咪头

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  • 泊头市鸿信德精密机械装备厂的产品广泛应用于电站、冶金、机械、化工、船舶、科研、轻纺、环保、航空、汽车、农机、电器、仪表、医疗器械、五金等生产领域,公司自成立以来已经为国内外2000多家单位提供过服务,产品的质量以及售后服务得到了客户的赞赏。我厂的主要产品:铸铁平板、铸铁平台、铸铁检验平板、铸铁划线平板、铸铁研磨平板、铸铁压砂平板、铸铁铆焊平板、球墨铸铁平板、高磷铸铁平板、震动试验台(又称地轨、地梁)、铸铁平尺、铸铁直角尺、铸铁方箱、偏摆检查仪、机床调整垫铁、防震垫铁、V型铁、花岗石平板(又称大理石平板、岩石平板)等花岗石量具产品以及刀具和三维加夹系统的设计、开发、制造及销售。公司的产品技术含量高,符合国家的产业政策。我厂目前主要的加工设备有8000mm×4000mm龙门铣床2台、9000mm×3000mm龙门刨床1台、6000mm×3000mm龙门刨床2台、6000mm×2000mm龙门刨床1台、4000mm×1500mm龙门刨床1台、大型摇臂钻4台。我厂按照市场经济规律规范动作,法人治理结构齐全,运行机制灵活,组织结构按照“以市场为导向,以销售为龙头”的要求构建,两头在外,中间精干。公司注重严格管理,拥有一支高素质的员工队伍。公司建有全面应用计算机辅助设计和三维运动仿真、有限元分析等手段的设计系统,计量检测手段先进齐全,质量体系完善,已通过ISO9001质量体系的认证,公司能够为用户提供优质的产品和满意的服务。我厂坚持了“以质量为基础,以创新为根本,以服务为生命”的经营理念,大力开发新产品,努力开拓新市场,不仅为国家建设提供了精良的装备,也为企业的发展提供了广阔的发展空间。
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  • 达昌公司坐落在享有“铸造之乡”“汽车模具之乡”的-泊头市,是从事铸造、机加工、机床配套、装配的专业公司。公司自成立以来已经为国内外冶金、机械制造、汽车、机床、电力、电子等20多种行业的1620多家企业和公司提供了100000多台合格的产品和周到的售后服务。泊头达昌机械经过近几年发展成为信誉度高的大型铸铁平台、大理石平台生产企业。达昌公司始终专注于平台制造,致力成为中国大型铸铁量具,花岗石量具,大型机床,机械制造方案解决商之一。达昌已连续十几年来的发展均保持稳定增长。公司主打产品:检验平台、柔性焊接平台,花岗石平板、铸铁平台、划线平台、测量平台、铆焊平台、装配平台、钳工平台、T型槽平台、实验室基础平台、电机试验台、落地镗床工作台、龙门铣刨床工作台、直角尺、方尺、方箱、v型铁、弯板、偏摆检查仪、齿轮跳动检查仪、 水平仪,等精密量具产品深受国内外客户的好评。 面对激烈的市场竞争,我们始终坚持“重视质量,顾客至上”的原则,以客户满意为宗旨,公司自创立以来积极开拓创新,以质量求生存,以服务赢得用户以管理求效益,愿同各界朋友精诚合作,共同发展。
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  • 泊头市龙泰环保设备有限公司是一家专业从事大气环境治理,以科技投入为先导,以过硬的质量为保障,以精良的设备,先进的工艺为核心,是集设计、制造、安装调试及售后服务于一体的大型环保产品开发生产的企业。我公司主要生产单机除尘器,袋式除尘器,矿山除尘器,脉冲除尘器,锅炉除尘器,湿式除尘器/脱硫脱销设备,选矿厂除尘器及水处理设备产品,除尘器配件等。产品分为七大系列:静电除尘器系列、布袋除尘器系列、旋风除尘器系列、湿式除尘器系列、除尘配件产品、除尘布袋产品、输送设备系列,也可根据用户需要进行非标设计及改造安装。并与国内多家知名钢铁厂、热电厂、水泥厂、化工厂、矿山、洗煤厂家等有着多年良好的整机及配件供应合作关系。同时,公司生产的布袋、骨架、电磁脉冲阀、卸料器等还为国内知名的除尘设备生产厂家配套,得到了广大客户和同仁的一致好评。本公司产品从设计、研发、采购、生产、、安装和服务等各个环节,依靠现代化的生产设施及与之相匹配的科学管理模式,采取"依靠科技,不断创新,紧密加工"的质量方针,秉承"高要求,高起点,高标准"的经营理念,以可靠的产品赢得市场,以合理的价格占领市场,以周到的服务赢得信誉。
