成像原理

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成像原理相关的仪器

  • 单像素光子成像教学仪 单像素光子成像教学仪是基于压缩感知理论和光子计数成像技术,利用数字微镜器件完成随机空间光调制目标物进行快速成像的教学仪器。产品利用压缩感知技术信号稀疏的特性,超越传统香农采样定理,可以通过较少的测量值在极弱光条件下还原出高空间分辨率高信噪比的图像。 单像素光子成像教学仪具有丰富的硬件模块,支持学生动手调节和搭建,方便学生了解空间光调制技术及设备使用方法;理解压缩感知原理以及成像方式;知悉光子计数成像特点及噪声处理方法。 配备完整的压缩感知理论教学讲义和实验内容,帮助高校在近代物理实验课、通信类、计算数学等方向开设课程,推动学科建设发展。产品硬件可调,教学功能丰富桌面型设计,使用更加方便完善的配套教学资料 遮光性能优越,具有强光保护自由算法编码,可视化实验效果实验内容仪器调节实验光路搭建和仪器模块连接;单帧图像显示实验;光本底测量实验; 频率位移关系实验含目标靶成像实验;分辨率靶成像实验;自制目标靶成像实验;单像素光子成像调制方法实验不同矩阵调制成像实验;不同算法调制成像实验;实验原理图
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  • 卓立汉光所研发的高光谱成像仪主要由光源、光谱相机(即高光谱成像仪)、样品移动台等部件组成。HyperSIS高光谱成像系统工作原理如下(推扫型/推帚型):线光源照射在放置于X-Stage电控移动台上的待测物体(样品),样品上被线光源照射部分的影像通过镜头被高光谱成像仪捕获,在X轴向上被光谱仪分光,Y轴上直接成像,从而得到一维的影像以及光谱信息,由X-Stage电控移动台带动样品连续运行,从而能够得到连续的一维影像以及光谱信息,所有的数据被计算机软件所记录,可以方便的进行后续分析。【HyperSIS-高光谱成像分析仪型号列表】 型号 描述光谱范围(nm)扫描速度** (images/s)备注1HyperSIS-VNIR-QE增强型400-1000 9 系统包含:高光谱成像仪,CCD相机、光源、暗箱、数据采集软件、笔记本电脑 2HyperSIS-VNIR-PS高效型400-100011 3HyperSIS-VNIR-HS高速增强型400-1000334HyperSIS-VNIR-PFH标准型400-1000305HyperSIS-NIR 近红外增强型900-170060 6HyperSIS-SWIR短波红外增强型1000-2500100在整个系统中很重要的是各组件的选择以及电控移动台的配合,所选择的各个组件,均需要根据实际使用需要进行优化选择。系统组件选择需要特别考虑所检测的样品的大小,通常情况下,本系统的设计针对大小不超过200 mm (长)*200 mm (宽)*100 mm (高)的物体。若使用者对于系统外观及内部结构设计有特别需求,我公司也可根据实际需求,对现有设计进行适当更改,以满足使用者自身对系统的特别使用需求。【应用】用于农产品、水果、食品、药品等快速、无损检测分析 农产品检测 水果检测 肉类检测 食品药品检测
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  • 一、产品概述 门框式红外测温仪是一种特种设备,专用于疫情时期的出入境口岸、港口、机场、监狱、拘留所、码头、车站、医院、学校、幼儿园、体育场馆、宾馆、娱乐场所及工厂等人群密集场合快速筛检人体体温。产品由一组热成像镜头24小时自动连续扫描测温的红外测温仪完成体温自动筛查工作,可以替代工作人员快速筛出人群中体温异常群体,提高通行效率,减轻工作人员的工作量,降低工作人员在疑似病患前的暴露风险。二、安全守则请在使用前仔细阅读本说明书本产品使用环境温度是10℃到40℃,适合温度25℃请不要把本产品置于高于40℃或低于0℃的环境使用请不要在相对湿度大于80%的环境下使用本产品请不要将本产品在太阳下暴晒或靠近火炉,更不能接触到水请不要推撞踢打本产品,若有损坏请不要使用需要清洁时,请用酒精轻拭仪表表面一旦产品出现问题,请联系厂家,不要试图自行修理三、产品特性精确:测量偏差﹤0.3℃.