气相色谱流量传感器

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气相色谱流量传感器相关的厂商

  • 安徽天光传感器有限公司
    安徽天光传感器有限公司创建于1991年，占地面积22000平方米。主要研发、生产、销售：称重传感器,电力覆冰检测传感器,扭矩传感器,拉力传感器,轴销传感器,压力传感器,拉压力传感器以及相配套测控仪表等产品。二十多年来天光不断吸取国内外的先进技术，引进国外领先的设备与工艺，学习与吸收现代企业管理理念，先后研发、生产了百余种测力传感器及配套仪器仪表，产品广泛应用于军工、航空航天、油田、交通、医药、冶金建材、教学等行业的计量与自动化过程中的检测等方面，其半导体应变计的生产工艺、设备及产量为国内领先，已申报发明专利。2008年我公司荣幸为北京奥运会主体育场鸟巢提供专用传感器，并获得好评。 陈圆圆180 5523 0933
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  • 上海科创色谱仪器有限公司 白金21年
    400-801-3316
    上海科创色谱仪器有限公司是由上海大学（原上海科技大学）于1992年3月创办的，集*、生产、服务于一体的*分析仪器制造型企业，2015年1月加盟亚泰集团（筹）成为亚泰集团（筹）旗下一子公司，现座落于上海市宝山区城市工业园振园路128号，厂区占地面积21亩。 上海科创色谱三十多年来一直专注于气相色谱分析仪的创新与发展，致力于提供*而*的气相色谱分析解决方案，为客户提供具有竞争力的气相色谱产品和完善的售前、售中、售后服务。 本公司的产品遍及*各地，应用领域*，主要应用于高等院校、科研院所、石油化工、食品*、气体工业、环境保护、中西制*、包装材料、电力系统、煤矿冶金、司法鉴定、新型能源等。上海科创色谱期待与您的合作！
    主营产品： 气相色谱仪   特气分析系统   便携式气相   VOC检测仪  
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  • 福建省莆田市衡力传感器有限公司
    福建省莆田市衡力传感器有限公司是一家集专业高精度传感器研发、设计、生产、销售为一体的传感器制造厂家。 公司位于中国海峡西岸经济中心地，素有东方“夏威夷”之称，海上女神妈祖故乡——福建莆田。公司主要以生产称重、非标等数字传感器为主，目前产品已销往全国各省市地区，在河南、河北、山东等地设有办事处，打开东南亚、南亚等国际市场，为进一步实现以技术创市场的目标，公司与国内著名院校结成研发队伍，实现了“销售一代、试制一代、研发一代”的技术成建设，为衡力发展国内市场，走向国际市场，成为数字化传感器专家型企业，奠定了雄厚的技术基础。 十年来福建省莆田市衡力传感器有限公司严格依照国际计量组织（OIML）相关建议组织生产，在生产上建立起以ISO为标准的基础质量体系，并积极引进CE认证、5S管理，不但保证了产品品种全，性能好，还具有防腐、防水、防震等持久耐用特点，产品近年来在机械、衡器、化工、钢铁、科研等行业广受好评，在市场上获得了衡力“以优质创市场，技术创品牌”的良好口碑。 规范化、数字化、专业化、国际化、服务化是衡力走向国际化一流传感器企业的五大战略标准，当公司初步达成专业化、数字化、规范化三大目标时，下一个目标就是向国际化、服务化迈进，为向客户提供一个具有专业技术、一流服务、高附加值专业数字化传感器品牌进军.....
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气相色谱流量传感器相关的仪器

  • Agilent GC 8860 气相色谱系统 400-629-8889
    8860 气相色谱 (GC) 系统为常规气相色谱分析建立了标准。8860 通过了安捷伦质量标准测试，拥有安捷伦无与伦比的可靠性和稳定性。8860 最多可配置两个进样口、三个阀和三台检测器（包括一台单四极杆质谱仪），可满足各种常规气相色谱应用领域的需求。8860 气相色谱系统内置的智能化功能可实现远程连接，能够让您监控气相色谱系统、检查系统日志，并在实验室外进行方法更改。直观的触摸屏界面可实时显示仪器状态信息。DA Express 和电子气路调节 (EPR) 等高性价比的选件使 8860 成为所有实验室的理想选择。8860 基于行业标准 7890 气相色谱的核心平台设计，将常规气相色谱的分析性能、可靠性和成本效益提升到前所未有的水平。特性： 用于 GC 诊断和维护的高级仪器智能功能可帮助实验室管理人员更好地避免意外停机，尽可能减少误操作彩色触摸显示屏可访问气相色谱设定值、状态信息、配置和信号图，以确认分析正按预期运行浏览器用户界面可通过 PC 或平板电脑轻松访问，以便编辑方法和序列，访问高级智能功能，查看仪器状态并从实验室网络可及范围的任意地点（甚至在家中）运行诊断程序空白运行评估可识别并通知用户基线偏移、意外峰和基线升高等问题检测器评估可自动评估 GC 检测器校验标样，在诊断部分提供总结报告与上一代安捷伦气相色谱设计以及其他品牌气相色谱的设计相比，独特的第六代微流路 EPC 架构在可靠性和使用寿命方面有显著的改进，可以抵抗气体污染物，如颗粒、水汽和油8860 在所有进样口和检测器上使用全电子气路控制 (EPC)，保证获得更好的保留时间和峰面积的重现性，获得更一致的分析结果，减少重复工作电子气路调节 (EPR) 选件通过压力和流量的高精度数字显示实现了简便的手动操作（可以使用 Agilent OpenLab CDS 软件记录实际压力和流量数据），与手动气路系统相比，具有显著的优势8860 EPC 和 EPR 具有环境温度和压力补偿功能，可得到更稳定的保留时间和检测器基线可选的氦气节省模块可以减少氦气的使用量和相关成本可选的氢气传感器模块系列 2 使用内置智能诊断功能持续监控运行状态，可及早检测到氢气泄漏并关闭气流，仅需每六个月校准一次即可绝大多数 Agilent OpenLab CDS 软件提供的保留时间锁定 (RTL) 功能，能够对使用相同方法和色谱柱的任意安捷伦气相色谱系统之间的色谱保留时间实现准确匹配8860 气相色谱的可选 DA Express 数据分析软件简化了数据分析、整合、报告和校准，特别适用于不需要大量数据处理或合规软件功能的用户能够自动调节检测范围的火焰离子化检测器 (FID) 具有宽动态响应范围，提高了定量准确度，同时大大降低了化合物浓度极高或极低样品的前处理要求单丝热导检测器 (TCD) 提供无漂移的稳定基线，无需单独的参比气路，或手动调节电位计独立的 ACT 标签提供了有关产品在其整个生命周期中对环境影响的信息性能指标GC/MS 兼容性单四极杆（不锈钢离子源）保留时间重现性0.06%典型压力控制0.01 psi双塔同时进样No尺寸（宽 x 深 x 高）58 cm x 54 cm x 49 cm峰面积重现性2% RSD微板流路控制技术 (CFT)否最大升温速率75 °C/min柱温箱冷却5.7 分钟内从 300 °C 降至 50 °C（室温 25 °C）检测器3气相色谱诊断 — 泄漏检查标准（手动盖隔垫吹扫）运行温度范围高于室温 +8 °C 至 425 °C进样口2阀3
