光缘测试仪

CIS / ALS / 光传感器晶圆测试仪SG-O产品介绍：提供您在 CIS / ALS / 光传感器晶圆级测试中所需的一切SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪，它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱，以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。探测器可以处理最大。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O 集成了超低噪音热卡盘，可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围，具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。特色:高度均匀的光源1. 从 UV 到 SWIR 的宽光谱范围2. 超过 50mm x 50mm 区域的高度均匀性超过 98%3. 超稳定光强度，可维持不稳定性 0.2% 长达10小时以上4. 高光强动态范围，高达 140dB可编程自动探测器1. 200mm ~ 10mm 晶圆或芯片处理能力2. 用于最准确可靠的 DC / CV、RF 测量3. 稳定的功能显微镜系统4. 整合硬件控制面板5. 自动晶圆装载机6. 智能晶圆映射宽温低噪音卡盘1. 模块化卡盘2. -80°C 至 180°C 的宽温度范围3. 先进的 CDA 热控制技术，高斜坡率和高 T 稳定性4. 用于精确 CIS / ALS/ 光传感器晶圆测试的超低噪声系统设计SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪（晶圆级）系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制，以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000，由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ，涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。高度均匀的光源光谱范围：400nm 至 1700nm色温：3000K 至 5200K均匀照明面积：42mm x 25mm，工作距离 200mm照度均匀度：优于98%短期光不稳定性：≤ 1% 超过 1 小时长期光不稳定性：≤ 1% 超过 10 小时DUT与最后一个光学组件之间的工作距离：≥200mm工作距离单色光生成： 1. 10nm FWHM 中心波长：420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm 2. 25nm FWHM 中心波长：1010nm, 1250nm, 1450nm 3. 45±5nm FWHM 中心波长： 815nm 4. 50nm FWHM 的中心波长：1600nm 5. 60±5nm FWHM 中心波长：650nm 6. 70±5nm FWHM 的中心波长：485nm, 555nm 7. 100±5nm FWHM 的中心波长：1600nm带外透光率 ≤ 0.01%带通区峰值传输 ≥ 80%中心波长容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nmFWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm可变衰减器：PC 控制的 3-decade 分辨率，至少 1000步半自动晶圆探针：晶圆尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片晶圆处理：单晶圆，手动进料型半自动化：一步手动对准教和自动模步进XYZ 平台卡盘 XY 载物台行程：210mm x 300mm卡盘 XY 平台分辨率：优于 0.5um夹头 XY 平台精度：优于 2.0um卡盘 XY 平台速度：最慢：10 微米/秒，最快：50 毫米/秒Chuck Z 载物台行程：50mmChuck Z 平台分辨率：0.2um卡盘 Z 平台精度：±2.0umTheta 平台Theta 载物台行程：± 5 度运动范围Theta 分辨率：优于 0.01 度Theta 精度：0.1 度卡盘卡盘平整度 ≤ 10um卡盘热操作：-60°C 至 200°C25°C 时的卡盘泄漏： 25°C 时在 10V 偏压下每个电压 ≤ 20fA卡盘剩余电容 ≤ 95fF探针卡探针卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸长探针卡座与压板之间的间隙：≥ 7.5mm微型腔室EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范围内 ≥ 30dB系统交流噪声：≤ 5mVp -p光谱辐照度计光谱范围：400nm 至 1600nm波长分辨率：400nm 到 1000nm 增加步长 1nm；1000nm 到 1600nm 增加步长 3.5nm主要表现 SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件，SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令，例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。来自 SG-O 显微镜系统的 CIS / ALS / 光传感器芯片图像SG-O 的高度均匀光源具有一个超稳定的光引擎，在整个波长范围内，短期或长期的光强不稳定性均优于 0.2%。

仪器简介：锐利边缘测试仪 ﹡评定玩具在正常使用及合理滥用后所存在或产生割伤的危险。 ﹡金属外壳，保证仪器的经久耐用。加长型脚踏开关使操作更加方便。 ﹡特有力值光电感应指示功能，能准确保证测试时力值固定在1。35磅，避免了指示线由于不同角度观察而产生的误差。 ﹡特有力值外置式调节功能，可以非常方便地调整实际力值与显示值一致，保证力值校正时的准确性。 符合标准：16 CFR 1500.49 ASTM F 963 4.7 EN-71 1998 8.11技术参数：锐利边缘测试仪 利边测试器测试方法： 1． 在利边测试器测试轴上卷一圈TFE胶纸，其重叠尺寸不能超过0.1in。 2． 固定样品位其所测试边端不可移动及弯曲。 3． 当装配好的玩具可触边端其位置不够实验，样品应拆掉来测试，但如果拆掉会影响其硬度，可用其它对象使其坚硬，但其支持面积不能大于被测试物。 4． 测试器与测试边端间的角度为90° ± 5° 。 5． 所测试物边端与胶纸的接触点要在大约胶纸调度中间部位。 6． 所测试的对象应用其不利的位置测试。 7． 将利边测试器力度调到1.35 LBS。 8． 施加力度使测试边端受力为1.35 LBS。 9． 开动测试器形状便其轴旋转一圈。 10．小心的拆开胶纸不要扩大其割破尺寸/用钢尺量取其割破长度。 锐利边缘测试仪 判定：如果割破长度超过0.5in则测试边端为利边。附件： 1．TNC27A 充电电源 2．TNC27B 脚踏开关 3．TNC27C 标准进口锐边胶纸 4．TNC27D 桌面固定板 5．TNC27E 校正装置主要特点：技术特性： 1). 测试轴应用钢材制成并加硬处理,表面要光滑,测试时要垂直施加到转轴上的大少为1.35LB. 2). 测试轴在其75%的转程中,切线速度为1.00± 0.08英寸/秒. 3). 测试胶纸为压敏型聚四氟乙烯(TFE)的高温电绝缘带.

