大样品台测量显微镜

近日，尼康宣布推出全新的MM-400N和MM-800N系列工业测量显微镜。升级之后，这两个系列都具有针对透射照明装置的光圈控制装置，让用户能够调整光圈，以优化对比度和分辨率。此外，用户还可设置用于测量圆柱形产品的照明条件。新开发的透射LED照明装置同时拥有了白色和绿色光源；用户可通过按下显微镜前面的开关来切换光源颜色， 而无需插入或移除滤光片。另外，通过将透射照明装置集成至工业测量显微镜的主体中，可将仪器的深度缩短30mm，从而减小安装占用空间。MM-800N作为改造的一部分，尼康为工业测量显微镜设计了现代化的外观，展示了公司全新而简洁的黑白色涂装。此外， 电力消耗相比之前的MM-400/MM-800系列型号约降低10%。新款和以往系列型号共用很多相同的零部件，包括测量台、物镜和光学配件，用户可以继续将其用于实现简单、精确且高度可重复的测量应用。MM-800N/LMU

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 2月27日，牛津仪器Asylum Research宣布推出新型原子力显微镜(AFM)——Jupiter XR& #8482 AFM，这是一款能够利用单一扫描器同时提供全自动、多功能、高扫描速度和高精度的大样品AFM。 /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/fcb4ea90-3952-4695-954b-639d2f0cb1fe.jpg" title=" 000.jpg" alt=" 000.jpg" style=" width: 300px height: 259px " width=" 300" vspace=" 0" height=" 259" border=" 0" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 全新大样品原子力显微镜Jupiter XR& #8482 AFM /span /p p 　　Jupiter XR& #8482 提供超过210 mm的样品空间，可呈现更高分辨率，更快速获得结果，用户操作更简单，并且同时满足学术研究和工业研发需求。通过Asylum Research近20年的AFM技术创新历史积累，Jupiter XR& #8482 将大样品原子力显微镜的性能提升至新高度。 /p p 　　“多年来，用户们一直期望我们能够提供一款大样品AFM，我们也非常高兴这款新推出的Jupiter从性能和易用性等多个方面都能满足用户的需求。” strong Asylum Research总裁Roger Proksch博士表示， /strong “创立至今，Asylum Research始终致力于不断推动AFM技术的极限，Jupiter XR& #8482 不但具备了一系列Asylum Research独特核心技术——低噪声位置传感器、Cypher AFM出色的分辨率和速度、新的纳米力学测量技术以及blueDrive& #8482 光热激发轻敲技术等，同时也保持了Asylum Research产品一贯的可靠性和专业的客户支持。” /p p 　　Jupiter XR& #8482 具有可高速精准定位的210 mm样品台，可对整个样品任意位置进行精准定位 简单直观的软件操作界面，并且具备全自动的激光和探测器对准，自动智能优化成像参数，自动多点成像和分析 以及Asylum Research独特的blueDrive& #8482 光热激发轻敲模式，可以大大提高探针尖端寿命和测量可重复性。 /p p 　　与其他Asylum Research原子力显微镜系列产品一样，Jupiter XR& #8482 具备了广泛的应用和多样的配件体系等特点，并采用模块化设计便于将来扩展，可用于科学研究、平台实验中心、大批量工业应用和故障分析实验室等领域。无论身处怎样的研究领域，Jupiter XR& #8482 均可凭借其易用性、高速扫描、高性能和灵活性游刃有余。 /p