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    厂商： 安捷伦科技(中国)有限公司
    品牌： 安捷伦/Agilent Technologies
    型号： 8860 GC
    价格： 面议
  • GC5000 BTX 在线气相色谱分析仪 400-805-8969
    GC5000 BTX 在线气相色谱分析仪专门为监测空气中的有机污染物研发GC5000 BTX 在线气相色谱分析仪是为连续在线监测空气中C4-C12有机污染物而设计的，该款仪器设计紧凑，具有极高的灵敏度，检测限可达ppt级。 GC 5000 BTX分析仪可以单独用，用于监测苯系物等芳香烃（Guideline 2000/69/EC），有机硫化物、卤代烃和C4-C12臭氧前体物（根据EU guideline 2002/3/EC，VDI guideline 2100和guidelines of the Technical Assistance Document EPA/600-R-98/161），分析仪还可连接监测C4-C12范围内的臭氧前体物。也可以方便的与GC 5000 VOC分析仪配合使用，组成C2-C12臭氧前体物在线监测系统。 超强的分析能力GC 5000 BTX具有卓越的分析能力、超强的检测灵敏度和经久耐用的设计，保证了仪器连续无故障地运行。 采用低维护隔膜泵在样品管线末端自动采集样品，避免样品间的交叉污染；采样量是由质量流量计测量提供的标准状况下的采样体积，避免气压和温度变化带来的偏差。 有机物在单级富集模块中采样完成后，加热解析使样品进入色谱住分离。采用这种方法，苯的最低检出限可达≤30ppt。 样品体积经过能提供标况体积的质量流量传感器的准确测量。即使在大气压及温度出现波动时，也可保证样气采样极高的重现性。 色谱柱箱温度可达210℃，最大升温速率为25℃/min。快速的升温速度、较高的柱箱温度和专用的色谱柱，使得分析仪在较短的分析周期内获得极好的分离效果，提高了色谱峰的识别和数据的准确性；同时也避免了高沸点有机物残留污染。 可选的触摸屏能帮助用户便捷地进入维护和诊断功能。所有的参数和分析方法也可以方便地进行编辑。彩色显示屏上可显示仪器的实际工作状态、色谱图及分析结果等。 在监测子站的可靠运行GC 5000 BTX在线气相色谱分析仪是经过特别的研发，适合于安装在监测子站或流动实验室内，进行连续的污染物质监测。仪器和软件的设计，使仪器能稳定可靠的运行，而无须任何人工干预。 可以通过以太网对仪器进行远程控制，以便进行数据、谱图查阅及故障诊断等操作；通过标准通讯协议可以进行仪器状态和数据等的传输。为确保仪器的正常运行，仪器的所有控制单元、操作系统及软件都会被连续监控。任何错误信息都会记录并存储到日志文件中；如果出现系统故障，计算机会自动重新启动，仪器会自动开始下一个分析周期。 应用范围环境空气质量监测，污染源排放影响控制。芳香族化合物（苯系物，苯乙烯，三甲苯，乙烷基甲苯等）脂肪烃（1，3-丁二烯，甲基环戊烷，甲基已烷等）氯代烃（氯乙烯，三氯乙烯，四氯乙烯等）常规指标机箱19”嵌入式机箱高6U深600mm重量约33kg安装机柜/导轨式安装温度0-40℃湿度5-95%无冷凝EMCCE标识，符合EMC-guidelines 89/336/EEC电源220-250VAC，50-60Hz耗电量最大800W载气N2 GC 等级，至少3bar辅助气助燃空气，GC等级，至少3barH2，GC等级，至少3bar（仅用于FID检测器）连接件1/8”卡套接头压力控制减压阀；载气压力的电子读数显示；显示辅气压力表（仅用于FID）采样采样低维护的薄膜泵，自动采样体积测量质量流量控制器精确测量和控制样气量，不受气压和温度变化的影响采样时间0-99 min（可调）流量2-50 sccm/min (可调）样气量标准200-800 sccm(可调）富集富集模块带热解析装置的单级富集模块，用于≥C4有机物质的预浓缩富集温度标准30℃解吸温度最大350℃（可调）加热速度达到40℃/秒的加热速度保证了高速进样，使色谱峰分离最优化进样阀加热箱衬垫不锈钢内部尺寸H 210mm x D 80mm x W 55mm加热阀组温度控制，30-150℃可调样气阀6通VALCO阀，电驱动色谱住箱衬垫不锈钢内部尺寸H 55mm x W 210mm x D 210mm分析住石英毛细住，最长可达60m加热强制通风加热温度范围40℃至210℃温度控制闭环PID，设置分辨率1℃温度程序3阶程序升温，4个等温线保持加热速度1℃/分钟至25℃/分钟，设置分辨率1℃/分钟柱箱冷却强制风冷检测器（可选）FIDFID-火焰离子检测器温度控制的检测器组件使信号输出特别稳定补偿气体的接入强了检测灵敏度FID的线性107放大器输出0-5 VDCPIDPID-光离子检测器无电极、射频激发紫外灯增强了紫外光强度并延长使用寿命温度控制的检测器组件使信号输出特别稳定放大器输出0-5 VDC通讯通讯端口以太网，RS232/RS485，4 x USB，PS2，VGA协议GESYTECⅡ，需要其它协仪应事先说明选项带触摸屏操作的显示和控制面板各种I/O口，提供模拟输出和数字I/O校准气体选择器（样气，校准气1，校准气2）供给FID的助燃空气源
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    厂商： 赛默飞世尔环境与过程
    品牌： 赛默飞/Thermo Fisher
    型号： GC5000 BTX
    价格： 面议
  • 气相色谱系统 400-860-5168转2879