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  • 3-Canister SteritestTM Equinox三头全自动智能无菌检测系统● 智能化系统,使用户能够创建和储存相应的操作程序● 完美匹配全系列密理博无菌检测装置● 自动泵头闭合设计,使操作更简单化。● 便于清洁、消毒● 性能稳定、结果可靠 无菌检测是无菌产品放行前极为重要的一步。假阳性、假阴性的实验结果以及实验设备故障和人为差错都会对客户带来时间和金钱上的重大损失并直接影响到产品的最终放行。 三头SteritestTMEquinox集菌仪的蠕动泵可以在软件的控制下将不同包装形式的供试品安全、均匀地转移到Steritest和SteriSecure无菌检测装置中。三头Steritest Equinox 泵及 SteriSecure 和 Steritest EZ 检测装置的完美组合使无菌检测的结果更具一致性和可靠性。公认的检测技术 早在上世纪70年代,密理博(Millipore)公司就在世界上率先提出了&ldquo 封闭式无菌检测&rdquo 的概念并同美国FDA共同建立发展了封闭式无菌检测的方法和标准。30多年来,Steritest已经成为药品无菌检测的行业标准。在和用户长期的合作和沟通的基础上,结合检测过程中积累的经验,研制、开发了SteritestTMEquinox集菌仪。创新的硬件设计和控制软件使得操作更便捷,智能化系统也使检验效率和性能得到进一步的优化和提高。新一代的智能无菌检测系统 用户通过计算机可以进行无菌检测标准操作规程(SOPs)的创建和修改,然后下载到三头Steritest Equinox集菌仪上。 设备可以在手动和自动两种模式下运行。在手动模式下,分析员可以设置每一步的操作参数。在自动模式下,分析员可以根据不同产品特性,选择预设好的标准检测规程(实验参数和注意事项等),按照提示完成检测操作,从而提高检测结果的可重复性和可靠性。无菌检测流程SteriSecure 无菌检测装置参数套筒底座滤膜 0.45m 混合纤维素滤筒材料 苯乙烯丙烯腈管道 PVC针头适配器 不锈钢和聚酰胺6-6管道长度 850mm最大工作压力 在25° C下3.15bar(在770F 下45psi)有效期 2年
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  • Firstmark紧密测量头 400-860-5168转1973
    GCD-SE系列PDF下载 紧密测量头GCD_SE系列 弹簧式测量头 GCD_SE系列具有五种单向测量范围,标准量程从0 ~ 0.1英寸到0 ~ 2.0英寸.GCD_SE借助单端8.5到25.0伏直流电输入工作.具有*小的工作电流,特别适用于便携式测量应用.由于采用气密封,GCD_SE还特别适用于湿式研磨和机加工应用.由于采用内部调制,因此输出可以免受输入电压波动和纹波的影响.内置EMI,ESD和RFI保护,确安装后,可以达到CE标准.结合了新型振荡器设计,工作温度范围较广,输出稳定性****.采用同步解调,确保具有优越的噪声抑制功能.特点★符合CE标准 ★全焊接密封结构★单向量程:0.1英寸至2.0英寸★8.5 ~28伏直流供电★功耗低★可电池供电★0 ~ 5和1~6伏直流电输出★新式能承受较重负载的测量头★气密封设计★特殊接触端头
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  • 高精度纳米探头 400-860-5168转4051