(采用进口芯片及传感器)快速:测量时间﹤1秒,快速通行无压力易用: 24小时自动扫描监测体温,无需任何操作温度报警:筛查出体温异常偏高的人会启动报警--连续滴滴滴的声音。测量效率:1个热成像红外探头,对行人的位置姿势和胖瘦无要求。四、产品结构五、技术参数显示分辨率0.1℃精度±0.3℃测量范围27℃-42℃功率25W工作环境温度10℃~40℃工作环境湿度≦85%输入电压DC 220V尺寸外尺寸: (mm)2200(高)×820(宽)×300(深)通道尺寸:(mm)1980(高)×700(宽)×300(深)六、操作说明1.安装说明1.1、该产品为成品组装完成出货,客户无需再次进行组装。1.2、安装位置确认后,根据地脚膨胀螺栓孔位置确定打孔。1.3、用M10的砖头打深度60mm的孔。1.4、用附带的M8×60的膨胀螺栓把仪器固定在地面上。1.5、把仪器电源线接到220V电源上。仪器安装完成。2.产品使用2.1、打开仪器开关,即可使用仪器。2.2、人在通过体温检测门时,抬头眼睛看向红外热成型探头,无需停顿通过测温门,仪器发出一声“嘀”提示声音。表示体温正常。若出现发烧症状,仪器会发出“嘀嘀”连续鸣响。七、日常维护使用过程中请勿遮盖探头,如探头有损坏,请联系厂家更换。
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  • STEM成像原理

    只知道它是束斑逐步扫描成像区域,百度搜了下资料大部分是HAADF-STEM成像原理,主要介绍的是Z衬度成像。那如果只是单纯的STEM,它的衬度和信号是什么?扫描式的相比TEM有什么好处吗?束斑在扫描时与试样表面成一定角度还是近乎垂直的?恳请大神不吝赐教或者推荐一些学习资料,谢谢!

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  • 核磁共振成像管
    核磁共振成像管(Test tubes for the imaging NMR) 核磁共振成像管,一端封闭,平底,火焰抛光,外观棕色,单支独立薄膜包装,每包10支。订购信息:货号产品描述规格2009040核磁共振成像管,5mm外径,壁厚0.5mm,长度160 mm10支/包2009041核磁共振成像管,10mm外径,壁厚0.6mm,长度160 mm10支/包2009042核磁共振成像管,15mm外径,壁厚0.6mm,长度160 mm10支/包2009043核磁共振成像管,20mm外径,壁厚0.8mm,长度160 mm10支/包2009044核磁共振成像管,25mm外径,壁厚0.8mm,长度160 mm10支/包2009045核磁共振成像管,30mm外径,壁厚1.2mm,长度160 mm10支/包
  • 钙离子成像系统配件
    钙离子成像系统配件是测量显微镜下的生物样本中荧光强度的变化仪器高速钙成像系统,兼具高灵敏度和高速度的优势钙离子成像系统配件有单探测器和双探测器两种配置,分别对应于单发射和双发射实验,并且为比例测量提供特殊的双激发模式。钙成像系统特别适合: 测量或双发射实验 高灵敏度或高速实验 FRET测 无缝对接荧光和电生理学的实验 是测量荧光强度变化的高速钙成像系统,可用于钙离子浓度测,钙离子成像.钙离子成像系统配件基本配置包括可编程控制光源(用于安装到显微镜上)取景器(用于选择测量区域)荧光探测器(基于光电二极管技术)控制单元(具有信号处理功能)对于采集速度大于1KHz的实验,可使用光电倍增管替代光电二极管以满足高速测量的要求,但是这仅适用于单发射钙离子成像系统配件配置方案单通道荧光测光系统配置光源(多色光源rome V)取景器(配带相机和显示器)取景器显微镜适配器探测器配带控制单元一个或多个双发射滤波片立方体一个或多个双发滤波片组件钙离子成像系统配件特色取景器控制测量区域测量区域的大小和位置可通过取景器的视场自由定位视频可视化调节测量区域同时进行样品荧光测量和红光可视化测量区域重叠显示在样品的发射图像上光电二极管探测---高灵敏度且承受过度曝光具有超高灵敏度和极低噪音,量子效率高达97%耐用不怕过度曝光最大采集速率高达1KHz,使用光电倍增管可获得更高的速度控制单元带有荧光探测模块---简化数据采集钙离子成像系统配件应用 测量分子内离子浓度(钙离子,镁离子,钾离子,PH等) FR ET测量 单波长染料 不需要空间分辨率的所有荧光测量