    8860 气相色谱 (GC) 系统可靠且稳定，为常规气相色谱分析建立了标准。8860 可配置两个进样口、三个阀和三台检测器（包括一台单四极杆质谱仪），可满足各种常规气相色谱应用领域的需求。内置的智能功能、直观的触摸屏界面和高性价比选件（例如 DA Express 和电子气路调节 (EPR)）使 8860 成为理想之选，将常规气相色谱的分析性能、可靠性和成本效益提升到前所未有的水平。特性：1.用于诊断和维护的高级仪器智能功能可帮助实验室管理人员更好地避免意外停机，可减少误操作。2.彩色触摸显示屏可访问气相色谱设定值、状态信息、配置和信号图，以确认分析正按预期运行。3.浏览器用户界面可从 PC 或平板电脑轻松访问大量气相色谱信息。编辑方法和序列，并访问高级智能功能。查看仪器状态并从实验室网络可及范围的任意地点（甚至在家中）运行诊断程序。4.空白运行评估可识别并通知用户基线偏移、意外峰和基线升高等问题。检测器评估可自动评估检测器校验样品，在诊断部分提供总结报告。5.与上一代安捷伦气相色谱设计以及其他品牌气相色谱的设计相比，独特的第 6 代微流路 EPC 架构在可靠性和使用寿命方面有显著的改进，可以抵抗气体污染物，如颗粒、水汽和油。6.8860 在所有进样口和检测器上使用全电子气路控制 (EPC)，保证获得更好的保留时间和峰面积的重现性，获得更一致的分析结果，减少重复工作。7.电子气路调节 (EPR) 选件通过压力/流量的高精度数字显示实现了简便的手动操作。可以使用 Agilent OpenLab CDS 软件记录实际压力和流量数据。与手动气路系统相比，EPR 具有显著的优势。8.8860 EPC 和 EPR 具有环境温度和压力补偿，可得到更稳定的保留时间和检测器基线。9.使用先进的经济型电子气路控制，例如氦气节省模块和氢气传感器可以降低氦气的使用量，提高实验室分析的灵活性和安全性。10.绝大多数 Agilent OpenLab CDS 软件提供的保留时间锁定 (RTL) 功能，能够对使用相同方法和色谱柱的任意安捷伦气相色谱系统之间的色谱保留时间实现精确匹配。11.8860 气相色谱的可选 DA Express 数据分析特别适用于不需要大量数据处理或合规软件功能的用户。这款软件简化了数据分析，并能轻松实现积分、报告和校准。12.能够自动调节检测范围的 FID 具有宽动态响应范围，提高了定量准确度，同时降低了化合物浓度极高或极低样品的前处理要求。13.单丝 TCD 无需单独的参比气，也无需手动调节电位计，能够提供无漂移的稳定基线。
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    厂商： 南京罗德瓦尔科学仪器有限公司
    品牌： 安捷伦/Agilent Technologies
    型号： 8860
    价格： 面议
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  • 关亚风团队研制深海原位气相色谱仪、荧光传感器海试成功
    p style=" text-align: justify line-height: 1.5em text-indent: 2em " 近日，中科院大连化学物理研究所微型分析仪器研究组(105组)关亚风研究员、耿旭辉研究员团队与中国科学院深海科学与工程研究所共同研制的4500米级深海原位气相色谱仪、深海原位有色溶解有机物(CDOM)荧光传感器和深海原位叶绿素荧光传感器于8月14日至9月7日搭载深海勇士号/探索二号在某海域科考航次中海试成功，均获得了有效数据。深海原位气相色谱仪进行了两次海底试验，最大潜深1637米 深海原位CDOM荧光传感器和深海原位叶绿素荧光传感器进行了八次海底试验，最大潜深3961.9米。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/ac0cd68f-5f82-48f1-bedc-8ab77b37a2b3.jpg" title=" W020201123364060937305.jpg" alt=" W020201123364060937305.jpg" / /p p style=" text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/9dfb6c93-35ab-4857-9a7a-39034961aa87.jpg" title=" W020201123364061206150.jpg" alt=" W020201123364061206150.jpg" / /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em " 　　深海原位气相色谱仪可原位定量测量深海中单体挥发性有机组分和各类气体成分。本次海试成功的深海原位气相色谱仪验证了其工作原理及工程应用的可行性，获得了不同沸点组分含量的半定量数据，为后续深海地球化学和生物等科学研究，以及能源勘探等工程技术奠定了原位探测技术基础。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em " 　　有色溶解有机物(chromophoric dissolved organic matter，CDOM)是存在于各类水体中的含有腐殖酸、富里酸、氨基酸和芳烃聚合物等物质的溶解性有机物。开展CDOM分布研究能够更好地确定其来源及组成，对揭示海洋碳循环变化规律和海洋生态系统特征有重要意义。在本航次海试中，深海原位CDOM荧光传感器以及新型超高灵敏度深海原位叶绿素a荧光传感器分别测量到了某海域从海平面到海底整个剖面的CDOM和叶绿素a的浓度，为海洋生物、物理海洋等学科研究提供了重要数据。两类荧光传感器均采用行业认可的标定方法，经比对，测量结果与文献报道的船载光谱仪对该海域的测量数据相吻合，包括剖面浓度变化趋势、拐点深度和绝对浓度，证明了两类荧光传感器的测量及标定准确性。经权威部门第三方测试，CDOM传感器检测下限为8.5ng/L硫酸奎宁，叶绿素传感器检测下限为0.42ng/L叶绿素a，检测灵敏度均比可查询的美国、德国等进口同类产品高数倍。两类深海原位荧光传感器已作为中科院A类先导专项“深海/深渊智能技术及海底原位科学实验站”的首批成果，搭载到深海原位实验站上。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/5bbed161-aaa0-416a-b540-8d74e9ac1bdc.jpg" title=" W020201123467651928485.jpg" alt=" W020201123467651928485.jpg" / /p p style=" text-indent: 2em " span style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在今年年初，团队研发的三种深海原位荧光传感器工程样机，包 /span span style=" text-align: justify text-indent: 2em " 括深海原位叶绿素荧光传感器、深海原位微生物荧光传感器和深海原位多环芳烃荧光传感器已经 /span span style=" text-align: justify text-indent: 2em " 在深海勇士号/探索一号TS16南海科考航次中，搭载“深海勇士号”载人潜水器先后11次进行水下试验，最大潜深达3497.6米。