    产品简介 ● 光探头:传输激发光源来激发荧光物质。 ● 电探头:纳米工作电极,检测微弱电信号。 ● 光电一体探头:传输激发光源同时作为纳米工作电极检测电信号。 ● 空心探头:传输液体到细胞内部。 实物图 示意图 型号参数
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  • 来自东北的神秘力量——黄桃罐头
    黄桃罐头不是药,却能给你一点儿甜 🍑 “躺平”后的疫情势头猛烈,各式各样的药品早已成为紧俏货。而出人意料的是,黄桃罐头也冲上了热搜。全国人民,无论东南西北,都感受了一把来自东北的“神秘力量”。不少网友在“囤货”的同时,也来了一波“回忆杀”。当孩童时期的黄桃罐头穿越岁月,在今日引发新的风潮,它所唤起的,早已不仅仅是罐头本身的味道,更是一种精神力量。在记忆里,黄桃罐头是生病时的甜蜜犒赏、馋嘴时的稀缺零食、不可复制的童年味道。有博主调侃,黄桃罐头是治感冒的“新型罐装特效药”。黄桃罐头能治病听起来有些玄学,但更多的是一种情怀。以至于面对新冠病毒时,有网友喊出“买不买药不重要,黄桃罐头不能少”的话。这也是它虽身为罐头食品,如今却被算在药物储备里的原因。 黄桃罐头里的“情感寄托”,是疗愈的开始 黄桃罐头是物资匮乏年代下的产物。“小的时候生病了,家里人都会喂给我一些黄桃罐头吃,凉凉的,甜甜的,吃完会舒服很多。”对于很多东北人来说,发烧感冒时吃黄桃罐头,已成为治病环节的一部分,甚至可以戏称为“东北玄学”。然而事实上,感冒发烧吃罐头,只是东北人民在物资匮乏年代的无奈之举。过去发烧感冒时,医生除正常开药外,还会嘱咐吃点水果罐头,其实是因为罐头里含糖。白糖有利尿等作用,有助于身体恢复,但在当时白糖很金贵,所以用水果罐头来代替。在替代糖以外,水果罐头又是新鲜水果的“替身”。过去东北水果稀有,几乎只有苹果、梨、桃子,又难以运输和储存。因此,方便储存、口感甜而不腻,又可补充水、糖分和维生素C的水果罐头,成为生病中的东北人首选的营养品。而让黄桃罐头时至今日再度爆火的根源,可能就是“桃”与“逃”的谐音梗了。在抛梗与接梗的互动中,一些人的焦虑情绪找到了释放的出口,幽默细胞重新占领高地。黄桃罐头里“罐装”进了网友们的集体乐观。心情愉悦了,人面对感冒、发烧等症状时,一定程度上也会更加坦然和豁达。 为黄桃罐头“正名”:罐头食品的不安全?不新鲜? 黄桃罐头虽然火了一把,但罐头食品其实长期以来一直收到人们的偏见。罐头食品一般都有“超长待机”的能力,因而不少人会以为,罐头保质期长主要是因为添加了许多防腐剂。其实不然,罐头食品并不需要添加防腐剂。关于罐头的新鲜问题,我们要先来看看罐头食品的定义。根据《食品安全国家标准-罐头食品》(GB7098-2015):罐头食品是指以水果、蔬菜、食用菌、畜禽肉、水产动物等为原料,经预处理、装罐、密封、加热杀菌等工序加工而成的无菌罐装食品。首先,罐头的标准化生产和保鲜技术经过数百年的进化发展,已经相当成熟。罐头的制作主要分为六个步骤:原料预处理→装罐和预封→排气→密封→杀菌→冷却。经过加工后的罐头食品一般能常温储存12个月以上。这种保鲜能力主要靠的是“排气、密封、杀菌”这三个关键步骤。它们能最大程度地杀灭让食物腐烂变质的微生物。也就是说,罐头食品的保鲜根本不需要添加防腐剂。就算有,也非常非常少。所以,罐头食品的超长保质期是因为其特殊的工艺和包装特性,市面上常见的罐头包装:马口铁、玻璃瓶、各种软包装等,都是完全的密封包装,可以使灭过菌的食品处于真空状态下,阻隔外界污染进入,防止细菌等的再次滋生,在常温条件下保存也不会变质。 罐头保鲜的关键 之:卷封质量 先前提到,罐头食品是在食物完成灌装及密封后进行杀菌,把罐头内的细菌杀灭,同时阻止罐头外的细菌进入罐头,使罐头食品处在无菌状态下保存,自然就可长时间保存了。显然,罐头的密封性是至关重要的,它取决于罐体与罐盖材料的隔绝性和罐体与罐盖之间的卷封质量。