  • 细胞成像培养板
    产品编号 描述30741005 24孔细胞成像培养板, 薄膜平底, TC处理, 带盖, 黑色, 独立包装, 20块/箱30741013 96孔细胞成像培养板, 薄膜平底, TC处理, 带盖, 黑色, 独立包装, 20块/箱30741021 24孔细胞成像培养板, TC处理, 带盖, 黑色, 玻璃底, 独立包装, 20块/箱30741030 96孔细胞成像培养板, TC处理, 带盖, 黑色, 玻璃底, 独立包装, 20块/箱细胞成像培养板为黑色、透明底部,并提供24孔和96孔两种规格。 其中有两种材质的透明底:25μm薄膜和170μm盖玻片。薄膜底具有出色的透光率,即使是UV-A和UV-B紫外光也有高透光率。The autofluorescence of the material is lower when compared to a conventional polystyrene bottom with a significant reductionin background signaling. 而且,薄膜底具有高气体透过性:氧气和空气可直接通过板底透过并均衡。玻璃底非常平坦,满足复杂显微分析需求。产品特性TC处理,促进贴壁细胞生长细胞成像培养板底部低裙边设计,确保物镜可完美检测到培养孔的整个底部两种底部均可实现检测结果的高信噪比

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  • BLT小课堂|细菌发光原理及其在动物活体成像中的应用
    夏季的夜晚,走到山间草丛,可以看到一种昆虫提着一盏灯在飞行,这就是萤火虫在发光。萤火虫体内的荧光素酶催化底物荧光素,发生化学反应,产生光子。这也是大家比较熟悉的,在动物活体生物发光成像当中运用到的反应原理。通过利用该原理,配合上转基因技术及动物活体成像系统,我们可以非侵入性和纵向研究小动物的基因表达、蛋白质-蛋白质相互作用、肿瘤学机制和抗肿瘤药物药效及动力学和疾病机制等;相比于传统研究手段,这种方法通过在动物整体水平上进行研究,能提供更多有用的信息,同时大幅减少实验研究所需的动物数量和降低个体间的差异。萤火虫荧光素酶反应的示意图(a)、荧光素酶以报告基因的形式进入细胞核,并翻译成功能性酶。该酶将底物荧光素、氧(O2)和三磷酸腺苷(ATP)转化为氧荧光素、二氧化碳(CO2)和二磷酸腺苷(ADP),同时发光。(b)、萤火虫底物D-荧光素及其产物氧合荧光素的化学结构。 那么问题来了,自然界会发光的生物除了有萤火虫,还有鱼类、藻类、植物和细菌等,这些生物的发光原理是否也和萤火虫一样呢?这些发光原理能否运用到动物活体成像研究中呢?今天,小编就为大家介绍另外一种生物发光原理—细菌发光及其在动物活体成像中的应用。细菌荧光素酶对于细菌的生物发光现象,早在1875年就被发现了,研究人员Boyle首先揭示了细菌发光对氧气的依赖。而随着研究的深入,研究人员发现细菌发光涉及到的酶有荧光素酶、脂肪酸还原酶和黄素还原酶,以及底物还原性黄素单核苷酸和长链脂肪醛。在发光细菌中发现的一种操纵子,基因顺序为luxCDABEG,其中luxA和luxB基因分别编码细菌荧光素酶α和β亚基,luxC、luxD和luxE基因分别编码合成和回收荧光素酶醛底物的脂肪酸还原酶复合物的r、s和t多肽,luxG编码黄素还原酶。到目前为止所知的所有发光细菌,都是基于细菌荧光素酶介导的酶反应来产生光。这是一种大约80kDa的异二聚体蛋白,与长链烷烃单加氧酶具有同源性。该酶通过以下反应介导O2氧化还原的黄素单核苷酸(FMNH2)和长链脂肪族(脂肪)醛(RCHO),以产生蓝绿光。细菌荧光素酶介导的酶反应1细菌发光明场图2细菌发光发光图细菌发光反应过程在发光反应中,FMNH2与酶结合,然后与O2相互作用,形成黄素-4A-过氧化氢。这种复合物与醛结合形成一种高度稳定的中间体,其缓慢的衰变导致FMNH2和醛底物的氧化和发光,反应的量子产率估计为0.1-0.2个光子。该反应对FMNH2具有高度特异性,体内的醛底物可能是十四醛。