分别测量了南海海水中从海平面到海底整个剖面的叶绿素a、微生物和多环芳烃的浓度。原位探测深海中叶绿素a的浓度，反映了深海中浮游植物生物量或现存量，是计算初级生产力的基础。原位探测深海中微生物的浓度，具有很高的科学研究价值和衍生的经济价值。原位探测深海中多环芳烃的浓度，有助于勘探海底原油溢油，具有重要的能源勘探价值。此次勘探所得数据为海洋生物、物理海洋等多学科研究提供了重要的原始数据。该系列仪器均属我国首套该类型的深海原位荧光传感器。其中，深海原位微生物荧光传感器也是国际首套该类型仪器。 /span /p p style=" text-indent: 2em " span style=" text-align: justify text-indent: 2em " /span /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/215f7a10-5d96-406b-b6db-ed8a4bb1f93a.jpg" title=" 7F8DFBF6865801A3EFA9B3FCEA2_3B5971E0_46F7B (1).jpg" alt=" 7F8DFBF6865801A3EFA9B3FCEA2_3B5971E0_46F7B (1).jpg" / /p p style=" text-align: justify " & nbsp & nbsp & nbsp 关亚风团队自21世纪初开展高灵敏荧光检测器及应用研究，该系列仪器的研发成功是该团队在深海极端条件应用的原位荧光探测技术研究方面的重要进展。该项目是中科院战略性A类先导专项“深海/深渊智能技术及海底原位科学实验站”的子课题，关亚风团队负责深海原位有机组分气相色谱—质谱联用仪与荧光传感器的研发，深海负责耐压水密封外壳的研发和海试。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 该工作得到中科院A类先导专项“深海/深渊智能技术及海底原位科学实验站”和中科院大连化物所创新研究基金等项目的资助。 /p
    时间： 2020-11-23
    作者： 彩虹
  • 新型传感器一步检测啤酒新鲜度 精度堪比气相色谱
    西班牙马德里大学开发一项新技术：仅仅一个简单的颜色传感器和一个安卓app便可检测出啤酒的新鲜程度。简单，快速，精准度堪比气相色谱仪。　　与葡萄酒不同，啤酒没有保质期。但会不新鲜，成为一个味道不正的混合物，啤酒厂确实不应该把这种酒买到商店或酒吧。虽然啤酒早先测试新鲜度，但通常涉及昂贵的气相色谱分析设备，并且花费大量时间进行测试。然而，一个简单的颜色传感器和一个安卓app却可以替代这些测试设备。　　西班牙马德里大学开发的这项技术把小聚合物磁盘组合在一起，这个磁盘包含有机化合物苯胺的衍生物。这种衍生物与另一化合物反应，而这种化合物的量随着啤酒生产后的时间延长而增加。众所周知，随着糠醛的量增多，磁盘的颜色将会从黄色变至粉红色。　　用户第一次公开用磁盘检测啤酒样品，然后用智能手机app拍照。基于照片的颜色app将分析酒的颜色，确定新鲜评级。如果聚合物也变成了粉红色，啤酒将被视为过期，不能饮用。　　在实验室，进行不同时间段制造的啤酒测试，使用更复杂的气相色谱和质谱设备测试结果与这项新技术测试结果几乎相同。
    时间： 2016-05-26
    作者： 产研-星羽
  • 大连化物所研制的深海原位荧光传感器和原位气相色谱仪海试成功
    由大连化物所微型分析仪器研究组(105组)耿旭辉研究员、关亚风研究员团队与中科院深海科学与工程研究所共同研制的4500米级深海原位微生物、有色溶解有机物(CDOM)、叶绿素荧光传感器，于2022年10月至12月在南海科考航次中搭载深海原位实验室开展海试任务，最大潜深1384米，总工作时长超过40天，均工作正常、获得了有效数据，表明该三种深海原位荧光传感器具有优良的长期连续在深海海底原位工作稳定性。此外，合作团队共同研制的深海原位气相色谱仪搭载深海原位实验室，于2022年11月在南海科考航次中进行了2次海底试验，最大潜深1384米，4次海底原位采样分析均获得了有效数据。上述研究得到了中科院A类先导专项“深海/深渊智能技术及海底原位科学实验站”和大连化物所创新基金等项目的资助。
    时间： 2023-01-30
    作者： 情绪波动
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  • 气相色谱中的流量传感器简介

    摘要：介绍气相色谱中有关流量传感器的原理和应用场景…… 气相色谱是常用的分析仪器，主要是利用物质的物理化学性质差异，对多组分混合物进行分离和测定，目前作为有机定量分析方法中最重要的分支，在石油化工、医药工业、食品安全和环境监测等方面具有广泛的应用。作为精密仪器而言，在气相色谱的仪器实现中，仪器需要接受光、声、热、电、磁等多种信号，因此需要安装多种多样的传感器，用以将各种信息转化为电信号，从而进行仪器各种功能的实现，并输出响应的结果。 气相色谱中常用的传感器有十多种，主要有温度传感器、压力传感器、流量传感器等，其原理各不相同，本节主要介绍有关流量传感器的原理和应用场景等内容。 1 传感器概述 根据国家标准《GB/T 7665-2005 传感器通用术语》的定义，传感器（transducer/sensor）指“能感受被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。其中，敏感元件（sensing element)，指传感器中能直接感受或响应被测量的部分；转换元件（transducing element)，指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量转换成适于传输或测量的电信号部分 。 2 流量传感器工作原理 流量传感器有多种类型，[/font]测量原理涉及流体力学、热力学、光学、电动力学、声学等多个方面。在气体流量测量领域，根据关键元件的工作方式的不同，气体质量流量传感器大致可以分为科里奥利流量传感器；基于热学原理的质量流量传感器：包括热分布型、热损失型和热脉冲型；差压式质量流量传感器等。本文主要介绍基于MEMS技术的热分布型流量传感器。 