而铝制包装的材料密闭性都很好,因而影响其密封性能的关键,就在于罐子与盖子的接缝处的密封性,也就是卷封紧密性。卷封,即罐体和盖子的结合部位,是至关重要的密封位置。卷封结构是由罐子翻边,和盖子卷缘压合成形,形成一个罐身和盖子相互钩叠,缝隙处由密封胶密封的结构。1. 无损卷封检测卷封工艺通过控制结构尺寸和紧密度来达成卷封的质量。检测方式分传统投影检测和无损检测。投影检测即在卷封上沿直径方向切割出卷封坡面,在投影仪上通过放大测量的方式。这种检测方式需要损耗罐头产品。而无损检测,顾名思义,就是不损耗罐头产品,通过X光对卷封进行测量的一种方案。无损卷封检测系统检测效率高,对检测环境也很友好。工业物理旗下CMC-KUHNKE可提供无损的卷封检测设备,XTS系列。XTS系列产品采用X光传射金属时,其衰减与材料的密度和厚度成比例。卷封特有的结构形成了各个位置材料不同厚度的叠加,非常使用X光检测技术的应用。设备可配置为在线或离线版本,从生产线或独立传送带上进行全自动罐装检测,满足不同的产线需求。检测项目可包含紧密度、卷封厚度、埋头深度、罐高、卷封宽度、身钩长度、盖钩长度、搭接长度、卷封顶隙、搭接率、身钩率、盖钩率等。此外,设备可以自动识别并测量卷封的内部结构及紧密度,可测多达100多个数据点,并通过串行接口导出测量数据。其中,实验室版本的 SEAMscan XTS - X射线紧密度扫描仪可检测二重卷封结构尺寸,也可精确测量卷封内部的皱纹度(全球唯一专利)。盖钩皱纹度的检测结果会自动发送到电脑数据库,电脑可以实时显示卷封质量变化趋势,并分析结果。整个测量过程仅需要70秒。戳下方视频,让您更直观地感受这台X射线紧密度扫描仪的简单便捷⬇ ️ X射线穿过二重卷封,探测盖钩形状的微妙变化。电脑通过程序算法分析卷封内部各个部位的变化情况,以确定是否对卷封的密封情况造成影响。检测结果可以显示为紧密度百分比,亦或是皱纹度或紧密度平均值的形式显示。通过运行Virtual Seam Teardown&trade (卷封虚拟拆卸)功能,可以看到身钩和盖钩彼此叠接的真实情况,是以往无法想象的。 2. 在线卷封视觉检测 而由于罐子的特性,空罐或卷封在加工过程中可能产生一些变形的外部缺陷,在卷封抽检尺寸时,可能出现未抽检的样品存在缺陷的情况。工业物理已经为这种情况准备了解决方案:Eagle Vision在线卷封视觉检测。Eagle Vision卷封视觉检测系统,用于检测罐子整圈卷封的外观视觉效果。系统采用在卷封周边布置的相机对卷封进行检测,对存在外观瑕疵的卷封进行剔除。系统架设在卷封机后的输送线上,对产品进行100%在线全检,但不影响生产线的生产效率。 容易被忽略的关键因素:罐子顶空气体分析 影响罐头新鲜度的另一大因素,就是罐头内的顶空气体分析。这里还有一个“冷知识”。其实,顶空气体的英文“Headspace”最早就是形容罐头食品内的顶部气体。而针对罐装食品及饮料厂商,工业物理也可提供罐内的微量顶空气体分析。Systech Illinois 希仕代GS系列顶空分析仪可选配一个坚硬罐体采样台,支持刚性罐和铝罐测试,以便使用标准针式探头进行准确分析。45° 角的适配器也可用于帮助测量小体积的顶空。对铝罐内顶空气体的分析测量,确保为您定制适用于您产品类型的夹具。 工业物理:守护每一罐香甜与安心 经过以上重重步骤,一罐罐经过严格监控的黄桃罐头,就可在无菌状态下有效的长时间保存了。因此,黄桃罐头的新鲜度与营养价值是完全无需担心的。黄桃罐头不是药,但它能给你一点儿甜,让你回味起儿时感冒了捂在被窝里不用上学,有家人疼爱的那份美好。吃完一罐,砸吧砸吧嘴,感觉又能支棱起来,面对一切,当然,黄桃虽好,也不能多吃。工业物理提醒您,在食用时,要注意适量,特别是咳嗽时不要食用,有可能会加重症状。而工业物理能做的,是提供各类卷封测试、顶空测量、磨损检测、罐外观视觉检测、铝罐硬度测试等全面的罐体检测方案,为您守护每一罐香甜与安心。点击此处,您可跳转阅读完整版工业物理罐体检测应用✨
  • “艳妆”猪头肉出锅的奥秘
