XRF能谱判读教学

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平常在使用桌上型XRF进行样品测试时，仪器会帮您判定RoHS管制的有害物质元素浓度是否超标，但假如您遇到测试结果NG，可以藉由XRF能谱判读来进一步分析。科迈斯今天针对这个问题提供浅显易懂的方法让各位桌上型XRF使用者对于能谱有初步的判读能力。1. 能谱基本说明-何谓能谱和波峰▲图1 能谱和波峰基本说明·上图的X轴Y轴分别为：X轴单位：eV，Electron Volt，电子伏特→影响样品里含有的元素每个元素的荧光都不一样，有特定的位置。▲图2  能谱X轴代表元素能量Y轴单位：cps，Counts Per Second，每秒计数量→影响样品里元素的浓度同类型的样品不同浓度，对应的「量」会不一样。(可见下图左、右二图差异)▲图3 能谱Y轴代表元素强度综合以上我们可以得知：X轴上的波峰我们可以得知元素Y轴上波峰的强度我们可以计算出元素浓度▲图4 能谱波峰可得知元素和浓度认识完能谱波峰对应元素和浓度的关系，再来可以进一步了解如何判断元素的波峰。2. 如何判断波峰首先认识元素的分析线—分析线是用来标示「理论上元素的波峰应该在的位置」。▲图5 能谱中如何判断波峰而判定的方法主要有三个原则： A. 波峰是否在分析在线 B. 波峰是否为对称波峰，可能因干扰而波峰不对称 C. 复数个分析线有波峰，可能没有或看不到波峰▲图6 判断原则的A、B、C下面为三个原则做实例示范：依照A原则来判定下图的波峰，因为波峰不在分析在线所以此案例不符合A原则。▲图7 判断原则的A而依照B原则来看下图Pb的La分析线对应到的波峰不对称所以不符合B原则。▲图8 判断原则的B再来我们用C原则来分析下图，可以很明显地看到图中Pb的两条分析线只有左边一条对应到波峰上，右边另一条并没有波峰所以不符合C原则。▲图9 判断原则的C用ABC三个原则判定下图，分析线有波峰、波峰对称、有复数波峰上述条件皆符合，那我们几乎可认定该元素的存在。▲图10 判断原则皆符合经过以上的介绍相信大家对桌上型XRF的能谱判读有了初步的了解和认识，刚接触XRF能谱判读需要较多的测试结果和经验累积，也有些案例是使用者自己较难去判断的部分，可经由产生多重能谱让科迈斯技术服务团队协助判断。科迈斯有专业的技术服务团队及测试RoHS项目的桌上型XRF设备能提供相关的技术服务，深耕业界多年在各产业领域也有许多经验，实务方面也处理过各种能谱方面的问题，如有无法判断或分析困难的案件欢迎与我们联系讨论。先驰精密仪器(东莞)有限公司/雄迈电子科技贸易(上海)有限公司E-mail： sales@techmark-asia.com.cn/ sales@tekmaxasia.com XRF能谱判读教学 平常在使用桌上型 XRF 进行样品测试时 ·仪器会帮您判定 RoHS 管制的有害物质元素 浓度是否超标·但假如您遇到测试结果NG·可以藉由 XRF能谱判读来进一步分析·科 迈斯今天针对这个问题提供浅显易懂的方法让各位桌上型 XRF 使用者对于能谱有初步 的判读能力。 能谱基本说明-何谓能谱和波峰 ▲图1能谱和波峰基本说明 L3DH V 上图的×轴丫轴分别为： ▲图2 能谱×轴代表元素能量 ▲图图3能谱丫轴代表元素强度 ▲图4能谱波峰可得知元素和浓度 认识完能谱波峰对应元素和浓度的疾系·再来可以进一步了解如何判断元素的波峰。 如何判断波峰 首先认识元素的分析线一分析线是用来标示「理论上元素的波峰应该在的位置」。 ▲图5能谱中如何判断波峰 W NW m.cn 而判定的方法主要有三个原则： A. 波峰是否在分析在线 B. 波峰是否为对称波峰·可能因干扰而波峰不对称 ax C. 复数个分析线有波峰·可能没有或看不到波峰 ▲图6判断原则的A、B、C 下面为三个原则做实例示范：依照A原则来判定下图的波峰·因为波峰不在分析在线 所以此案例不符合A原则。 S ▲图7判断原则的A Q 而依照B原则来看下图 Pb 的La 分析线对应到的波峰不对称所以不符合B原则。 ▲I 图8判断原则的B 再来我们用C原则来分析下图·可以很明显地看到图中 Pb 的两条分析线只有左边一 条对应到波峰上·右边另一条并没有波峰所以不符合C原则。 ▲I 图9判断原则的 C 用 ABC 三个原则判定下图·分析线有波峰、波峰对称、有复数波峰上述条件皆符合 ·那我们几乎可认定该元素的存在。 htt ps ：//www.techmaxasia .com.cn/k n owledge/ins.ph p?index_i d=450 本数据为科迈斯集团专有之财产，非经许可，不得复制、翻印或转变成其他形式使用。