2.1 MEMS技术 微机电系统（micro-electro-mechanical systems ，MEMS）及其工艺在气相色谱相关方面得到了广泛的应用，涉及仪器的多个方面，如富集器/进样器、色谱柱、检测器/传感器、色谱辅助设备（催化转化炉）等；其类似于半导体芯片技术，在微小尺度上制造设备部件，具有“微机械” 、“微电子” 和“系统” 三类特质。 以色谱柱为例，MEMS技术工艺流程包括以下几个步骤：清洗硅基底晶圆，沉积铝/氮化硅/ SiO2等为掩模层，涂胶（光刻胶/光致抗蚀剂，Photoresist）[/size]；光刻图形化；刻蚀铝掩膜层；刻蚀体硅；去除铝掩模层和光刻胶层；键合 Pyrex 7740 玻璃。完成上述步骤后，即MEMS色谱柱制造完成后，采用静态或者动态方法将固定相微型色谱柱内部。（袁欢. MEMS微型气相色谱柱的研制及应用研究.电子科技大学,2017.） https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/10/202410080920231622_1000_1856270_3.png 2.2 基于MEMS的热分布型流量传感器原理 微机电系统（micro-electro-mechanical systems ，MEMS）应用在气体流量传感器中，主要是需要在硅基衬底上沉积薄膜加热电阻和测温电阻。以热分布型为例，核心结构包括加热电阻和测温电阻。主要是通过测量加热电阻两端的温度差来获得流量数据，具体来说是当加热电阻工作时，温度升高会在加热板周围形成一个稳定的热场分布，当没有气体流过时，热场均匀分布，上下游测温电阻位置处的温度相同；一旦有气体流过，气体的流动破坏了原先稳定的热场，造成上下游测温电位置处的温度不均匀，在传感器工作流量范围内会造成下游测温电阻位置的温度高于上游位置处，并且随着流速的增加，上下游之间的温度差值也在线性增加。温度差值可以以一定的方式转化为电信号——即通过[size=16px]测温电阻将气体流动导致的温度变化转化为电信号的变化，最终实现对流量的测量。 以三电阻式结构热分布型流量传感器为例，其简单结构示意如下： https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/10/202410080920232888_4905_1856270_3.png 热分布型流量传感器具有灵敏度高、功耗小、尺寸小、量程大、集成度高等特点，但是当气体种类改变时，不同气体的导热系数、粘度、比热容都有差别，因此需要针对不同的气体单独做校准；另外，要求气体干燥无污染，因为湿度较大的气体对传感器表面的热量交换有影响，进而影响到输出结果；同时，颗粒物对传感器的输出结果也有影响。 有关热分布型流量传感器测量流量的理论计算，可参考下述文献；同时，本小节内容也参考了该文献：肖世瑾. MEMS热式质量流量传感器研制. 山东大学, 2021. DOI:10.27272/d.cnki.gshdu.2021.004000. 2.3 基于[size=16px]MEMS的热分布型流量传感器示例 以常见的某型号流量传感器为例，其结构图示如下（以下图示来源自网络）： https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/10/202410080920239180_5905_1856270_3.png https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/10/202410080920237914_2001_1856270_3.png https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/10/202410080920259065_5116_1856270_3.png 工作时，加热控制电路保持加热电阻温度恒定高于周围环境温度160℃，可以减小由于周围环境温度变化而引起的输出温漂，降低气体密度或气体压缩变化的影响。当没有气流通过时，上下两个游测温电阻在中间热源的影响下保持温度一致，电阻值没有发生变化；当气流通过时，由于两个测温电阻（温度敏感材料，阻值与温度相关）和加热电阻的相对位置不同，使两个测温电阻的温度不一样，测温电阻[size=16px]的阻值随温度的变化而改变，因此两个电阻的阻值也不同；测温电阻接入惠斯登电桥电路，电桥的输出电压与气体流量成比例变化。 3 气相色谱中流量传感器的应用场景 在气相色谱分析中，流量传感器常用于电子流量控制装置（EPC）中，如毛细柱进样口中主要用于测量进样口的总流量，下图为某厂家毛细柱进样口分流进样流路图： https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/10/202410080920263135_5295_1856270_3.png 图中Valve为比例阀，FS表示流量传感器，PS表示压力传感器。在仪器毛细柱进样口工作过程中，可以通过流量传感器的反馈调整比例阀开度，控制进入毛细柱进样口的总流量，使之达到设定值要求。 说明：本文首发于公众号“气相色谱分析”。

  • 气相色谱仪流量控制原理与维护 —— 压力传感器

    气相色谱仪流量控制原理与维护 —— 压力传感器

    [align=center][font='Times New Roman'][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]流量控制原理与维护[/font] [font=Times New Roman]—— [/font][/font][font=宋体]压力传感器[/font][/align][align=center][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]概述[/font][/font][/align][font=宋体][font=宋体]压力传感器是电子流量控制器（[/font][font=Times New Roman]EPC[/font][font=宋体]、[/font][font=Times New Roman]AFC[/font][font=宋体]或[/font][font=Times New Roman]EFC[/font][font=宋体]）的重要组成元件，目前常见[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]配备的压力传感器主要为压阻式传感器，其灵敏度高、分辨率高、体积小、工作频带宽、响应速度快。