    “艳妆”猪头肉出锅的奥秘 ——揭开一些熟食加工小作坊的“公开秘密” 从2010年9月开始,浙江义乌开始推行肉类熟食工厂化生产。图为义乌华统肉制品有限公司开足马力生产第二天上柜的肉类熟食。   “都是猪头肉,怎么颜色差别这么大啊,有的红得不正常,有的颜色发黑。”近日,山东蓬莱市民张女士反映,丈夫爱吃猪头肉,可她最近发现几家熟食店以及超市和流动摊点所卖的猪头肉的颜色都不一样,有的鲜艳得吓人,有的“红得发紫发黑”。“我在家自己做的猪头肉也放了些调料,但是颜色挺白的,这究竟是怎么回事儿?”针对张女士的困惑,笔者进行了一番调查走访。   颜色差别大   笔者走访了蓬莱市区几家熟食店、饭店和大型超市的肉食区发现,同样是猪头肉,其颜色的深浅却不一样。超市及一些饭店所卖的猪头肉颜色多偏浅、呈棕色,表面干燥,而小熟食店卖的多颜色鲜亮、发红,一些流动摊点所卖的“酱猪头肉”红得都有些发黑,看着有肥腻感。价格也差别较大,超市内销售的猪头肉多为品牌熟食,每公斤在40元以上,流动摊点的一般不足40元1公斤。“猪头肉脱油脱脂的,绝对健康,来一点儿?”北关路某大型超市肉食区一名销售人员告诉笔者,超市内的品牌熟食都是厂家配送,当笔者问销售人员是否有添加剂时,她说:“这些熟食从出厂到进超市要经过好几道检查,绝对安全。”   “只要放些调料、盐,慢慢炖就可以了。”当笔者问到猪头肉的制作方法时,画河附近一家熟食店老板警惕地看了笔者一眼,含糊地回答。再追问具体配料,老板不再理会。在金水街的一些流动摊点,笔者看到有小贩正在贩卖刚刚煮好的猪头肉。笔者看到,不光内部的瘦肉,就连表面的肥肉都发红,肉表面还挂着酱油颜色的汁液。“这是用特制的酱汤煮的。”小贩说。问酱汤的配料,小贩称是家传秘方,不肯透露。   凭感觉添加   “要想猪头肉卖相好看,一般都需要一种添加剂,学名叫亚硝酸钠。”从事熟食行业多年的陈先生向笔者详细介绍了猪头肉的制作过程。他透露,如果不放亚硝酸钠,煮出来的肉会发白,顾客不喜欢。据陈先生介绍,在煮猪头肉的时候加入亚硝酸钠已经成为小熟食店之间“公开的秘密”,“放上它煮猪头肉易烂,而且色泽红润。”   至于用量,陈先生说也不会严格地称,基本上都是凭感觉进行添加,“肉多就多放一点儿,肉少就少放一点儿,一般一锅用一小撮儿,二三克左右吧,一般说只要不大量放,也没有多大的坏处。”“猪头肉煮好后,还有一道上色的工序,我用的是麦芽糖,而有的人用色素。”陈先生说。   据了解,亚硝酸钠又称工业盐,在工业、建筑业中广为使用,它虽被应用于食品添加剂,具有防腐保鲜作用,但是对人体有害。亚硝酸钠是致癌物质。因而,我国在GB2760《食品添加剂使用卫生标准》中,对亚硝酸盐的使用范围和使用量作了严格控制。标准规定,在肉制品中,亚硝酸钠的最大使用量为每公斤0.15克,残留量不得超过每公斤0.03克。笔者查阅相关资料了解到,我国因亚硝酸钠导致的中毒事件屡有发生。   亚硝酸钠随便买   蓬莱市是否有卖亚硝酸钠的地方?亚硝酸钠的使用标准究竟有什么规定?近日笔者进行了暗访。在蓬莱登州市场一家调味品店,笔者就相关问题询问了店主。   “我想煮一些猪头肉,一般该买些什么添加剂啊?”笔者问。“这要看你想要达到什么效果了?”店主回答说。“还有很多种吗?”笔者又问。“那当然了,有可以让肉容易煮烂的,比如嫩肉粉,有用来上色的,可以买亚硝酸钠。”店主说,猪头肉店的人经常大批量来进购亚硝酸钠。店主拿出一包亚硝酸钠,笔者看到,这些用于食品添加剂的亚硝酸钠呈白色小颗粒状,外观与食盐很相似,背面明确地写着控制用量:腌制畜、禽肉类罐头、肉制品不得超过0.15克/公斤,肉制品残留量不得超过0.03克/公斤,与国家规定的限制用量一致。   当笔者问及怎么控制用量时,店主表示:“我只知道煮猪头肉用这个,至于怎么用,用多少,那就得你自己看着办,自己控制了。”笔者还了解到,相对来说,不正规的小作坊在生产食品的过程中对这些食品添加剂的用量控制更随意。“他们也都是凭感觉来的,没出过什么问题,你就放心用吧。”该店主说。   山东蓬莱市质监部门有关专家提醒消费者,病从口入,采购食品时请多留个心眼儿,尽量到各类食品许可证齐全的销售点购买,不要购买流动摊点上的散装熟食,不要食用色泽异常鲜亮的肉制品。