FMNH2是由NADH:FMN氧化还原酶(黄素还原酶)提供,该酶从细胞代谢(如糖酵解和柠檬酸循环)中产生的NADH中提取还原剂,还原剂通过自由扩散从FMNH2向荧光素酶的转移。长链醛的合成是由脂肪酸还原酶复合物催化。与细菌荧光素酶一样,底物FMNH2和长链脂肪醛也是细菌发光反应的特异性底物;真核生物生物发光使用不同的化学物质和荧光素酶,它们在蛋白质或基因序列水平上与细菌荧光素酶不同。细菌中的荧光素酶反应过程细菌发光原理在动物活体成像中的应用目前,细菌发光原理在动物活体成像研究中的应用有:传染病研究、菌种抗药性测试及细菌介导的肿瘤治疗等。通过将luxCDABE操纵子稳定地整合到不同的细菌基因结构中,不需要任何其他外源底物(除了氧)来产生生物发光,再通过一套超灵敏的动物活体成像系统(AniView 100),为监测细菌物种感染负担、致病机理研究和肿瘤药物靶向治疗等提供了一种快速便捷的研究检测方法。AniView 100检测减毒鼠伤寒沙门氏菌体内靶向性肿瘤情况(箭头指向为肿瘤)应用说明如以细菌介导的肿瘤治疗为例,传统的癌症治疗方法是手术切除,治疗转移性癌症还需要与其他疗法(如放疗或化疗)相结合。这些疗法存在局限性,如放疗的疗效主要取决于组织氧水平,肿瘤内坏死区和缺氧区低氧浓度是治疗失败的常见原因;而化疗的疗效主要取决于药物的分布,肿瘤内坏死区和缺氧区的血管不规则会影响药物的输送,限制药物的疗效。与传统方法相比,使用细菌进行癌症治疗有以下优势:首先,细菌会在肿瘤中选择性积累,肿瘤中的细菌聚集量大约是正常器官的1000倍,肿瘤特有的坏死区和缺氧区一般不会在大多数器官中形成。其次,细菌的增殖能力使得它们可以进行持续治疗;最后,许多细菌的全基因组测序已经完成,能够通过基因组操作提高它们在人类使用中的安全性,并增强其杀瘤效果。目前,细菌介导的肿瘤治疗广泛应用于DNA或siRNA的传递、运送经工程改造的毒素或前药物和触发机体免疫反应,进而达到抑制或杀灭肿瘤细胞、起到抗击肿瘤的作用。应用案例 静脉注射3天后,表达lux的鼠伤寒沙门氏菌在各种肿瘤中积聚。CT26:小鼠结肠癌,4T1:小鼠乳腺癌,MC38:小鼠结直肠腺癌,TC-1:小鼠肺癌,Hep3B:人肝细胞癌,ARO:人甲状腺癌,ASPC1:人胰腺癌应用案例 携带受L-阿拉伯糖诱导启动子pBAD表达系统控制的细胞毒蛋白(溶细胞素A)、表达lux报告基因的减毒鼠伤寒沙门氏菌,用于肿瘤治疗。总结利用生物发光原理进行动物活体成像,目前主要有两种方式。一种是使用萤火虫荧光素酶,最适合在哺乳动物细胞中表达;另外一种是细菌荧光素酶,广泛应用于原核生物。细菌Lux操纵子由于编码生物发光所需的所有蛋白质,包括荧光素酶、底物和底物生成酶,不需要外源底物,成像更加的方便,不需要像萤火虫荧光素酶一样,考虑ATP的可用性、底物分子的渗透、药代动力学和生物分布等对成像的影响。但是,细菌荧光素酶的发射波长较短(490nm),组织吸收较大,这会影响成像数据的量化;而且,对于某些真核微生物(包括真菌和寄生虫)和真核细胞,仍然需要使用萤火虫荧光素酶标记,原因在于lux报告基因没有得到足够的优化,还不能在真核细胞中稳定表达。不过由于细菌荧光素酶和萤火虫荧光素酶的发射波长不同,从而可以进行多光谱成像,用于同时定量评估小动物的不同生物过程,进一步扩展生物发光原理在动物活体成像中的应用。TipsAniView 100多模式动物活体成像系统 AniView 100多模式动物活体成像系统作为广州博鹭腾生物科技有限公司推出的高灵敏度动物活体成像系统,其采用全密闭抗干扰暗箱,避免外界光源及宇宙射线对拍照影响的同时,配合零缺陷、科研级高灵敏背部薄化、背部感应型冷CCD相机,极大地提高成像的灵敏度。AniView 100可以检测到100个luciferase标记细胞,对于动物活体细菌荧光素酶的生物发光信号,无论是在皮下或器官,均可以轻易检测到。快来关注我们,申请免费试用!
  • 沃特世质谱成像技术、原理及应用