p style=" text-indent: 2em " strong style=" text-indent: 2em " 仪器信息网讯 /strong span style=" text-indent: 2em " 6月23日，知名原子力显微镜（AFM）制造商Park原子力显微镜公司（Park Systems Inc.）宣布推出高分辨率、自动化原子力显微镜新品——Park NX-TSH，据介绍，Park NX-TSH的 /span span style=" text-indent: 2em color: rgb(0, 112, 192) " 龙门架设计 /span span style=" text-indent: 2em " 平板式探针扫描器专为最新一代显示器工厂的应用需求研发设计， /span span style=" text-indent: 2em color: rgb(0, 112, 192) " 最大样品可以测到2200 mm /span span style=" text-indent: 2em " 。另外，其模块化设计还可在提供样品3D形貌的同时提供微区电流测量。 /span /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 405px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/c86270b5-68fa-4a86-aa11-aeafcc66248d.jpg" title=" 1.png" alt=" 1.png" width=" 450" height=" 405" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em color: rgb(0, 112, 192) " strong 产品研发背景：迎合OLED新兴市场带来照明和屏幕技术的需求 /strong /span /p p style=" text-indent: 2em " 有机发光二极管(OLED)技术由于其扁平、薄如纸、柔韧性，并且具有漫射光的能力，该技术有望在未来几年显著推动市场增长。 /p p style=" text-indent: 2em " 数据显示，OLED面板市场在2020-2025年期间将以12.9％的复合年增长率增长，到2025年将达到455.5亿片。尽管受全球新型冠状病毒疫情影响而总体上将出现小幅下滑，但业内专家仍预计OLED面板将成为全球采用的一种重要的显示技术趋势，且屏幕尺寸将更大，分辨率将提高到8K，并将具有新的外形规格。 /p p style=" text-indent: 2em " 为了迎合OLED市场的需求，原子力显微镜制造商Park 原子力显微镜开发了Park NX-TSH，扩大了其Gen8 +和所有大型平板显示器的AFM工具。为制造下一代平板显示器制造商而开发，以克服300 mm样品尺寸的限制。 /p p style=" text-indent: 2em " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong Park NX-TSH：用于大样品分析，最大样品2200 mm！ /strong /span /p p style=" text-indent: 2em " 尖端扫描头（TSH）是一种自动移动的扫描头，适用于对OLED，LCD，光子学用于最大尺寸达2200 mm的大样品进行工业AFM测量，用于大样品分析。自动的尖端扫描头采用气载台技术，可将x，y，z扫描仪直接移动到基板上的所需位置。 /p p style=" text-indent: 2em " “Park NX-TSH专为生产制造下一代平板显示器的半导体厂（fab）开发设计，并克服了300 mm的门槛限制。” strong Park市场部副总裁Keibock Lee谈道 /strong 。 /p p style=" text-indent: 2em " 自动化的Park NX-TSH系统通过龙门式尖端扫描仪系统克服了纳米计量学的挑战，该系统可直接移动到样品上的某个位置，并生成粗糙度测量，台阶高度测量，临界尺寸和侧壁测量的高分辨率图像。 /p p style=" text-indent: 2em " Park NX-TSH可以在x，y和z方向上扫描针尖，最大扫描方向为100 µ m x 100μm（x-y方向），z方向为15μm，并具有灵活的卡盘，可容纳大型和重型样品。随着对更大尺寸的平板显示器的需求增加到65英寸，75英寸甚至更多。Park NX-TSH通过自动尖端扫描系统克服了这些挑战，而在龙门式尖端扫描仪系统中克服了纳米计量学的挑战。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 374px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/24d9eaff-04cb-43a0-a66b-5534c4a10458.jpg" title=" 2.png" alt=" 2.png" width=" 450" height=" 374" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em " Park NX-TSH专为Gen8+和所有大平板显示器研发，不仅能够进行纳米级尺寸测量，也可进行微区电性测试。同时，Park NX-TSH还可以兼容多种型号机械手臂，实现自动化测量。 /span /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 295px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/4a5a2c6d-45a6-4703-9155-50b765639ccd.jpg" title=" 3.png" alt=" 3.png" width=" 450" height=" 295" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-indent: 2em " 该全自动Park NX-TSH系统专为超大样品量身订造，扫描器可以固定在龙门架上，并能提供高分辨率的粗糙度测量，步长测量，临界尺寸和侧壁测量。 /p p style=" text-indent: 2em " Park NX-TSH将样品固定在样品卡盘上，连接到机架的尖端扫描头移动到表面样品的测量位置。这也使得Park NX-TSH尖端扫描头系统克服了样品尺寸和重量的限制。 /p p style=" text-indent: 2em " 原子力显微镜是一种准确、无损的纳米级样品测量方法，使用Park NX-TSH，可以在龙门式桥架上的OLED，LCD等上获得可靠的高分辨率AFM图像，从而系统的提高生产率和质量。 /p p style=" text-indent: 2em " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 值得关注的是， /strong /span Park 原子力显微镜将参加6月27日-29日上海新国际博览中心举办的Semicon China，并在展位E7549上现场演示新品Park NX-TSH和NX-Photomask，并将在稍后举行的SEMICON West展会上进行线上产品展示秀。届时，大家感兴趣可以现场观摩咨询。 span style=" color: rgb(127, 127, 127) " （地址：上海新国际博览中心；时间：2020年6月27-29日；展位：E7 7549） /span /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 283px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202006/uepic/b4de76ec-87cf-40a1-b2d7-1e53b1e2b408.jpg" title=" 4.jpg" alt=" 4.jpg" width=" 450" height=" 283" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em color: rgb(0, 112, 192) " strong 关于Park原子力显微镜 /strong /span /p p style=" text-indent: 2em " Park原子力显微镜公司是目前世界上发展最快的原子力显微镜(AFM)制造商之一，为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供了一系列完整的产品。 Park的客户包括20多家全球最大的半导体公司，以及亚洲、欧洲和美洲的国立研究型大学。Park 原子力显微镜是韩国证券交易所(KOSDAQ)的上市公司，公司总部位于韩国水原，地区总部位于美国加州圣克拉拉、德国曼海姆、中国北京、日本东京、新加坡和墨西哥墨西哥城。 /p