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硅中结晶度分析检测方案(扫描电镜)

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目前能够很好的表征结晶情况的主要是XRD，并且是基于宏观分析，能在微区尺度对结晶度进行表征的手段则很少。而无机晶体材料的结晶度却会对特征拉曼峰产生较大的影响。因此，可以通过特征拉曼峰的宽度来对结晶度进行评判。由此可见，原位一体化的RISE对微区领域的结晶度分析提供了新的途径。

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泰思肯(中国)有限公司上海市闵行区联航路1688弄旭辉国际28号楼1层电话 +86-21-64398570 传真 +86-21-64806110邮箱： market@tescanchina.comTESCAN 中国官网 www.tescan-china.com 应用解决方案 TESCAN 应用技术文档 Application documents by TESCAN CHINA 分析测试解决方案 Complete solution for analysis and testing 应用解决方案无机材料之结晶度分析对于无机材料来说，结晶度也是重要的参数。目前能够很好的表征结晶情况的主要是XRD ，并且是基于宏观分析，能在微区尺度对结晶度进行表征的手段则很少。而无机晶体材料的结晶度却会对特征拉曼峰产生较大的影响。结晶度程度高，特征拉曼峰高而尖锐；反之，若结晶度低，则特征峰会变宽。因此，可以通过特征拉曼峰的宽度来对结晶度进行评判。由此可见，原位一体化的 RISE 对微区领域的结晶度分析提供了新的途径。如下图，用 SEM-FIB 双束电镜在硅表面进行图形加工。由于 Ga+离子的注入效效、热效应等会使加工区域的硅产生一定程度上的非晶化。仅凭形貌是无法知道非晶化程度的。而在此区域用 RISE 进行拉曼面扫描，并用每一个测试点的 Si 的特征拉曼峰的半高宽为依据进行 RISE 成像，红色区域为半高宽较窄，蓝色区域为半高宽较宽。由此形成的 RISE图像，对于研究 FIB 加工产生的非晶化一目了然。应用解决方案 /TTESCAN PERFORMANCE IN NANOSPACE 更多信息请访问 TESCAN 官网 www.tescan.com TESCAN 中国官网www.tescanchina.con TESCAN 显微平台 TESCAN 中国官方微信 Performance In Nanospace Performance In Nanospace第页，共页TESCAN CHINA， Ltd. 如下图，用SEM-FIB双束电镜在硅表面进行图形加工。由于Ga+离子的注入效应、热效应等会使加工区域的硅产生一定程度上的非晶化。仅凭形貌是无法知道非晶化程度的，而在此区域用RISE进行拉曼面扫描，并用每一个测试点的Si的特征拉曼峰的半高宽为依据进行RISE成像，红色区域为半高宽较窄，蓝色区域为半高宽较宽。由此形成的RISE图像，对于研究FIB加工产生的非晶化一目了然。

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