绝缘材料CTI测试仪五个试样经受50滴液滴期间未电痕化失效和不发生持续燃烧时的最大电压值(以V表示)，还包括100滴液滴试验时关于材料性能叙述。注1:在任何较低的试验电压条件下，不发生电痕化失效和持续燃烧。注2:CTI判断标准可要求关于蚀损程度的描述。注3:在试验时，允许材料非持续燃烧不导致失效，但是除非考虑其他因素更为重要，否则材料发光不燃烧是首选因素，参见附录A。注4:某些材料可以承受较高的试验电压，但在较低的试验电压下反而会发生失效参见11.2。3.6绝缘材料CTI测试仪满足标准：GB/T6553-2003 及 IEC60587：1984《评定在严酷环境条件下使用的电气绝缘材料耐电痕化和蚀损的试验方法》GB_T3048.7-2007电线电缆电性能试验方法_第07部分：耐电痕试验产品概述：高电压起痕试验仪适用于对电工电子产品、家用电器及其材料进行耐电痕化和蚀损的试验，模拟在工频（48Hz - 62Hz）下，用液体污染物和斜面试样，通过耐电痕化和蚀损的测量评定在严酷环境条件下使用的电气绝缘材料的耐电痕化和蚀损等级。产品特点：01、试样数量:本仪器支持5路试样同时进行试验，每路都有独立的控制系统进行控制02、测控电路:本仪器核心控制系统由西门子PLC控制，通过光电隔离方式进行采集电压和电流，有效解决抗干扰问题使数据采集保持稳定03、操作显示:本仪器显示部分是10寸触摸屏，操作方便，数据显示直观，能够实时显示每个试样的实时泄露电流和从实验开始至此时的电流值以及每个试样的实时电压值。04、报警提示:泄露电流0mA到100mA范围内可以自由设置，当实验中当某一路试验电流超过设定电流值时，能够提示报警，并切断该路高压电源，并不影响其它试样继续做试验05、滴液控制:滴液流量大小由蠕动泵控制；蠕动泵的流量可在10寸触摸屏上根据实际需求自由设定，设置简单便捷；且流量在试验过程中实时显示。06、液体回收：本设备的盛放试验液体的槽和试验用过的液体分开盛放。保证试验液体的性。07、时间记录：本设备中每组试验的时间实时记录，单位为分钟。08、自动升压：设定试验电压，自动升到指定的电压。09、自动归零：试验完毕后，电压自动归到零位10、试验时间：可以自主设定试验时间11、排风系统：具有独立排风的抽风系统，可将试验过程中产生的有害气体有效的排除室外，。12、照明系统：本仪器配有独立照明系统，当需要观察内部试验情况且外部灯光亮度不够时可开启照明灯。13、电压稳定：本设备的高压通过自耦变压器调压后的电压供给固定变比的油浸式变压器从而产生高压。由于油浸式变压器油固定的容量，则能保证在固定电压下做实验时，试验回来中的电压降很低。14、数据校准：设备长时间使用后会造成电压和电流的变化，本设备可对电压和电流进行校准。15、试验电压：直流电压，交流电压16、试验方法：恒定电压法，逐级电压法绝缘材料CTI测试仪本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则)的规定起草。本文件代替GB/T4207--2012《固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法》,与GB/T 4207-2012相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:a)增加了“材料成分和表面状况对测量结果影响的描述"(见第1章) GB/T 4207--2022/TEC 60112,2020本文件由全国电气绝缘材料与绝缘系统评定标准化技术委员会(SAC/TC 301)归口。本文件起草单位,四川东材科技集团股份有限公司,苏州太湖电工新材料股份有限公司.江苏钰明新材料有限公司、浙江荣泰科技企业有限公司,深圳市沃尔核材股份有限公司、东方电气集团东方电机有限公司、江苏中车电机有限公司、安徽威能电机有限公司、中车水济电机有限公司、广东明阳电气股份有限公司、江苏中天伯乐达变压器有限公司、机械工业北京电工技术经济研究所、无锡江南电缆有限公司、安徽天康(集团)股份有限公司、上海电器设备检测所有限公司,深圳市沃尔热缩有限公司,桂林电器科学研究院有限公司、哈尔滨理工大学、苏州巨峰电气绝缘系统股份有限公司,珠海康晋电气股份有限公司.