六氟丁二烯中六氟丁二烯检测方案

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作为能替代传统温室效应的新型环保高效蚀刻气，六氟丁二烯中杂质的检测十分重要，为保证六氟丁二烯纯度达到标准要求，高麦提供完整的分析解决方案， 序号 检测项目 分析仪器 分析方法 GB/T 40417-2021(ppm) 检出限 1 H，O 高麦露点仪/MIDAC FTIR 露点法 <5 2 0+Ar G气M 1相900 色PDHI谱D仪 气相色谱法 <1 0.01 3 N. <5 0.01 4 二氧化碳 <2 0.01 5 氟碳化合物 <100 m： 6 异丙醇 <2 0.01 7 HF MIDAC FTIR FTIR <2 0.01 88 颗粒 颗粒物分析仪 重量法 需双方商定 表1：CAF6中杂质分析技术指标 仪器性能指标 地址：北京市大兴区盛坊路2号电 Address：Bejing oftice NO.2 Shengfang Road，D话：010-8axing Dis3813136trict. Tel：010-83813136 专真：D10-83813136 Fax：010-83813136 t.cn net.c 客服服务：400-010-1708 Service Tel：400-010-7708 检测器： 室温上5℃~300℃ 线性： 可达10 ≤5X10A 基线漂移： ≤3×10A/30min 检测限： 自动电子流量控制(EPC)： FID≤2.5×10-"gc/s(甲烷，载气为氮气) PDHID≤10ppb (以甲烷计)t) TCD ≤5ppm(以甲烷计) 控制精度：小于0.01psi 数据输出： 默认RS485/RS232输出，可选配最多16路4-20mA输出 尺寸： 48.4×63.3×26.8cm 重量： 38kg 高麦成立于1935年，是全球领先的气体分析解决方案供应商，致力于“让气体领域的客户能够拥有符合自己需求的分析设备和服务”。在中国、关国、日本、韩国等多个国家设有技术、研发中心，生产组装工厂、客户运营中心。 图 2： GM 1900系列气相色谱仪参数 地址：北京市大兴区盛坊路2号 eijing office NO.2 Shengfang Road，Daxing District 电话：010-83813136 Address：BBeiTel：010-83813136Fax：010-83813136 传真：010-83813136 六氟丁二烯，是一种新型的含氟电子气体，可作为蚀刻气、聚合单体、合成中间体等用于工业生产。与传统的等离子蚀刻气CF4、C2F6、C3F8、C4F8和NF3相比，六氟丁二烯具有更快的蚀刻速率、高蚀刻选择性和高深度比。更重要的是六氟丁二烯在大气中寿命较短，且分子中不含氯，对大气的臭氧层显现惰性，因此六氟丁二烯是一种温室效应极低且绿色高效的蚀刻气体。