[/font][/font][align=center][font=宋体]简介[/font][/align][font=宋体][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱[/color][/url]维修人员在检查或维修电子流量式[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]过程中，当拆解或者检查电子流量控制器时[/font][font=宋体]——不论是进样口流量控制器或者检测器流量控制器，都可以观察到如图[/font][font=Times New Roman]1[/font][font=宋体]所示的元器件，尺度大约[/font][font=Times New Roman]10mm*10mm[/font][font=宋体]左右，此即为压力传感器，用来测定气体压力和协助控制气体流量。[/font][/font][align=center][img=,189,150]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211231551479727_3572_1604036_3.jpg!w531x423.jpg[/img][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Times New Roman]1 [/font][font=宋体]压力传感器外观[/font][/font][/align][font=宋体]目前常见[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]配备的压力传感器主要为压阻式传感器，其灵敏度高、分辨率高、体积小、工作频带宽、响应速度快。压阻传感器的工作原理基于压阻效应，压力敏感元件是使用集成电路工艺在半导体材料的基片上制成的扩散电阻，当受到流体压力作用于敏感元件时，扩散电阻的阻值发生对应的变化。[/font][font=宋体][font=宋体]对于某个确定的导电材料，其电阻值的变化率可以由公式[/font][font=Times New Roman]1[/font][font=宋体]决定：[/font][/font][font=宋体] [/font][img=,240,76]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211231551556750_971_1604036_3.jpg!w600x191.jpg[/img][font=宋体] [/font][font=宋体][font=宋体]公式[/font] [font=Calibri]1[/font][/font][font=宋体][font=宋体]公式中[/font][font=Times New Roman]R [/font][font=宋体]为电阻值、ρ为电阻率、[/font][font=Times New Roman]l[/font][font=宋体]为导电材料长度、[/font][font=Times New Roman]s[/font][font=宋体]为导电材料截面积。[/font][/font][font=宋体]对于金属电阻（常见于工业测量中使用的金属应变片），上式中的[/font][font=宋体]Δ[/font][font=宋体][font=宋体]ρ[/font][font=Times New Roman]/[/font][font=宋体]ρ项数值较小，即电阻率变化较小，而尺度的变化率（[/font][/font][font=宋体]Δ[/font][font=宋体]l/l和[/font][font=宋体]Δ[/font][font=宋体]s/s[/font][font=宋体]）较大，所以金属电阻阻值的变化主要由其尺寸变化率引起。而对于半导体电阻，受力时其尺寸变化率较小，而电阻率变化率（[/font][font=宋体]Δ[/font][font=宋体][font=宋体]ρ[/font][font=Times New Roman]/[/font][font=宋体]ρ）较大，这就是压阻式传感器的基本工作原理。[/font][/font][font=宋体][font=宋体]当压力作用于半导体硅晶片时，硅晶体晶格发生变形，是载流子产生不同能谷之间的散射，载流子的迁移率发生变化，从而使硅晶片的电阻率发生变化。对于半导体电阻，其压阻系数较大，压阻传感器的灵敏度是金属应变片灵敏度的[/font][font=Times New Roman]50-100[/font][font=宋体]倍。[/font][/font][align=center][font=宋体]压阻式传感器的结构[/font][/align][align=center][font=宋体] [/font][/align][font=宋体]压阻传感器的压力敏感元件是采用集成电路工艺在半导体基片（硅晶片）上制成的扩散电阻，扩散电阻依附于弹性元件才能工作。单晶硅材料纯度高、功耗低、滞后和蠕变小、机械稳定性好，传感器的制造工艺和硅集成电路工艺有很好的兼容性，所以扩散硅压阻传感器作为检测元件的压力测试仪表在工业测量领域得到广泛应用。[/font][align=center][img=,221,213]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211231552062434_3094_1604036_3.jpg!w332x320.jpg[/img][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Times New Roman]2 [/font][font=宋体]压阻传感器的结构[/font][/font][/align][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Times New Roman]2[/font][font=宋体]为压阻式传感器的机构示意图，在硅膜片上用离子注入和激光修正方法形成[/font][font=Times New Roman]4[/font][font=宋体]个阻值相等的扩散电阻，并连接成惠斯登电桥形式，如图[/font][font=Times New Roman]3[/font][font=宋体]所示。