双电测电四探针方阻电阻率测试仪环境要求环境温度为23℃±1℃,相对湿度不大于65%。干扰因素光照可能严重影响观察电阻率,特别是近似本征材料。因此,所有测试应在暗室进行,除非是待测样品对周围的光不敏感。3.2当仪器放置在高频于扰源附近时,测试回路中会引入虚假电流,因此仪器要有电磁屏蔽。3.3试样中电场强度不能过大,以避免少数载流子注入。如果使用的电流适当,则用该电流的两倍或一半时,引起电阻率的变化应小于0.5%。3.4由于电阻率受温度影响,一般测试适用温度为23℃±1 ℃.3.5对于厚度对测试的影响,仲裁测量要求厚度按本方法的6.3规定测量,一般测量用户可以根据实际需要确定厚度的要求偏差。3.6由于探针压力对测量结果有影响,测量时应选择合适的探针压力。3.7仲裁测量时选择探针间距为1.59mm,非仲裁测量可选择其他探针间距。4方法提要直排四探针测量示意图5测量仪器5.1探针装置由以下几部分组成。5.1.1探针用钨,碳化钨或高速钢等金属制成,针尖呈尽可能使用非导电的工作桌工作台。操作人员和待测物之间不得使用任何金属。操作人员的位置不得有跨越待测物去操作或调整测试仪器的现象。测试场所必须随时保持整齐、干净,不得杂乱无章。测试站及其周边之空气中不能含有可燃气体或在易燃物质。4.3.4人员资格本仪器为精密仪器,必须由训练合格的人员使用和操作。4.3.5安全守则操作人员必须随时给予教育和训练,使其了解各种操作规则的重要性,并依安全规则操作。圆锥型,夹角为45°~150*,尖端初始标称半径为25 μm~50 μm。5.1.2探针压力,每根探针压力为1.75 N士0.25 N或4.0N±0.5N,分别用于硅单晶棒的电阻率测量,也可选择其他合适的探针压力。5.1.3绝缘性,一探针(包括连接弹簧和外部引线)与任何其他探针或装置任一部分之间绝缘电阻大于10’Ω.5.1.4探针排列和间距,四根探针的尖端应成等间距直线排列。仲裁测量时,探针间距(相邻探针之间的距离)标称值应为1.59mm。其他标称间距如1.00mm和0.6mm用于非仲裁测量,探针间距按7.2测定。5.1.5探针架,能在针尖几乎无横向移动的情况下使探针下降到试样表面.双电测电四探针方阻电阻率测试仪技术参数:1.电阻率:10-5~2×106Ω-cm2.电 阻:10-5~2×106Ω3.电导率:5×10-6~105ms/cm4.分辨率: 小0.1μΩ测量误差±(0.05%读数±5字)5.测量电压量程: 2mV 20mV 200mV 2V 测量精度±(0.1%读数)6.分辨率: 0.1uV 1uV 10uV 100uV7.电流输出:直流电流 0~1000mA 连续可调,由交流电源供电。量程:1μA,10μA,100µ A,1mA,10mA,1000mA, 误差:±0.2%读数±2字8.显示方式:液晶显示电阻值、电阻率、电导率值、温度、压强值、单位自动换算9.传感器压力:200kg (其他规格可以定制)10.粉末测量装置 模具:内径10mm;高:25mm;加压方式:手动液压加压/自动加压方式11.电源:220±10% 50HZ/60HZ12.主机外形尺寸:330mm*350mm*120mm双电测电四探针方阻电阻率测试仪安全要点● 非合格的操作人员和不相关的人员应远离测试区。● 万一发生问题,请立即关闭电源并及时处理故障原因。双电测电四探针方阻电阻率测试仪衣着规定操作人员不可穿有金属装饰的衣服或戴金属手饰和手表等,这些金属饰物很容易造成意外的感电。4.3.7医学规定绝对不能让有心脏病或配戴心律调整器的人员操作。4.4测试安全程序规定 一定要按照规定程序操作。操作人员必须确定能够完全自主掌控各部位的控制开关和功能。双电测电四探针方阻电阻率测试仪操作流程和测试步骤1.使用前期准备--测试前准备工作:1.1.开机预热:将220V电源插头插入电源插座,打开电源开关,让仪器预热15分钟,保证测试数据稳定。若测试仪无法正常启动,请按以下步骤检查:①检查电源线是否接触良好;②检查后面板上的电源开关是否已经打开③检查保险丝是否熔断,如有必要,请更换保险丝④_x0001_ 如经上述检查无误后,测试仪仍未正常启动,请联系本公司进行解决。
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