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电子级硅烷中杂质检测方案(气相色谱仪)

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方案详情

1857年德国化学家H Buff发现硅烷,在以后的100年左右的时间里硅烷只是少数研究者在实验室里研究的对象。20世纪50年代半导体科技崛起,人们开始考虑硅烷的特性,硅烷开始在电子工业中得到应用。随着一系列新技术的出现或者硅烷开发新产品的成功,硅烷用量急剧增加。进入90年代, 更多新功能器件的问世,其中已大规模开发的有超高速、超大容量计算机芯片、高清晰度平面显示器、高效率低成本太阳能电池、高性能陶瓷发动机零件、各种特异功能的传感器等等,伴随更多更新的器件涌现,硅烷的需求量逐渐增加。

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1857年德国化学家H Buff发现硅烷,在以后的100年左右的时间里硅烷只是少数研究者在实验室里研究的对象。20世纪50年代半导体科技崛起,人们开始考虑硅烷的特性,硅烷开始在电子工业中得到应用。随着一系列新技术的出现或者硅烷开发新产品的成功,硅烷用量急剧增加。进入90年代, 更多新功能器件的问世,其中已大规模开发的有超高速、超大容量计算机芯片、高清晰度平面显示器、高效率低成本太阳能电池、高性能陶瓷发动机零件、各种特异功能的传感器等等,伴随更多更新的器件涌现,硅烷的需求量逐渐增加。

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产品配置单

高麦克仪器 GOW-MAC为您提供《电子级硅烷中杂质检测方案(气相色谱仪)》,该方案主要用于其他中化学性质检测,参考标准《暂无》,《电子级硅烷中杂质检测方案(气相色谱仪)》用到的仪器有GM 826系列气相色谱仪、GM 816系列气相色谱仪。

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