[/font][/font][align=center][img=,215,194]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211231552138775_83_1604036_3.jpg!w690x624.jpg[/img][font=宋体] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Times New Roman]3 [/font][font=宋体]惠斯登电桥[/font][/font][/align][font=宋体][font=宋体]使用[/font][font=Times New Roman]MEMS[/font][font=宋体]技术在硅膜片上形成一个压力室，一测与大[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]连（或真空），一侧与取压口相连，此结构即为硅杯。当待测压力作用于膜片上，膜片发生部分拉伸和部分压缩，电桥失去平衡，产生输出电压，电压的大小反应了膜片受到的压力情况。该电路一般采用恒电流工作方式，可以抑制环境温度的变化对传感器带来的影响。[/font][/font][align=center][font=宋体]压阻传感器的使用注意事项[/font][/align][font=宋体][font=宋体]压阻传感器具有灵敏度高、分辨率高、体积小、工作频带宽、测量电路以及传感器一体化等优点。压阻传感器可以测量[/font][font=Times New Roman]0.01kPa[/font][font=宋体]左右的微小压力变化，频率响应高，可以测量数十[/font][font=Times New Roman]kHz[/font][font=宋体]的脉动压力，其有效面积可以做的很小，可以做到[/font][font=Times New Roman]1[/font][font=宋体]平方毫米左右。对于[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]得到高精度高灵敏的气体流量和压力控制非常有益。[/font][/font][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱[/color][/url]工作者使用电子流量方式的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]时，需要注意避免气源压力过高或者过于剧烈的变化，造成传感器损坏；注意控制气源质量加强维护，避免水、油污或者细小的固体颗粒物进入色谱仪流量控制器内，造成传感器损坏。在使用电解水方式的气体发生器时，尤其需要注意仪器的维护，发生器故障或者维护不足导致气源中含有大量水，对于压力传感器而言是致命的。电子式的压力传感器，随着不断的使用，还存在零点漂移问题，造成压力显示不正确或者出现压力显示为负值等异常现象，需要色谱工作者进行零点校正。[/font][font=宋体] [/font][align=center][font=宋体]小结[/font][/align][font=宋体]压阻式传感器的原理和使用注意事项。[/font]

  • 气相色谱仪流量控制原理与维护 —— 压力测量元件 压力表和压力传感器

    气相色谱仪流量控制原理与维护 —— 压力测量元件 压力表和压力传感器

    [align=center][font='Times New Roman'][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]流量控制原理与维护[/font] [font=Times New Roman]—— [/font][font=宋体]压力测量元件[/font][/font][/align][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]压力表和电子压力传感器[/font][/font][/align][align=center][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]概述[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱[/color][/url]系统中的载气或者辅助气体控制器，一般需要装备有精确、可靠的压力测量元件，用以正确的显示流路压力。此外压力测量元件也是流量控制器[/font][font=Times New Roman]——[/font][font=宋体]尤其是电子流量控制器[/font][font=Times New Roman]——[/font][font=宋体]的重要组成部分，压力测量元件与比例电磁阀接受色谱系统的控制并协同工作，实现流路气体流量（或压力）的精确控制。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]一般情况下，机械式[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]使用机械式压力表，电子式[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]使用压力传感器作为压力测量元件。[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的外围气源、和某些外接设备中也会有压力测量元件，实时显示和辅助实现准确的压力（或流量）控制。[/font][/font][font='Times New Roman'] [/font][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]一[/font] [font=宋体]机械[/font][/font][font=宋体]流量[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]式[/font][/font][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]色谱仪的压力测量元件[/font][font=Times New Roman]——[/font][font=宋体]压力表[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体]压力表是一种以弹簧管为测量元件的指针式测量仪表[/font][/font][font=宋体]，[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]因其结构坚固、生产成本较低、性能可靠等特点，在机械式[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的载气流量控制和检测器流量控制器中较为常见。