    p   质谱成像是一种前沿质谱技术,由于其技术的新颖性与应用的广泛性,近期受到了很高关注。该技术应用潜力巨大,它是将质谱检测与影像技术相结合的新型分子影像研究手段。特点是无需标记、所需时间短、耗费低、不局限于单分子,同时还可以提供组织切片中多化合物空间分布和分子结构信息。 /p p   作为质谱领域最具前景的技术之一,质谱成像技术现已经成为仪器厂商、科研院所的重要关注焦点,预测未来市场争夺也将日益激烈。沃特世公司在MALDI质谱成像技术研发与应用方面具有较强的实力。为提升用户对质谱成像技术、应用的了解,促进质谱成像技术的推广应用,仪器信息网特别邀请沃特世公司对其质谱成像技术中的DESI及MALDI技术的原理与应用进行了讲解。 /p p    strong 1. 解吸电喷雾电离(DESI)技术 /strong /p p   质谱成像是对样品中的化合物进行成像分析,以获得基于化合物组成、空间分布情况及相对丰度的一种快速分析技术。解吸电喷雾电离(DESI)是一种快速的大气压环境下的质谱成像技术,完美兼容组织病理学的工作流程 适用于监测整个组织或器官中各类化合物的分布情况,以及应用于指纹的司法鉴定、微生物的成像、植物样品中活性成分或代谢产物分析和其他快速分析领域。 /p p strong   工作原理 /strong /p p style=" text-align: left "   喷雾溶剂连接于毛细管上,施加一定的高电压,在氮气的辅助下形成带电喷雾液滴,轰击样品表面,带电溶剂与待分析物同时发生解吸和电离(电荷转移),去溶剂化后,沿着传输毛细管进入质谱。 /p p style=" text-align: center " img title=" 001.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/bc55b344-cfc2-4da3-a7aa-e6b97d85e91a.jpg" / /p p strong   DESI的特点 /strong /p p   ○ 最新的沃特世喷嘴可以达到20 μm的空间分辨率 /p p   ○ 可分析新鲜样品,几乎不需要做样品前处理 /p p   ○ 适用于各类生物组织样本、指纹、表面等成像分析 /p p   ○ 点对点的高通量快速分析 /p p   DESI技术与与Waters高分辨质谱(Xevo G2-XS QTof 或 SYNAPT G2-Si HDMS)均可连接使用,效果非常好,并有配套的数据分析软件。可实现同时采集DESI与离子淌度IMS数据,并实现其处理。还可通过软件对数据进行OPLS-DA等数据分析,借助软件找出目标marker。 /p p    strong DESI应用 /strong /p p style=" text-align: center " img title=" 002.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/8089f096-646b-49fd-8d9c-dd887bbc64d1.jpg" / /p p style=" text-align: center " img title=" 003.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/446f205d-c87a-4001-9c3f-7304f7d781df.jpg" / /p p style=" text-align: center " img title=" 004.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/9350b4b2-7535-4112-a592-54ee39c7c6be.jpg" / /p p style=" text-align: center " img title=" 005.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/f6e0a14d-96c8-443c-881c-4b13a647e6d8.jpg" / /p p style=" text-align: center " img title=" 006.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/1d5ffd80-1c32-4134-8f09-c03df7356632.jpg" / /p p style=" text-align: center " img title=" 007.