  • 用于纳米级表面形貌测量的光学显微测头
    用于纳米级表面形貌测量的光学显微测头李强,任冬梅,兰一兵,李华丰,万宇(航空工业北京长城计量测试技术研究所 计量与校准技术重点实验室,北京 100095)  摘 要:为了满足纳米级表面形貌样板的高精度非接触测量需求,研制了一种高分辨力光学显微测头。以激光全息单元为光源和信号拾取器件,利用差动光斑尺寸变化探测原理,建立了微位移测量系统,结合光学显微成像系统,形成了高分辨力光学显微测头。将该测头应用于纳米三维测量机,对台阶高度样板和一维线间隔样板进行了测量实验。结果表明:该光学显微测头结合纳米三维测量机可实现纳米级表面形貌样板的可溯源测量,具有扫描速度快、测量分辨力高、结构紧凑和非接触测量等优点,对解决纳米级表面形貌测量难题具有重要实用价值。  关键词:纳米测量;激光全息单元;位移;光学显微测头;纳米级表面形貌0 引言  随着超精密加工技术的发展和各种微纳结构的广泛应用,纳米三坐标测量机等精密测量仪器受到了重点关注。国内外一些研究机构研究开发了纳米测量机,并开展微纳结构测量[1-4]。作为一个高精度开放型测量平台,纳米测量机可以兼容各种不同原理的接触式测头和非接触式测头[5-6]。测头作为纳米测量机的核心部件之一,在实现微纳结构几何参数的高精度测量中发挥着重要作用。原子力显微镜等高分辨力测头的出现,使得纳米测量机能够实现复杂微纳结构的高精度测量[7-8],但由于其测量速度较慢,对测量环境要求很高,不适用于大范围快速测量。而光学测头从原理上可以提高扫描测量速度,同时作为一种非接触式测头,还可以避免损伤样品表面,因此,在微纳米表面形貌测量中有其独特优势。在光学测头研制中,激光聚焦法受到国内外研究者的青睐,德国SIOS公司生产的纳米测量机就包含一种基于光学像散原理的激光聚焦式光学测头,国内也有一些大学和研究机构开展了此方面的研究[9-11]。这些测头主要基于像散和差动光斑尺寸变化检测原理进行离焦检测[12-13]。在CD和DVD播放器系统中常用的激光全息单元已应用于微位移测量[14-15],其在纳米测量机光学测头的研制中也具有较好的实用价值。针对纳米级表面形貌的测量需求,本文研制了一种基于激光全息单元的高分辨力光学显微测头,应用于自主研制的纳米三维测量机,可实现被测样品的快速瞄准和测量。1 激光全息单元的工作原理  激光全息单元是由半导体激光器(LD)、全息光学元件(HOE)、光电探测器(PD)和信号处理电路集成的一个元件,最早应用于CD和DVD播放器系统中,用来读取光盘信息并实时检测光盘的焦点误差,其工作原理如图1所示。LD发出激光束,在出射光窗口处有一个透明塑料部件,其内表面为直线条纹光栅,外表面为曲线条纹全息光栅,两组光栅相互交叉,外表面光栅用于产生焦点误差信号。LD发出的激光束在光盘表面反射回来后,经全息光栅产生的±1级衍射光,分别回到两组光电探测器P1~P5和P2~P10上。当光盘上下移动时,左右两组光电探测器上光斑面积变化相反,根据这种现象产生焦点误差信号。这种测量方式称为差动光斑尺寸变化探测,焦点误差信号可以表示为  根据焦点误差信号,即可判断光盘离焦量。图1 激光全息单元  根据上述原理,本文设计了高分辨力光学显微测头的激光全息测量系统。2 光学显微测头设计与实现  光学显微测头由激光全息测量系统和光学显微成像系统两部分组成,前者用于实现被测样品微小位移的测量,后者用于对测量过程进行监测,以实现被测样品表面结构的非接触瞄准与测量。  2.1 激光全息测量系统设计  光学显微测头的光学系统如图2所示,其中,激光全息测量系统由激光全息单元、透镜1、分光镜1和显微物镜组成。测量时,由激光全息单元中的半导体激光器发出的光束经过透镜1变为平行光束,该光束被分光镜1反射后,通过显微物镜汇聚在被测件表面。