[/font][/font][font=宋体]压力表的工作原理为：[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]当[/font][/font][font=宋体]待测[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]气体压力发生变化时，表内的敏感元件（波登管、膜盒、波纹管）将会发生弹性形变，再由表内机芯的转换机构将压力形变传导至指针，引起指针转动来显示压力。压力表的结构如图[/font]1[font=宋体]所示。[/font][/font][align=center][img=,268,190]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209151709527102_9907_1604036_3.jpg!w616x435.jpg[/img][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]图[/font]1 [font=宋体]压力表结构图[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体]压力表中的弹簧管（也称为波登管）的自由端是封闭，通过机械传动装置驱动压力表指针。其内部压力发生变化时，弹簧管发生形变，自由端产生位移，其位移量与被测压力的大小成正比。通过机械传动装置驱动指针偏转，在度盘上指示出压力值，如图[/font]2[font=宋体]所示。[/font][/font][img=,513,176]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209151709596556_7465_1604036_3.jpg!w690x236.jpg[/img][font='Times New Roman'] [/font][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]图[/font]2 [font=宋体]不同压力下压力表状态图示[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体]如果表壳内通有大气，压力表测出的压力为相对压力，如果将表壳密封并抽真空，压力表测出的压力就是绝对压力。一般情况下，[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的压力表均指示相对压力数值。[/font][/font][font=宋体]压力表一般用于[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的载气控制器、检测器气体控制器和气源减压阀上，需要注意其响应速度一般极低，不适合测定极速变化的气体压力。[/font][font=宋体]使用时需要注意气源清洁、气源的压力范围符合要求、尽量避免较为剧烈的压力冲击，以避免弹性元件发生故障造成压力显示数值不正确，[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]关机或者长时间不使用时，需要将气源的压力表泄压以保护弹性元件。[/font][font='Times New Roman'] [/font][align=center][font=宋体][font=宋体]二、电子流量式[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的压力测量元件[/font][font=宋体]——压力传感器[/font][/font][/align][font=宋体]机械流量式[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]，流量控制系统较为复杂，较为笨重，使用较多的气流控制阀和压力表，调节效率较低，并且重现性较差。电子流量式的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]，体积小，调控方法简易，重现性良好，目前在各个行业的实验室中逐渐得到较为广泛的应用。[/font][font=宋体][font=宋体]电子流量控制器主要由比例电磁阀、流量传感器和压力传感器以及对应的控制系统组成，如图[/font][font=Times New Roman]3[/font][font=宋体]所示（以压力传感器为例）：[/font][/font][align=center][img=,338,72]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209151710067697_8338_1604036_3.jpg!w690x146.jpg[/img][font=Calibri] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Calibri]3 [/font][font=宋体]电子流量控制器组成结构图[/font][/font][/align][font=宋体]某些固体（常见的材质是单晶硅片）收到力的作用后，其电阻值（或电阻率）会发生相应变化，这种现象称为压阻效应。压阻式传感器是利用固体的压阻效应制成的一种测定装置。[/font][font=宋体][font=宋体]现代的压力传感器采用集成电路工艺制成，测量电路和半导体硅片扩散电阻可以集成到零点几毫米大小的尺寸，能够感知[/font][font=Times New Roman]0.01kPa[/font][font=宋体]左右的压力变化，可以显著减小电子流量控制器的尺寸。压阻式传感器体积小、灵敏度较高，分辨率高，响应速度快，广泛的应用于航空、航天、化工、生物医学等多个领域。[/font][/font][font=宋体]需要注意压力传感器测定的气体，不能含有水、固体颗粒等杂质，避免剧烈的压力变化，长时间使用后，可能会产生一定的偏差，需要注意进行压力校准。[/font][font='Times New Roman'] [/font][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]小结[/font][/font][/align][font=宋体][font=宋体]简单叙述机械流量和电子流量控制方式[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]使用的压力测量元件[/font][font=宋体]——压力表和压力传感器的基本原理和使用注意事项。[/font][/font]

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