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/7de51864-111c-49e0-83a8-a0ba735f139c.jpg" / /p p    strong 2. 基质辅助激光解析电离(MALDI)技术 /strong /p p   MALDI SYNAPT G2-Si由一台脉冲频率为2.5KHz的固态激光器驱动,可实现分析过程中光谱采集速率的最大化。光斑大小可根据试验需要进行配置,不论是定性分析中灵敏度和速度的优化还是成像研究中测定最高空间分辨率下化合物的空间分布均适用。 /p p style=" text-align: center " img width=" 450" height=" 495" title=" 0.png" style=" width: 450px height: 495px " src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/c0952ffc-a11e-4e31-9224-cc9104f219cc.jpg" border=" 0" vspace=" 0" hspace=" 0" / /p p   由于Tof分析仪的正交几何结构,离子源在质谱分析中实现“去耦合”。因此,与轴向MALDI-Tof或Tof/Tof仪器不同,该设备能够确保在广泛的质量范围内,对于MS和MS/MS模式都能获得高分辨率和准确质量数。此外,SYNAPT非常适合处理绝缘样品,例如石蜡包埋型组织切片或载玻片等。 /p p   在同一个精简的成像工作流程中,MALDI SYNAPT G2-Si HDMS融合了T-Wave IMS和QuanTof技术,以提供无与伦比的选择性、清晰度和可靠性。 /p p   HDI MALDI解决方案提供了一系列独特且强大的多靶向(IMS/MS/MS)和无靶向(IMS/MSE)工作流程,包括以图像为中心的方法设置、数据处理和图像生成。综合相关(基于与空间位置漂移时间相关的碎片离子)与统计工具(例如PCA、OPLS-DA、S-plots、聚类分析)相结合,提供了更智能、更可靠的成像分析。 /p p   在SYNAPT上可以使用全面的UPLC/MS/MS功能,同时能够在同一个平台上对生物液体或激光切割组织切片进行高效定量和定性分析。 /p p   Waters基质辅助激光解吸电离技术(MALDI) 的特点: /p p   § 卓越的空间分辨率 /p p   § 广泛的应用范围 /p p   § 成熟的质谱成像方法 /p p   § 可同时采集离子淌度数据,有效降低噪音干扰 /p p   MALDI SYNAPT G2-Si 质谱系统适用于成像、化工材料鉴定、蛋白质组学和制药领域, /p p strong   一、MALDI SYNAPT G2-Si 质谱系统应用于小鼠组织中黄腐酚及其代谢物的成像: /strong /p p   样品的制备: /p p style=" text-align: center " img title=" 009.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/f947bb12-f3a1-46f8-84e8-18fb97a56f7d.jpg" / /p p   小鼠肠道中黄腐酚及其代谢物的成像: /p p style=" text-align: center " img title=" 010.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/238d8baf-872c-417b-bca6-ef9d218e6c5c.jpg" / /p p style=" text-align: center " img title=" 011.