中国测量检测

日前，第49届SPIE Advanced Lithography + Patterning会议在美国加州圣何塞拉开帷幕。作为半导体行业关于光刻和图形成型技术最具影响力的国际会议，本届大会吸引了来自全球各地的专家、学者，带来近600篇论文，涉及极紫外光刻、新型图形技术、微光刻的计量、检验和过程控制等六大领域。SPIE（International Society for Optical Engineering）是致力于光学、光子学、光电子学和成像领域的研究、工程和应用的著名专业学会，每年召开众多学术会议，所形成的会议文献反映了相应专业领域的最新进展和动态，具有极高的学术价值。东方晶源两篇检测量测技术相关论文被SPIE Advanced Lithography + Patterning会议论文集收录，并受邀在会议现场通过演讲及海报展示等形式进行分享，成为本次大会上出现为数不多的“中国面孔”。此外，东方晶源在本届大会发布的论文数量和质量均可比肩国际头部公司，展现出在半导体检测量测领域的技术实力，以及不断探索前沿技术的前瞻性和领先性。论文一：A noval flow of full-chip OPC model calibration and verification by utilizing SEM image contours本篇论文中，东方晶源提出了优化传统基于CD数据（关键尺寸）进行OPC（光学邻近校正）建模的方式，采用一种创新的流程，将扫描电镜图像轮廓数据加入OPC建模来提高最终OPC模型对芯片图形的全面覆盖能力。流程中引入了芯片图形采样技术，不仅可以确保对芯片图形的全面覆盖，还可以最大限度地减少OPC建模数据收集的工作量。在这项研究中，还实现了东方晶源软件产品和硬件产品的协同优化，可进行全过程自动化的高精度轮廓提取和OPC建模。同时也实现了轮廓提取结果与CD-SEM测量结果的高度匹配，使得同时利用CD数据和轮廓提取数据进行OPC建模成为可能。东方晶源的研究结果显示，当引入SEM轮廓数据参与OPC模型建模后，新的OPC模型与传统CD量测结果建模在1D Pattern上均有良好表现，同时使用了SEM轮廓建模的OPC模型对2D Pattern也有更好的预测性。这项研究证实了SEM轮廓数据用于OPC建模的可靠性和优势，后续东方晶源将在此领域持续发力，充分发挥在电子束量测和OPC领域的领先优势，为提升集成电路制造良率管理探索更多可能。该论文演讲后，国际大厂的OPC部门对该技术方案产生了浓厚的兴趣并与东方晶源接洽探讨更多技术细节。论文二：Innovative wafer defect inspection mode: self-adaptive pattern to pattern inspection本篇论文中东方晶源提出了一种全新的自适应Pattern-to-Pattern (P2P)的晶圆缺陷检测模式。与传统的Die-to-Die (D2D)、Cell-to-Cell (C2C)和Die-to-Database (D2DB)检测方式不同， P2P检测方式对检测区域没有限制，对图像质量依赖性低。因此这种方法可适用于SEM图像，光学图像等广泛缺陷检测领域。P2P检测方式利用设计布局信息，将检测图像与设计图形对齐，并根据设计图形的几何特征划分基本单位。然后通过相同单位彼此比较来分析这些图像区域，从而能够检查独特和复杂的图形。这种自适应方法通过比较对齐的相似图像模式消除了制造工艺变化的影响，从而防止了高度依赖于检测算法造成的缺陷误检。论文中还提供了P2P缺陷检测的实际结果，能相当有效的检出实际缺陷，并且几乎不需要进行Recipe设置。会后，检测设备的同行积极联系并询问技术细节，对东方晶源提出的上述技术理念给予了高度关注与肯定。经过十年的技术攻关和不断积累，东方晶源已在计算光刻OPC、电子束量测检测领域取得重大突破，以填补多项国内空白的壮举，成为国内上述领域的领导者。本次两篇论文被SPIE Advanced Lithography + Patterning会议论文集收录，不仅体现出东方晶源的技术实力，以及充分将OPC、CD-SEM等技术优势进行结合的创新探索精神，同时也在国际舞台上展现出中国半导体企业的良好风貌。相信，随着我国半导体产业的快速发展，会有越来越多的厂商登上国际舞台，展现中国“芯”力量！

