率与观察能力。此系列突破了传统SEM产品受安装样品尺寸与重量的限制,通过简单的操作即可实现数据采集。可用于钢铁等工业材料,汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。此外,SE系列包括4种型号(两种类型,两个等级),满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途(如微观结构控制:用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能;异物、缺陷分析:用于提高产品品质)选择适合的产品。产品特点:热场SEM支持低真空,搭载超大样品仓,可扩展实现更多功能电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段,而且直接观察样品的需求很常见。SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓,对于非导电性样品,无需进行导电处理(金属镀膜);对于超大超重样品,无需进行切割等破环处理,可以直接安装到样品台,实现样品的多角度观察。【SU3900SE/SE Plus】 ф300mm晶圆安装示例 在使用样品交换仓时 也可以安装高度45mm的样品。 130mm 高金属配件安装示例具有更高的分辨率和样品极表面信息观察的能力 此系列搭载新开发的热场电子枪,在高、低加速电压条件下,均可获得超高分辨率图像。高端型号(SE Plus)可以满足对样品极表面的观察需求。并且,标配的低电压高灵敏度背散射电子探测器,可以获取高质量的样品成分和凹凸信息。SE系列的探测系统,通过选配的UVD探测器,还可以获得样品多种类型信息,实现多种模式观察。自动化、辅助功能让操作更便捷SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能,可大量简化操作流程。此外,使用选配功能【EM Flow Creator】,可以自动连续获取图像。将条件设置(如放大倍率,样品台位置等)、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块,生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。通过拖拽模块,可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序,即可实现自动观察。①确定指定区域,以×300倍率拍摄低倍图像②以×1,000 拍摄同一区域的中倍图像③以×5,000 拍摄同一区域的高倍图像应用案例金属 铁丝断面 可以确认韧性断裂引起的微小孔洞电子元件 电路板 多层陶瓷电容器横截面通过低倍率、高倾斜观察,可以确认贴装元件的立体形状及位置 可以观察到镍电极/电介质层的成分和晶体衬度无机材料 氧化锌颗粒 高熵硬质合金薄膜可以观察到50 nm 左右的细小颗粒及立体形状 可以观察到不同成分/形状的多个颗粒的分布电池材料 锂离子电池正极材料 锂离子电池负极材料可以观察到正极材料颗粒与周围粘合剂的分布 可以观察到负极材料最表面的粘合剂
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