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X射线扫描成像显微镜中显微镜的搭建检测方案(激光干涉仪)

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德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。

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attocube 激光干涉仪组建高精度×射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技(蛋白质结构)，医学研究(微生物)，工程研究(裂纹的变化观测)，先进材料(纳米结构测量)等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品(下图左)，这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国 attocube 公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激敫探头中，标准激光探头 M12是已经被证实可以在辐射环境中使用(最大10MGy). 美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski 等人结合 attocube 激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜(下图中)。通过 attocube 激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了 0.5nm 的步进扫描(下图右)。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。 4 ( 参考文献： ) ( E.Nazaretski， et.al. J. Synchrotro n Rad . (2015).22，336-341 ) IDS激光干涉仪：http：//www.qd-china.com/products2.aspx?id=344 ECS 纳米位移台： http：//www.qd-china.com/products2.aspx?id=257 同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（最大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。

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