本文件主要起草人:陈昊、刘亚丽、李杰霞,施文磊、朱永明、郑敏敏,张润川,何明鹏、邵平安、李培新、耿涛、郭献清、封春波,鲍启伟、夏喜明、管兆杰、沈秀晴、黄海琴,夏宇、沈茂雄、高俊国、郭宁。固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法1范围本文件描述了固体绝缘材料耐电痕化和相比电痕化指数的测量方法,适用于交流电压下使用的设备元件和盘状材料。本文件提供了按照要求测定电蚀损的程序。注1，耐电痕化指数的测量可作为材料的验收标准,也可作为对材料及零部件进行质量控制的方法，相比电痕化指绝缘材料CTI测试仪本文件适用于评定材料的成分和表面特性。材料的成分和表面状况都直接影响评定的结果,因此在选用合适的材料前应考虑其成分和表面状况的影响。本文件测试结果不能直接用于评估电气设备的安全爬电距离。注2:本文件符合IEC60664-1。注3，通过本试验,可以鉴别在潮湿环境下工作的电气设备上的材料耐电痕化性能优劣，若需评定户外使用材料的性能,则可采用更严酷的长期试验,采用较高电压和尺寸更大的试样(见IEC60587的斜板试验),其他试验方法(如斜板法)可与本文件给出的澳定试验的材料排列顺序不同。2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件 不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。ISO4287产品几何技术规范(GPS)表面结构:轮廓法术语、定义和表面结构参数[Geometrical Product Specification (GPS)-Surface texture: Profile method-Terms, definition andsurface texture parameters]注。GB/T3505-2009产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语,定义及表面结构参数(ISO 4287。绝缘材料CTI测试仪更改了“电痕化失效”术语定义的注释(见3.2,2012年版的 3.2) e)更改了“相比电痕化指数”术语定义的注释,并增加了注1和注4的内容(见3.5,2012年版的3.5) D增加了“去离子水”术语和定义(见3.8) g)更改了“原理"注释的内容(见第4章,2012年版的第4章) h)更改了“试样”中试样加工工艺可参考的文件,增加了注6和注7的技术内容(见第5章，2012年版的第5章) i)更改了“环境条件”中环境温度的界定,由“23℃±5 ℃”改为“(23±2)℃”,并增加了开始测试时间的要求(见6.1,见2012年版的6.1) j)更改了“溶液 A”的描述,删除了配置溶液用去离子水电导率的要求,增加了注2(见7.3.2012年版的7.3) k)更改了“溶液 B”的描述,改为“见附录B”(见7.3,2012年版的7.3) 1增加了溶液C的成分和配比要求,电阻率要求和表面张力要求(见7.3.2012年版的7.3) m)更改了“滴液装置”的技术内容,增加了滴液之间的目标时间的要求,增加了“注2”内容(见7.4，2012年版的7.4) 耐电痕化指数prooftrackingindex PTI五个试样经受50滴液滴期间未电痕化失效和不发生持续火焰所对应的耐电压数值，以V表示。注:在试验时，允许材料发生非持续火焰不导致失效，但是除非考虑其他因素更为重要，否则材料发光不燃烧是首选因素，参见附录A。3.8去离子水de-ionizedwater符合ISO 3696中的3级标准或同等品质分析性的实验室用水。可使用表面非常平坦的试样，其面积足够大，确保试验期间液体不会从测试电极之间流走。注1:尽管可采用更小的尺寸，但推荐平面尺寸应不小于20mmX20mm，以减少电解液流出试样边缘损失，只要电解液不损失，也可采用尺寸为15mmx15mm的试样，例如ISO3167中规定的多用途试样。注2:通常情况下，每次试验采用独立的试样。如果要在同一试样上进行多次测试，测试点之间的距离宜足够远，避免测试点产生的闪光或烟雾及腐蚀后的产物不会污染或影响其他待测区域。