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/7734a6a9-4919-4679-8e91-c890dd36a5af.jpg" / /p p strong   二、组织中N-糖异构体的成像研究 /strong /p p style=" text-align: center " img width=" 450" height=" 441" title=" 012.jpg" style=" width: 450px height: 441px " src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/677094a5-24fd-4c2c-8cd5-be6e6f90ecbe.jpg" border=" 0" vspace=" 0" hspace=" 0" / /p p   使用离子淌度(IMS)可有效降低噪音的干扰: /p p style=" text-align: center " img width=" 450" height=" 484" title=" 013.jpg" style=" width: 450px height: 484px " src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/232442ff-c0a9-48f9-8467-d0c7b929f264.jpg" border=" 0" vspace=" 0" hspace=" 0" / /p p   strong   /strong 成像结果: /p p style=" text-align: center " img width=" 450" height=" 563" title=" 014.jpg" style=" width: 450px height: 563px " src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/4e11f6ee-0c1e-4934-b976-790304951a9a.jpg" border=" 0" vspace=" 0" hspace=" 0" / /p
  • 粒子束成像设备的分辨能力测试原理和测试方式
    一、测试原理粒子束成像设备如SEM、FIB等,成像介质为被聚焦后的高能粒子束(电子束或离子束)。以扫描电镜(SEM)为例,通过光学系统内布置的偏转器控制这些被聚焦的高能电子束在样品表面做阵列扫描动作,电子束与样品相互作用激发出信号电子,信号电子经过探测器收集处理后,即可得到由电子束激发的显微图像。图1:偏转器的结构示意(左);电镜图像(右)基于以上原理,一台粒子束设备在进行显微成像时,其分辨能力与下落至样品表面的粒子束的束斑尺寸相关,束斑的尺寸越小,扫描过程中每个像元之间的有效间距即可越小,设备的分辨本领越高。当相邻的两个等强度束斑其中一个束斑的中心恰好与另一个束斑的边界重合时,设备达到分辨能力极限(图2)。图2:分辨能力极限示意图不考虑粒子衍射效应时,经聚焦后的粒子束截面可视为圆形(高斯斑),其束流强度沿中心向边缘呈高斯分布(图3)。以扫描电镜为例,在光学设计和实验阶段,通常使用直接电子束跟踪和波光计算(direct ray-tracing and wave-optical calculations)方法,来获得聚焦电子束的束斑轮廓。该过程是将电子束的束流分布采用波像差近似算法来计算图像平面上的点展宽函数PSF(Point Spread Function),基于PSF即可估算出包含总探针电流的某一部分(如50%或80%)的圆的直径,从而得到设备的分辨能力水平。图3:高斯斑的截面形状和强度分布示意图但是在设备出厂后,由于粒子束斑尺寸在纳米量级,无法直接测量,因此行业通常使用基于成像的测试方法,测试粒子束设备的分辨能力。 锐利物体边界的边界变化率法是行业目前达到共识的测试粒子束斑尺寸的方法,即使用粒子束成像设备对锐利物体(通常是纳米级金颗粒)进行成像,沿图像中锐利物体的边缘绘制亮度垂直边缘方向的变化曲线,并选取曲线上明暗变化位置一定比例对应的物理距离,来表示设备的分辨率(图4)。为了保证测试准确性,可以在计算机帮助下取数百、数千个锐利边界的亮度变化率曲线求取均值,以获知设备的整体分辨能力。图4:金颗粒边界测量线(上图红线);测量线上的亮度变化(下左);取多条测量线后得到的设备分辨率示意(下右)边界变化率曲线上亮度25%-75%位置之间的物理距离d,可以近似认为是粒子探针束流50%时所对应的粒子束斑直径,在粒子束成像设备行业通常用此距离d来最终标识设备的分辨能力。