2月7日，由中国计量科学研究院、中国环境监测总站联合成立的温室气体排放测量联合实验室揭牌仪式在郑州计量院新院区举行，市委副书记、市长何雄出席并为实验室揭牌。中国计量科学研究院党委书记、副院长段宇宁和副院长杨平，中国环境监测总站纪委书记王锷一，省市场监督管理局党组成员、副局长王建防，省生态环境监测和安全中心党委书记海付恒等出席。温室气体排放测量联合实验室位于高新区双湖科技城核心区域，面积约3000平方米。据了解，实验室将建立我国烟道排放量、无组织排放量和反演排放量最高测量能力，开展国际比对，提升我国温室气体排放清单和碳交易市场数据质量。温室气体排放测量联合实验室揭牌成立，将推动形成以郑州市高新区为量值源头、辐射全国的温室气体排放量值传递体系，确保碳排放数据准确性，并以此联合实验室为基础，建立碳市场“度量衡”，实现碳排放清单国际互认，满足碳排放量数据国际要求。揭牌仪式结束后，郑州计量先进技术研究院组织举办了温室气体监测计量学术交流会，中国计量科学研究院、中国环境监测总站、河南省环监中心、郑州计量先进技术研究院专家、科研人员分别作相关报告。

2024年6月6日，由《中国环境监测》期刊主办的“傅里叶变换红外光谱精准测量技术领域研讨会”在山东济南顺利召开。来自中国科学院工程热物理研究所、中国环境科学研究院、山东大学、山东省计量科学研究院、中国环境监测总站、各省/市生态环境监测中心、创新型企业等单位的十余位专家学者，围绕傅里叶变换红外光谱测量技术进展、精准测量技术在地方生态环境监测工作运用实践及科学需求建议进行深入研讨。拾亿生态技术(北京)有限公司技术总监就《傅里叶变换红外光谱测量技术研究进展介绍及科技需求研讨》进行学术报告分享，介绍了傅里叶变换红外光谱技术的原理、发展历程、气态污染物监测技术利弊分，提出了傅里叶变换红外光谱技术在环境监测领域全方位解决方案，对监测痛点详细阐述，为精准测量提供技术支撑。北京乐氏联创科技有限公司的技术总监就《傅里叶变换红外光谱精准测量技术在地方生态环境监测工作运用实践研讨》进行学术报告分享，详细介绍了傅里叶红外气体分析技术在各个不同行业的精准测量的典型运用，通过案例和数据，展示了精准测量技术如何助力地方环境监测机构提高监测效率、确保数据准确，助推固定污染源超低排放监测、应急检测、碳排放监测等标准化发展及数智化发展等，并对环境监测产品选型提出建议，产品选型应以考虑测试数据是否符合“真、准、全”及满足行业规范要求为前提。专家们围绕如何进一步推动傅里叶变换红外光谱技术的发展及其在环境监测中的应用进行了热烈讨论。提出加强产学研合作、推广先进技术、推广数智化发展是生态环境监测的必然趋势。同时，他们也提出了一系列具体的建议和措施，为未来的环境监测技术创新发展指明了方向。 傅里叶变换红外光谱精准测量技术的广泛应用，也将持续加强环境监测技术创新与应用的研究，不断提升监测数据的准确性和可靠性，为生态环境保护事业作出更大的贡献。同时不断推动自动化、智能化、数智化层层递进发展，共同推动环境监测事业的繁荣发展。为进一步扩大期刊影响力，《中国环境监测》期刊编辑部将聚焦监测技术的不断发展及应用，推动精准测量全方位落实，进一步促进了政府监测机构与监测服务企业、科研机构与监测服务企业、监测服务企业之间的互动和交流，推动行业高质量发展、共同进步提升。 （版权说明：文章转自《中国环境监测》官网）