过程气体中O2，N2，H2，He，Ar，CO，CO2，H2O，CH4，NMHC检测方案
检测样品 过程气体
检测项目 O2，N2，H2，He，Ar，CO，CO2，H2O，CH4，NMHC
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您好，欢迎来到北京雪迪龙科技股份有限公司官方网站! 股票代码 首页 解决方案 产品中心 服务中心 工程中心 新闻中心 投资者关系 关于我们商城002658 中文|EN◎ 2019 北京雪迪龙科技股份有限公司版权所有京ICP备14045321-1号 SDL雪迪龙 解决方案>工业过程分析行业解决方案>半导体行业过程气体分析解决方案 方案概述 “芯”纯度加持 电子特气的品质主要取决于其纯度和净度，，一旦纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成严重浪费。为了保证产品的合格率，避免经济损失，半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求，通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度，以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量. 雪迪龙公司为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案，在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前，就开启连续监测，并通过自主研发的软件包实时分析和反馈，满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。 方案概述 相关产品 相关产品 雪迪龙公司为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案，在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前，就开启连续监测，并通过自主研发的软件包实时分析和反馈，满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。
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北京雪迪龙科技股份有限公司为您提供《过程气体中O2，N2，H2，He，Ar，CO，CO2，H2O，CH4，NMHC检测方案 》，该方案主要用于过程气体中O2，N2，H2，He，Ar，CO，CO2，H2O，CH4，NMHC检测，参考标准《暂无》，《过程气体中O2，N2，H2，He，Ar，CO，CO2，H2O，CH4，NMHC检测方案 》用到的仪器有色谱分析仪DID500/600系列、色谱分析仪FID500/600系列。
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