从被测件表面反射回来的光束反向通过显微物镜,一小部分光透过分光镜1用于观察,大部分光被分光镜1反射,通过透镜1,汇聚到激光全息单元上,被全息单元内部集成的光电探测器接收。这样,就将被测样品表面瞄准点的位置信息转换为电信号。在光学显微测头设计中选用的激光全息单元为松下HUL7001,激光波长为790 nm。图2 光学显微测头光学系统示意图  当被测样品表面位于光学显微测头的聚焦面时,反射光沿原路返回激光全息单元,全息单元内两组光电探测器接收到的光斑尺寸相等,焦点误差信号为零。当样品表面偏离显微物镜聚焦面时,由样品表面反射回来的光束传播路径会发生变化,进入激光全息单元的反射光在两组光电探测器上的分布随之发生变化,引起激光全息单元焦点误差信号的变化。当被测样品在显微物镜焦点以内时,焦点误差信号小于零,而当被测样品在显微物镜焦点以外时,焦点误差信号大于零。因此,利用在聚焦面附近激光全息单元输出电压与样品位移量的单调对应关系,通过测量激光全息单元的输出电压,即可求得样品的位移量。  2.2 显微物镜参数的选择  在激光全息测量系统中,显微物镜是一个重要的光学元件,其光学参数直接关系着光学显微测头的分辨力。首先,显微物镜的焦距直接影响测头纵向分辨力,在激光全息单元、透镜1和显微物镜之间的位置关系保持不变的情况下,对于同样的样品位移量,显微物镜的焦距越小,样品上被测点经过显微物镜和透镜1所成像的位移越大,所引起激光全息单元中光电探测器的输出信号变化量也越大,即测量系统纵向分辨力越高。另外,显微物镜的数值孔径对测头的分辨力也有影响,在光波长一定的情况下,显微物镜的数值孔径越大,其景深越小,测头纵向分辨力越高。同时,显微物镜数值孔径越大,激光束会聚的光斑越小,系统横向分辨力也越高。综合考虑测头分辨力和工作距离等因素,在光学显微测头设计中选用大恒光电GCO-2133长工作距物镜,其放大倍数为40,数值孔径为0.6,工作距离为3.33 mm。  2.3 定焦显微测头的实现  除激光全息测量系统外,光学显微测头还包括一个光学显微成像系统,该系统由光源、显微物镜、透镜2、透镜3、分光镜1、分光镜2和CCD相机组成。光源将被测样品表面均匀照明,被测样品通过显微物镜、分光镜1、透镜2和分光镜2,成像在CCD相机接收面上。为了避免光源发热对测量系统的影响,采用光纤传输光束将照明光引入显微成像系统。通过CCD相机不仅可以观察到被测样品表面的形貌,而且也可以观察到来自激光全息单元的光束在样品表面的聚焦情况。  根据图2所示原理,通过光学元件选购、机械加工和信号放大电路设计,制作了光学显微测头,如图3所示。从结构上看,该测头具有体积小、集成度高的优点。将该测头安装在纳米测量机上,编制相应的测量软件,可用于被测样品的快速瞄准和高分辨力非接触测量。图3 光学显微测头结构3 测量实验与结果分析  为了检验光学显微测头的功能,将该测头安装在纳米三维测量机上,使显微物镜的光轴沿测量机的Z轴方向,对其输出信号的电压与被测样品的离焦量之间的关系进行了标定,并用其对台阶高度样板和一维线间隔样板进行了测量[16]。所用纳米三维测量机在25 mm×25 mm×5 mm的测量范围内,空间分辨力可达0.1 nm。实验在(20±0.5)℃的控温实验室环境下进行。  3.1 测头输出电压与位移关系的建立  为了获得光学显微测头的输出电压与被测表面位移(离焦量)的关系,将被测样板放置在纳米三维测量机的工作台上,用精密位移台带动被测样板沿测量光轴方向移动,通过纳米测量机采集位移数据,同时记录测头输出电压信号。图4所示为被测样板在测头聚焦面附近由远及近朝测头方向移动时测头输出电压与样品位移的关系。图4 测头电压与位移的关系  由图4可以看出,光学显微测头的输出电压与被测样品位移的关系呈S形曲线,与第1节中所述的通过差动光斑尺寸变化测量离焦量的原理相吻合。当被测样板远离光学显微测头的聚焦面时,电压信号近似常数。