H2O2溶液中的可溶性有机杂质会对半导体工艺和半导体产品造成影响。由于基体产生化学反应,因此分析 H2O2溶液中的有机物含量极为困难。此外,H2O2溶液中的有机化合物很稳定,即使在高反应条件下也难以被完全氧化。要想对H2O2溶液进行准确而稳健的总有机碳分析,就需要一种能够有效氧化稳定的有机化合物的仪器和方法。
Sievers InnovOx ES实验室型分析仪能够准确地、精确地测量30%的浓缩H2O2溶液中的各种TOC浓度。在整个测量过程中,分析仪器表现出很好的稳定性,并且耐受H2O2基体,在规定的维护周期内没有发生降解。
方案
用Sievers InnovOx ES TOC分析仪分析过氧化氢中的TOC