图5:边界变化曲线与高斯斑直径对应示意图二、测试方式「 样品的选择 」金颗粒通常采用CVD或者PVD等沉积生长的方法获得,由于颗粒形核长大的过程可以人工调控,因而最终得到的金颗粒直径的大小可以被人工控制,所以视不同用途,金颗粒的规格也不同。以Ted Pella品牌分辨率测试金颗粒为例,用于SEM分辨率测试的标准金颗粒有五种规格,其中颗粒尺寸较小的高分辨、超高分辨金颗粒(如617-2/617-3)通常用于测试场发射电镜的分辨能力;颗粒尺寸较大的金颗粒(如617/623)通常用于测试钨灯丝或小型化电镜的分辨能力,详细的颗粒尺寸和适用设备见图6。测试时,不合适的金颗粒选择无法准确反映一台电镜的分辨能力。图6:Ted Pella品牌金颗粒规格及适用机型「 SEM光学参数的设置 」分辨率的测试旨在测试设备在不同落点电压下的各个探测器的极限分辨能力,因此,与电子光学相关的成像参数设置需要注意以下内容:(1)视场校准:保证放大倍数、视场尺寸的准确;(2)目标电压:这里特指落点电压,即电子束作用在样品上的真实撞击电压;(3)探测器:不同探测器收取信号的能力不同,因此获得图像的极限分辨能力不同,因此都要测试,通常镜筒内探测器ETBSE;(4)光阑/束斑:通常在每个电压下使用可以正常获得图像的最小光阑(以获得极限分辨能力);(5)工作距离:通常在每个电压下使用可以正常获得图像的最小工作距离(以获得极限分辨能力)。「 SEM图像采集条件 」(1)合理的测试视野/放大倍数测试时,所选用的测试视野(放大倍数)需要根据设备的分辨能力做出调整,一般放大倍数取每个像素的pixel size恰好与真实束斑尺寸接近即可。比如:对于真实分辨能力约1.5nm的设备,调整放大倍数使屏幕上每个像素对应样品上的真实物理尺寸为1.5nm,即在采集1024*1024像素数的图像进行测试的前提下,选择不大于1024*1.5nm≈1.5um的视野进行测试即可。表1:分辨率测试的FOV及放大倍数估算表(2)合理的亮度、对比度采集金颗粒图像时,亮度和对比度的选择也需要合理,也就是通常所讲的不要丢失信息。在不丢失信息的前提下,图像亮度对比度稍微偏高或偏低,只要边缘变化曲线的高线和低线均未超出电子探测器采集能力的上限或者下限,曲线虽然在强度方向(Y方向)出现的位置和差值有所变化,但距离方向(X方向)及变化趋势均不改变,因此使用25%-75%变化率对测量出来的分辨率数值d基本没有影响(图7)。然而,当使用过大的亮度、对比度设定后,当边缘变化曲线的高线和低线至少一边超出电子探测器采集能力的上限或者下限,再使用25%-75%变化率对测量出来的分辨率数值d就不再准确,这时测出的分辨率数值无效(图8)。图7:合理的亮度对比度及边界变化率的曲线图8:不合理的亮度对比度及边界变化率的曲线三、总结基于上述图像学进行的分辨率测试,是反映粒子束设备整体光学、机械、电路、真空等全面综合性能的关键手段。该测试在设备出厂交付时用于验证设备的性能指标,在设备运行期间不定期运行该测试以关注分辨率指标,可以快速帮助使用人员和厂商工程师快速发现设备风险,从而及时制定维护、维修方案,以延长设备的稳定服役时间。 钢研纳克是专业的仪器设备制造商,同时提供完善可靠的第三方材料检测服务、仪器设备校准服务,力求在仪器设备产品的开发、生产、交付、运行全流程阶段遵循行业标准和规范,采用统一的品质监控手段,保证所交付产品品质的稳定可靠。参考文献[1] J Kolo&scaron ová, T Hrn&ccaron í&rcaron , J Jiru&scaron e, et al. On the calculation of SEM and FIB beam profiles[J]. Microscopy and Microanalysis, 2015, 21(4): 206-211.[2] JJF 1916-2021, 扫描电子显微镜校准规范[S].本技术文章中扫描电镜图像由钢研纳克FE-2050T产品拍摄。

成像原理相关的试剂

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