当被测样板接近测头的聚焦面时,电压开始增大,到达最大值后逐渐减小;当样板经过测头聚焦面时,电压经过初始电压值,可认为是测量的零点;当样品继续移动离开聚焦面时,电压继续减小,到达最小值时,电压又逐渐增大,回到稳定值。在电压的峰谷值之间,曲线上有一段线性较好的区域,在测量中选择这段区域作为测头的工作区,对这段曲线进行拟合,可以得到测头电压与样板位移的关系。在图4中所示的3 μm工作区内,电压与位移的关系为  式中:U为激光全息单元输出电压;∆d为偏离聚焦面的距离。  3.2 台阶高度测量试验  在对光学显微测头的电压-位移关系进行标定后,用安装光学显微测头的纳米三维测量机对台阶高度样板进行了测量。  在测量过程中,将一块硅基SHS-1 μm台阶高度样板放置在纳米三维测量机的工作台上,首先调整样板位置,通过CCD图像观察样板,使被测台阶的边缘垂直于工作台的X轴移动方向,样板表面位于光学显微测头的聚焦面,此时测量光束汇聚在被测样板表面,如图5所示。然后,用工作台带动样板沿X方向移动,使测量光束扫过样板上的台阶,同时记录光学显微测头的输出信号。最后,对测量数据进行处理,计算台阶高度。图5 被测样板表面图像  台阶高度样板的测量结果如图6所示,根据检定规程[17]对测量结果进行处理,得到被测样板的台阶高度为1.005 μm。与此样板的校准结果1.012 μm相比,测量结果符合性较好,其微小偏差反映了由测量时温度变化、干涉仪非线性和样板不均匀等因素引入的测量误差。图6 台阶样板测量结果  3.3 一维线间隔测量试验  在测量一维线间隔样板的过程中,将一块硅基LPS-2 μm一维线间隔样板放置在纳米测量机的工作台上,使测量线沿X轴方向,样板表面位于光学显微测头的聚焦面。然后,用工作台带动样板沿X方向移动,使测量光束扫过线间隔样板上的刻线,同时记录纳米测量机的位移测量结果和光学显微测头的输出信号。最后,对测量数据进行处理,测量结果如图7所示。  根据检定规程[17]对一维线间隔测量结果进行处理,得到被测样板的刻线间距为2.004 μm,与此样板的校准结果2.002 μm相比,一致性较好。  3.4 分析与讨论  由光学显微测头输出电压与被测表面位移关系标定实验的结果可以看出:利用在测头聚焦面附近测头输出电压与样品位移量的单调对应关系,通过测量测头的输出电压变化,即可求得样品的位移量。在图4所示曲线中,取电压-位移曲线上测头聚焦面附近的3 μm位移范围作为工作区,对应的电压变化范围约为0.628 V。根据对电压测量分辨力和噪声影响的分析,在有效量程内测头的分辨力可以达到纳米量级。  台阶高度样板和一维线间隔样板测量实验的结果表明:光学显微测头可以应用于纳米三维测量机,实现微纳米表面形貌样板的快速定位和微小位移测量。通过用纳米测量机的激光干涉仪对光学显微测头的位移进行校准,可将测头的位移测量结果溯源到稳频激光的波长。实验过程也证明:光学显微测头具有扫描速度快、测量分辨力高和抗干扰能力强等优点,适用于纳米表面形貌的非接触测量。4 结论  本文介绍了一种用于纳米级表面形貌测量的高分辨力光学显微测头。在测头设计中,采用激光全息单元作为位移测量系统的主要元件,根据差动光斑尺寸变化原理实现微位移测量,结合光学显微系统,形成了结构紧凑、集测量和观察功能于一体的高分辨力光学显微测头。将该测头安装在纳米三维测量机上,对台阶高度样板和一维线间隔样板进行了测量实验,结果表明:该光学显微测头可实现预期的测量功能,位移测量分辨力可达到纳米量级。下一步将通过多种微纳米样板测量实验,进一步考察和完善测头的结构和性能,使其更好地适合纳米三维测量机,应用于微纳结构几何参数的非接触测量。作者简介李强,(1976-),男,高级工程 师,主要从事纳米测量技术研究,在微纳米表面形貌参数测量与校准、微纳尺度材料力学特征参数测量与校准、复杂微结构测量与评价等领域具有丰富经验。

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